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[发明专利]一种晶硅太阳能电池及其氧化退火方法-CN202210738700.5有效
发明人：任永伟;赵颖;齐利娜;任勇;石兆春;何悦 -专利权人：横店集团东磁股份有限公司
申请日： 2022-06-24 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶硅太阳能电池及其氧化退火方法，所述氧化退火方法包括依次进行的进舟、抽真空、恒温、低压氧化、回压、常压氧化、吹扫和出舟；其中，所述低压氧化的压力为100‑500mbar；所述常压氧化的压力为0.8‑1.2bar。本发明提供的氧化退火方法在解决了电池片制造过程中出现外观白点问题的同时，有效提高了氧化层的厚度和致密性，从而改善了钝化效果和抗PID能力。
一种太阳能电池及其氧化退火方法

[发明专利]一种扩散炉管及采用其提升硅片方阻均匀性的方法-CN202310129194.4在审
发明人：石兆春;赵颖;齐利娜;任勇;何悦 -专利权人：横店集团东磁股份有限公司
申请日： 2023-02-17 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： C30B31/16 文献下载
摘要：本发明提供一种扩散炉管及采用其提升硅片方阻均匀性的方法，所述扩散炉管包括炉体(1)和进气管(2)，所述炉体包括进气口(3)和出气口(4)，所述进气管(2)通过所述进气口(3)延伸至所述炉体(1)内部，所述进气管(2)位于所述炉体(1)的底部；所述炉体内部的进气管(2)上设置有至少两个出气孔(5)。本发明在进气管上设置有至少两个出气孔，提高了进气的均匀性，且扩散炉管在运行时，石英舟顶部的磷源量明显提升，解决了石英舟顶部电池片磷源量偏低的问题，避免了烧结污染，同时有效提升了硅片方阻的均匀性。在此基础上，采用阶梯式通磷源气体的方式进行磷源沉积扩散，得到了均匀性较好的高方阻电池片，其转换效率也得到了改善。
一种扩散炉管采用提升硅片均匀方法

[发明专利]一种PERC太阳能电池氧化层及其优化方法-CN202211016703.4在审
发明人： 齐利娜;任勇;何悦;彭宏杰;吕志翔;任永伟;周永安 -专利权人：横店集团东磁股份有限公司
申请日： 2022-08-24 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供一种PERC太阳能电池氧化层及其优化方法，所述优化方法包括依次进行的进舟、恒压、检漏、恒温、氧化、充氮和出舟；所述恒压包括依次进行的第一恒压、第二恒压和第三恒压；所述氧化包括依次进行的第一氧化和第二氧化；所述氧化伴随着氮气和氧气的通入，且氮氧流量比为1:(2‑4)；所述恒压至充氮的过程中炉内温度从炉口至炉尾逐渐降低。本发明提供的优化方法改善了电池的抗LID效果和转换效率，同时提升了产能和处理效率。
一种 perc 太阳能电池氧化及其优化方法