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[实用新型]一种泛半导体加工设备-CN202223469326.8有效
发明人： 黄伟耿;李东宇;曾威;尹建刚;高云峰 -专利权人：深圳市大族半导体装备科技有限公司
申请日： 2022-12-23 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及泛半导体技术领域，具体而言，涉及一种泛半导体加工设备。泛半导体加工设备包括机台、加工载台、上下料装置和切割装置，加工载台活动安装于机台上，加工载台适于沿第一方向和第三方向移动，加工载台还适于绕第二方向转动；上下料装置安装于机台上，上下料装置适于将产品放置在加工载台上，上下料装置还适于取走加工载台上的产品；切割装置安装于机台上；切割装置用于切割产品。本实用新型通过将产品放置于上下料装置处，上下料装置可以产品移动至加工载台上，加工载台可以将产品移动至指定位置，并由切割装置对待加工产品的不同位置进行切割加工，加工完成后，上下料装置可以将产品由加工载台上移走，从而实现产品的全自动加工。
一种半导体加工设备

[实用新型]一种光路切换装置及激光加工设备-CN202223467310.3有效
发明人： 黄伟耿;李东宇;曾威;尹建刚;高云峰 -专利权人：深圳市大族半导体装备科技有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本申请涉及激光加工技术领域，具体而言，涉及一种光路切换装置及激光加工设备。光路切换装置包括底座、第一光路组件、第二光路组件，第一光路组件包括第一光路通道，第一光路组件安装于底座上，激光经第一光路通道射出时的出射光束为第一光束；第二光路组件包括第二光路通道，第二光路组件活动安装于底座上，第二光路组件适于移入或移出第一光路通道，激光经第二光路通道射出时的出射光束为第二光束。本申请通过将第二光路组件移入或移出第一光路通道，使得激光光束可以在第一光束和第二光束之间切换，从而可以针对不同的产品选择第一光束或第二光束对产品进行对应性加工，保障产品整体激光加工的一致性。
一种切换装置激光加工设备

[实用新型]一种光路调节装置及激光加工设备-CN202223475017.1有效
发明人： 黄伟耿;李东宇;曾威;尹建刚;高云峰 -专利权人：深圳市大族半导体装备科技有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： B23K26/046 文献下载
摘要：本申请涉及激光加工技术领域，具体而言，涉及一种光路调节装置及激光加工设备。光路调节装置包括底座、第一透镜组件、第二透镜组件和第三透镜组件，第一透镜组件安装于底座上；第二透镜组件活动安装于底座上，第二透镜组件相对于第一透镜组件的距离可调节；第一透镜组件位于第二透镜组件和第三透镜组件之间，第三透镜组件活动安装于底座上，第三透镜组件相对于第一透镜组件的距离可调节。本申请通过调节第二透镜组件与第一透镜组件之间的间距，以及第三透镜组件与第一透镜组件之间的间距，从而可以实现对光路调节装置的发散角以及倍率的调节，用户可以根据待加工产品的需要调节到合适的倍率以及发散角，从而实现对产品进行对应性加工。
一种调节装置激光加工设备

[实用新型]一种调节装置及激光加工设备-CN202223509988.3有效
发明人： 黄伟耿;李东宇;曾威;高云峰 -专利权人：深圳市大族半导体装备科技有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： B23K26/70 文献下载
摘要：本申请涉及激光加工技术领域，具体而言，涉及一种调节装置及激光加工设备。调节装置包括底座、第一调节组件和第一垫块结构，第一调节组件包括至少三个第一调节件，第一调节件适于带动第一垫块结构的相对两端向靠近产品的方向移动。本申请通过将产品先放置在第一垫块结构上，第一固定件上靠近第一垫块结构的两个第一调节件可以先带动第一垫块结构移动。当产品移动到合适的位置时，用于带动第一垫块结构移动的第一调节件停止移动。此时位于第一固定件上远离第一垫块结构的第一调节件向产品方向移动，并与产品抵接。直至将产品完全压紧在第一垫块结构上，以实现产品的固定。第一垫块结构可以有效地增加与产品之间的接触面试，使得产品固定的更牢固。
一种调节装置激光加工设备

[实用新型]一种中转机构及泛半导体加工设备-CN202223529528.7有效
发明人： 黄伟耿;李东宇;曾威;尹建刚;高云峰 -专利权人：深圳市大族半导体装备科技有限公司
申请日： 2022-12-23 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本申请涉及泛半导体技术领域，具体而言，涉及一种中转机构及泛半导体加工设备。中转机构包括第一连接件、第一抓手组件和第二抓手组件，第一连接件适于绕第一方向转动；第一抓手组件安装于第一连接件上；第二抓手组件安装于第一连接件上，第一连接件的转动中心位于第一抓手组件和第二抓手组件之间，第一抓手组件和第二抓手组件中心对称设置。本申请通过呈中心对称设置的第一抓手组件和第二抓手组件，使得第一抓手组件或第二抓手组件在抓取到产品可以更快的运送到加工装置的加工位，减小了加工装置的加工平台调节的时间，其次，通过第一连接件沿第一方向转动，使得第一抓手组件和第二抓手组件的位置进行切换上料，可以有效地减小中转机构的体积。
一种中转机构半导体加工设备

[实用新型]焦点检测机构及激光加工设备-CN202223450321.0有效
发明人： 黄伟耿;李东宇;曾威;尹建刚;高云峰 -专利权人：深圳市大族半导体装备科技有限公司
申请日： 2022-12-23 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： B23K26/046 文献下载
摘要：本申请公开了一种焦点检测机构及激光加工设备。焦点检测机构应用于激光加工，包括：相机模组；焦点检测模组，设于相机模组的一侧，用于发出检测激光，检测激光能被相机模组拍摄到；检测激光反射镜，设于相机模组下方，用于将焦点检测模组发出的检测激光沿相机模组的轴线方向向下反射；目镜模组，设于检测激光反射镜下方，检测激光经检测激光反射镜反射后由目镜模组射出，且用于加工工件的加工激光经过目镜模组射出；目镜模组包括驱动件及目镜，目镜与驱动件连接，驱动件能驱动目镜升降，目镜升降能改变检测激光及加工激光的焦点位置。本申请提供一种能自动、实时调节激光焦点的焦点检测机构及激光加工设备。
焦点检测机构激光加工设备

[外观设计]全自动划片机-CN202230788557.1有效
发明人： 黄伟耿;李东宇;曾威;尹建刚;高云峰 -专利权人：深圳市大族半导体装备科技有限公司
申请日： 2022-11-25 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：全自动划片机。2.本外观设计产品的用途：用于LED晶圆激光作业。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。5.仰视图不常见且无设计要点，省略仰视图。
全自动划片

[实用新型]镜片同轴调节结构、检测模组及激光加工设备-CN202223457820.2有效
发明人： 黄伟耿;李东宇;曾威;尹建刚;高云峰 -专利权人：深圳市大族半导体装备科技有限公司
申请日： 2022-12-23 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： B23K26/064 文献下载
摘要：本申请公开了一种镜片同轴调节结构、检测模组及激光加工设备。镜片同轴调节结构应用于激光加工，包括：固定筒，固定筒的顶端设有相机，固定筒的侧壁设有条形孔，条形孔沿固定筒的轴向设置；镜片安装筒，设于固定筒内，且能沿着固定筒移动；镜片安装筒内设有第一镜片；插销，设于镜片安装筒的外侧；调节筒，套设于固定筒的外侧，调节筒的内壁设有螺纹；插销穿过条形孔并插设于螺纹中。本申请提供一种能沿轴向移动第二镜片从而调节相机两镜片之间距离、保证镜片同轴度的镜片同轴调节结构、检测模组及激光加工设备。
镜片同轴调节结构检测模组激光加工设备

[实用新型]一种上下料装置及泛半导体加工设备-CN202223465238.0有效
发明人： 黄伟耿;李东宇;曾威;尹建刚;高云峰 -专利权人：深圳市大族半导体装备科技有限公司
申请日： 2022-12-23 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本申请涉及泛半导体技术领域，具体而言，涉及一种上下料装置及泛半导体加工设备。上下料装置包括支撑结构、中转载台、料盒、抓手机构和中转机构，料盒用于存放产品；抓手机构用于将料盒中的产品放在中转载台上，抓手机构还用于将中转载台上的产品放回料盒内；中转载台位于料盒和中转机构之间，中转机构用于将产品从中转载台上移动至加工装置处，中转机构还用于将加工完成的产品从加工装置处转移回中转载台上。本申请通过抓手机构将料盒中的产品取出放置到中转载台上，并由中转机构将位于中转载台上产品移动到加工装置处进行加工，在加工装置加工完成后，中转机构再将加工完成的产品移回到中转载台上，并由抓手机构将加工完成的产品放回料盒中。
一种上下装置半导体加工设备

[实用新型]二维调整装置、光学器件调整装置及激光加工设备-CN202221934696.1有效
发明人： 黄伟耿;李东宇;曾威;尹建刚;高云峰 -专利权人：深圳市大族半导体装备科技有限公司
申请日： 2022-07-25 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：本申请适用于光学技术领域，提供一种二维调整装置、光学器件调整装置及激光加工设备，所述二维调整装置包括：基座；载台；第一方向调整机构，设置于所述基座且抵持于所述载台，以推动所述载台沿第一方向相对所述基座移动；第二方向调整机构，设置于所述基座且抵持于所述载台，以推动所述载台沿第二方向相对所述基座移动；第一方向弹性机构，设置于所述基座且抵持于所述载台，以提供所述载台在所述第一方向的回复力；第二方向弹性机构，设置于所述基座且抵持于所述载台，以提供所述载台在所述第二方向的回复力。本申请的实施例提供的二维调整装置能提高稳定性。
二维调整装置光学器件激光加工设备

[实用新型]开合装置及加工设备-CN202221934731.X有效
发明人： 黄伟耿;李东宇;曾威;尹建刚;高云峰 -专利权人：深圳市大族半导体装备科技有限公司
申请日： 2022-07-25 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： E06B3/36 文献下载
摘要：本申请适用于生产加工技术领域，提供一种开合装置及加工设备，所述开合装置包括：门框；开合门，连接于所述门框且能相对所述门框转动；推拉门，连接于所述开合门以跟随所述开合门转动，且能沿所述开合装置的长度方向相对所述开合门移动。本申请的实施例提供的开合装置能便于操作。
装置加工设备

[实用新型]大理石固定装置及激光加工设备-CN202221888293.8有效
发明人： 黄伟耿;李东宇;曾威;尹建刚;高云峰 -专利权人：深圳市大族半导体装备科技有限公司
申请日： 2022-07-21 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： F16F15/02 文献下载
摘要：本申请适用于加工设备技术领域，提供一种大理石固定装置及激光加工设备，所述大理石固定装置包括：底座；减振垫，承载于所述底座；大理石，承载于所述减振垫；减振固定机构，承载于所述底座；所述减振固定机构位于所述大理石的外侧且抵持于所述大理石，以固定所述大理石在二维平面的位置。本申请的实施例提供的大理石固定装置能保障底座的稳定性。
大理石固定装置激光加工设备

[实用新型]夹爪装置-CN202220433730.0有效
发明人： 黄伟耿;李东宇;曾威;尹建刚;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司;深圳市大族半导体装备科技有限公司
申请日： 2022-03-01 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种夹爪装置，包括安装座；第一夹板，可沿第一方向活动地设置于所述安装座上；第二夹板，可沿第二方向活动地设置于所述第一夹板上，所述第一方向与所述第二方向呈90°设置；驱动机构，与所述第二夹板传动连接，用于驱动所述第二夹板沿所述第二方向活动以靠近或者远离所述第一夹板；以及，感应装置，包括感应器以及感应件，感应件在位于所述感应器的预设位置时能够触发所述感应器产生感应信号，所述感应器安装于所述安装座上，所述感应件安装于所述第一夹板上，或所述感应器安装于所述第一夹板上，所述感应件安装于所述安装座上。本申请提供的夹爪装置，可避免生产产品的浪费、节省了生产成本。
装置

[实用新型]光学器件调整装置及加工设备-CN202221615119.6有效
发明人： 黄伟耿;李东宇;曾威;周福祥;尹建刚;高云峰 -专利权人：深圳市大族半导体装备科技有限公司
申请日： 2022-06-24 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：本申请适用于光学技术领域，提供一种光学器件调整装置及加工设备，所述光学器件调整装置包括：安装座；光学器件固定架，可转动地连接于所述安装座；第一传动轮；第二传动轮，固定连接于所述光学器件固定架；转动输出机构，设有转轴，所述转轴连接于所述第一传动轮以带动所述第一传动轮转动；传动件，与所述第一传动轮和所述第二传动轮传动连接，使得所述第一传动轮能带动所述第二传动轮转动。本申请的实施例提供的光学器件调整装置能提高效率。
光学器件调整装置加工设备

[实用新型]光学器件调整装置及加工设备-CN202221615582.0有效
发明人： 黄伟耿;李东宇;曾威;尹建刚;高云峰 -专利权人：深圳市大族半导体装备科技有限公司
申请日： 2022-06-24 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：本申请适用于光学技术领域，提供一种光学器件调整装置及加工设备，所述光学器件调整装置包括：二维调整机构；同轴固定机构；光学器件，一端设置于所述二维调整机构，以调整所述光学器件在X轴方向和Y轴方向的位置；所述光学器件的另一端设置于所述同轴固定机构。本申请的实施例提供的光学器件调整装置能提高调整精度。
光学器件调整装置加工设备

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