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[发明专利]机器学习装置、滑动面诊断装置、推论装置、机器学习方法、机器学习程序、滑动面诊断方法、滑动面诊断程序、推论方法及推论程序-CN202180066372.2在审
发明人： 高东智佳子;中村由美子;杉山和彦;本田知己 -专利权人：株式会社荏原制作所;国立大学法人福井大学
申请日： 2021-09-24 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： F16C17/24 文献下载
摘要：机器学习装置(4)生成在诊断固定侧滑动部件和旋转侧滑动部件滑动的滑动面的状态的滑动面诊断装置(1A)中使用的学习模型(6)。机器学习装置(4)具备：学习用数据存储部(41)，其存储至少包含规定期间内的马达电流值的数据、规定期间内的接触电阻的数据、以及规定期间内的振动(AE波或加速度)的数据作为输入数据的学习用数据；机器学习部(42)，其通过将学习用数据输入至学习模型(6)而使学习模型(6)学习输入数据与滑动面的诊断信息之间的相关关系；和学习完毕模型存储部(43)，其存储用机器学习部(42)进行学习后的学习模型(6)。
机器学习装置滑动诊断推论学习方法程序方法

[发明专利]基板清洗装置及基板清洗方法-CN201980019193.6在审
发明人： 高东智佳子;福永明;仓下将光;宇野惠;滨田聪美 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2019-02-18 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：提供一种能够在短时间内进行高效的清洗工具的自我清洗的基板清洗装置。基板清洗装置具备：清洗工具，该清洗工具用于与基板的表面接触而对基板进行清洗；自我清洗部件，该自我清洗部件用于与清洗工具接触而对清洗工具进行自我清洗；清洗工具旋转机构，该清洗工具旋转机构用于使清洗工具旋转；清洗工具保持机构，该清洗工具保持机构对清洗工具进行保持，能够将清洗工具按压于基板，并且能够将清洗工具按压于自我清洗部件。另外，基板清洗装置具备控制部，该控制部以使得在对清洗工具进行自我清洗时清洗工具旋转机构使清洗工具旋转的自我清洗时转矩成为规定转矩的方式控制清洗工具向自我清洗部件的按压力，该规定转矩是在清洗工具对基板进行清洗时清洗工具旋转机构使清洗工具旋转的基板清洗时转矩以上的转矩。
清洗装置方法