专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种金刚石简谐振子的制备方法-CN202111532861.0在审
  • 张子龙;顾克云;黄健;王林军 - 上海大学
  • 2021-12-15 - 2022-06-03 - H03H3/007
  • 本发明公开了一种金刚石简谐振子制备的工艺方法,通过离子注入法将高能粒子注入高温高压(HTHP)单晶金刚石(SCD)衬底形成类石墨的损伤层;在HTHP‑SCD衬底上外延生长SCD层,同时类石墨的损伤层转变成石墨改性层;高温高真空退火处理外延生长SCD层和石墨改性层以减少缺陷;光刻工艺在外延SCD层表面制作相应的图形并制备金属掩模版;干法刻蚀工艺和湿法刻蚀工艺相结合刻蚀掉金属掩模版和石墨改性层,形成镂空结构,从而得到金刚石简谐振子。本发明制备的金刚石简谐振子具有非常优异的稳定性和可重复性,可广泛应用于量子器件、化学传感、生物传感、温度探测、质量探测和磁探测等领域。
  • 一种金刚石谐振子制备方法
  • [发明专利]硅基尺寸可控β-Ga2-CN202110853195.4在审
  • 黄健;顾克云;尚艺;邓洁;刘尊;张志洛;丁可可;张子龙;唐可;王林军 - 上海大学
  • 2021-07-27 - 2021-11-16 - H01L21/02
  • 本发明公开了一种硅基尺寸可控β‑Ga2O3纳米线的制备方法,所述硅基尺寸可控β‑Ga2O3纳米线的制备工艺是:首先在单晶Si(100)衬底上沉积不同厚度的金(Au)催化层,并对催化层进行原位球化退火,得到不同尺寸的Au纳米颗粒,然后进行磁控溅射生长β‑Ga2O3纳米线并原位退火,得到不同尺寸的β‑Ga2O3纳米线。本发明通过调控β‑Ga2O3纳米线的尺寸可得到具有缺陷少、电阻率高、均匀致密等优点的β‑Ga2O3纳米线。本发明制备的不同的尺寸的β‑Ga2O3纳米线在日盲紫外探测器应用中表现出优异的性能,在军事领域可应用于导弹逼近预警系统、紫外通信、紫外成像导航等,在民用领域的汽车尾气检测、火焰检测、指纹检测等方面有广阔的应用前景。
  • 尺寸可控gabasesub

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