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- [发明专利]包括新丙烯酸系单体的光刻胶用共聚物和包括其的光刻胶用树脂合成物-CN201110176511.5有效
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申珍奉;金真湖;申大铉;李承宰
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韩国锦湖石油化学株式会社
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2011-06-28
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2012-10-17
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C08F220/18
- 一种包括新丙烯酸系单体的光刻胶用共聚物和包括其的光刻胶用树脂合成物。根据本发明的一个实施例的光刻胶用树脂合成物,包括:100个重量单位的以下列化学式3表示的共聚物;0.5到15个重量单位的光酸发生剂;和700到1500个重量单位的溶剂。[化学式3]在该化学式中,R1、R2和R3分别相互独立地表示包括或不包括氢基、醚基(ether group)、酯基(ester group)、羰基(carbonyl group)、缩醛基(acetal group)、环氧基(epoxy group)、腈基(nitrile group)、醛基(aldehyde group)的C1-30的烷基(alkyl group)或C3-30的环烷基(cyclo alkyl group),R4、R5和R5分别相互独立地表示氢基或甲基(methyl group),l、m、n和o作为分别表示主锁内重复单位的数目,具有l+m+n+o=l、0≤l/(l+m+n+o)<0.4、0<m/(l+m+n+o)<0.6、0≤n/(l+m+n+o)<0.6和0<o/(l+m+n+o)<0.4的值。
- 包括丙烯酸单体光刻共聚物树脂合成物
- [发明专利]正型光敏组合物-CN201010126103.4有效
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朴柱铉;李钟范;曺正焕;孙敬喆
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韩国锦湖石油化学株式会社
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2010-03-17
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2011-04-06
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G03F7/039
- 本申请公开了一种包含聚酰胺衍生物的正型光敏组合物,所述聚酰胺衍生物表示为[化学式1],其中R1和R2各自独立地表示含有至少2个碳原子的二价到六价的芳基;R3表示氢原子或者具有1到20个碳原子的烷基;R4表示具有线性结构的烷基或者具有线性结构的芳基;R5表示含有至少2个碳原子的二价到六价的芳基、具有线性结构的烷基和具有线性结构的芳基中的任何一种;k和l各自独立地表示10到1000的整数;n和m各自独立地表示0到2的整数(n+m>0);X表示氢原子或者具有2到30个碳原子的芳基。
- 光敏组合
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