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- [发明专利]虚拟栅的平坦化方法-CN201911163068.0有效
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胡宗福;龚昌鸿;陈建勋
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上海华力集成电路制造有限公司
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2019-11-25
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2023-09-19
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H01L21/336
- 本发明公开了一种虚拟栅的平坦化方法，包括步骤：形成由第一栅介质层和多晶硅伪栅叠加形成的虚拟栅；形成第零层层间膜；进行对第零层层间膜的研磨速率大于对多晶硅伪栅的研磨速率的第一次化学机械研磨工艺；进行对第零层层间膜的去除速率小于对多晶硅伪栅的去除速率的第二次平坦化工艺，坦化后使多晶硅伪栅的表面凹陷区域中的第零层层间膜的表面和凹陷区域外的表面相平；进行无选择性的多晶硅减薄工艺。本发明能将表面不平坦的虚拟栅的顶部表面完全打开，从而能实现将虚拟栅的完全去除并从而提高产品良率；能提高虚拟栅的高度一致性，提高器件性能。
- 虚拟平坦方法
- [发明专利]层间膜的制造方法-CN201910808963.7有效
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孙敏强;李昱廷;陈建勋;胡展源
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上海华力集成电路制造有限公司
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2019-08-29
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2023-09-15
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H01L21/768
- 本发明公开了一种层间膜的制造方法，包括步骤：步骤一、提供形成有图形结构的半导体衬底；步骤二、采用填充能力强第一生长工艺形成第一绝缘层将图形间隔区填充并延伸到图形间隔区外，填充同时会形成封闭式空洞；步骤三、以图形结构为研磨终点进行第一次化学机械研磨，在图形结构区域会形成蝶形缺陷同时空洞被打开；步骤四、采用第二生长工艺形成第二绝缘层，第二绝缘层将空洞完全填充同时第二绝缘层的硬度高于第一绝缘层的硬度；步骤五、以图形结构为研磨终点进行第二次化学机械研磨，利用第二绝缘层的硬度提高的特点消除蝶形缺陷。本发明能消除图形间隔区中填充层间膜形成的空洞，还能使图形间隔区顶部的层间膜表面的碟状缺陷降低或消除。
- 层间膜制造方法
- [外观设计]带道路设施病害管理图形用户界面的显示屏幕面板-CN202330144765.2有效
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王瑶;陈建勋
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深圳思谋信息科技有限公司;北京思谋智能科技有限公司
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2023-03-23
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2023-09-12
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14-04
- 1.本外观设计产品的名称：带道路设施病害管理图形用户界面的显示屏幕面板。2.本外观设计产品的用途：用于显示及交互；该显示屏幕面板用于电脑、平板电脑。3.本外观设计产品的设计要点：在于显示屏幕面板中图形用户界面的界面内容。4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。5.显示屏幕面板为惯常设计，省略后视图、左视图、右视图、俯视图、仰视图。6.图形用户界面的用途：产品界面为展现道路设施病害管理的交互界面；用于道路巡检智能管理平台中查看展现附属设施详情、物理病害，公里桩号、设施道路等级分布信息等；主视图界面为道路巡检智能管理平台首界面，界面左侧展现该租户的设施道路等级分布、附属设施数量分布、设施技术状况排名以及地图显示设施落点轨迹；界面变化状态图1为从主视图界面中点击界面中部地图上任一设施轨迹定位点后显示的交互界面；界面变化状态图2为从界面变化状态图1中点击界面左下方“物理病害”后显示的交互界面；界面变化状态图3为从界面变化状态图2中将地图放大到一定级别后显示的交互界面；可查看公里桩号，每隔100米一个桩号显示；界面变化状态图4为从主视图界面中悬停在界面左上角“设施道路等级分布”区域中时显示的交互界面。界面灰色区域内为内容画面。
- 道路设施病害管理图形用户界面显示屏幕面板
- [实用新型]3D打印颅脑肿瘤定位装置-CN202223473524.1有效
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陈建勋;李论;金姣
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陈建勋
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2022-12-26
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2023-09-01
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A61G13/12
- 本实用新型公开了3D打印颅脑肿瘤定位装置，涉及颅脑定位装置技术领域，包括基座和支撑板，所述基座顶端固定连接有枕垫，所述支撑板一侧两端均固定连接有定位架，所述固定块一侧固定连接有限位带，所述转轮外壁套接有支架，且支架一端中心活动连接有转动轴。本实用新型通过在基座顶端设有枕垫，利用枕垫的弧形凹槽及内部海绵材质，患者头在进行定位时，可利用枕垫对患者头部进行支撑定位，同时提高患者枕靠时的舒适度，通过转动手轮带动转动辊进行转动，对限位带进行收卷，使限位带中心部位能够在受头部重力时进行上升，抬高头部位置从而避免硬物支架与患者头部接触，进一步提高患者舒适度。
- 打印颅脑肿瘤定位装置
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