专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种制备ZnSe的化学气相沉积炉-CN202320625756.X有效
  • 周娴;包崇军;孙彦华;赵庆虚;姚丽佳;李恒;陈劲戈;李玉章;冯炜光;闫森;刁微之 - 昆明冶金研究院有限公司
  • 2023-03-27 - 2023-07-18 - C23C16/448
  • 本实用新型公开了一种制备ZnSe的化学气相沉积炉,包括自下而上依次设置的坩埚、坩埚盖、沉积室、收料盒、导气管、下加热室、上加热室,还包括第一进气管、第二进气管、半球形罩、沉积模具以及回流管。本实用新型第一进气管、第二进气管均通入硒化氢和氩气,即在坩埚内硒化氢与锌蒸汽发生反应,生成的ZnSe以及部分未反应的硒化氢、锌蒸汽进入沉积室,再与第二进气管通入沉积室的硒化氢和氩气接触反应,使得硒化锌的生成率提高;均布有透过孔的半球形罩可使得由坩埚进入沉积室的气体均匀分布,这种出口呈放射状的流动方式可使气流覆盖沉积模具的边缘,有利于提高产品转化率、均匀性、原料利用率。
  • 一种制备znse化学沉积

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