专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]基板支架以及基板处理装置-CN202080067282.0在审
  • 关正也;铃木洁;佐竹正行 - 株式会社荏原制作所
  • 2020-08-20 - 2022-05-03 - C25D17/06
  • 本发明提供即便在基板从支承面承受摩擦力等的情况下也能够进行基板的定位的基板支架以及基板处理装置。本发明的基板支架(200)具备:第一保持部件(300);第二保持部件(500),其用于与第一保持部件(300)一起夹持基板(W);3个以上的定位部件(360),其具有用于与基板(W)的侧端部接触的接触面(342);第一移动部件(380),其维持理想轴线(L)与各个定位部件(360)的接触面(376)之间的各距离相等的状态,并具有多个卡合部(384),该多个卡合部(384)与各个定位部件(360)卡合,使定位部件(360)移动;以及第一施力部件(310),其对第一移动部件(380)施力,第一移动部件(380)将第一施力部件(310)的作用力传递至各个定位部件(360),通过传递的作用力以接触面(376)向理想轴线(L)接近的朝向对定位部件(360)施力。
  • 支架以及处理装置
  • [发明专利]基板保持器及具备该基板保持器的基板镀覆装置、以及电接点-CN202080035595.8在审
  • 关正也;铃木洁;佐竹正行 - 株式会社荏原制作所
  • 2020-07-07 - 2021-12-21 - C25D17/08
  • 本发明涉及基板保持器及具备该基板保持器的基板镀覆装置、以及电接点。本发明提供一种用于对基板的表面进行镀覆的基板保持器,该基板具备能够容易地进行更换的电接点。基板保持器(1)的特征在于,具备:第一保持部件(2);第二保持部件(3),具有用于使基板(W)的表面露出的开口部(3a),与第一保持部件(2)一起夹住并保持基板(W);多个卡合轴部(36),在末端部具有膨头状的头部(36b),沿第二保持部件(2)的周向配置;以及电接点(32),具有与基板(W)的边缘部抵接的接点部(32d),且具有与相邻的卡合轴部(36)卡合并沿着第二保持部件(3)的开口部(3a)的周围排列的切口状的卡合承接部(32d)。
  • 保持具备镀覆装置以及接点
  • [发明专利]清洗方法和清洗装置-CN202110212467.2在审
  • 铃木洁 - 株式会社荏原制作所
  • 2021-02-25 - 2021-09-10 - B08B3/02
  • 本发明提供清洗方法和清洗装置,不会对镀敷液、用于保持基板的部件即基板保持架带来不良影响,并且能够除去无法利用纯水除去的附着于电接点的污垢。本发明的清洗方法是基板保持架的清洗方法,该基板保持架具有用于为了对基板进行镀敷而与基板接触来向基板供电的电接点,其中,该清洗方法具有通过柠檬酸水溶液来清洗安装于基板保持架的电接点的清洗工序。
  • 清洗方法装置
  • [发明专利]泄漏检查方法、泄漏检查装置、电镀方法、以及电镀装置-CN201911335354.0在审
  • 铃木洁;藤方淳平 - 株式会社荏原制作所
  • 2019-12-23 - 2020-07-07 - C25D17/00
  • 本发明提供泄漏检查方法、泄漏检查装置、电镀方法、以及电镀装置,能适当辨别泄漏的程度。本方法实施第一检查,第一检查中一边对利用基板保持器的密封件形成的内部空间真空排气,一边测定内部空间的压力,检测上述压力在规定的第一检查时间内达到第一压力阈值的情况,在第一检查后实施第二检查,第二检查中将进行了真空排气的内部空间封闭,测定被封闭了的内部空间的压力,检测规定的第二检查时间内的被封闭了的内部空间的压力超出第二压力阈值且不上升的情况,在第二检查后实施第三检查,第三检查中测定被封闭了的内部空间的压力与主容器内的真空压力的压力差,检测规定的第三检查时间内的上述压力差的上升幅度维持在压力差阈值以下的情况。
  • 泄漏检查方法装置电镀以及
  • [外观设计]密封环-CN201830069813.5有效
  • 铃木洁;藤方淳平 - 株式会社荏原制作所
  • 2018-02-13 - 2018-05-15 - 08-08
  • 1.本外观设计产品的名称:密封环。2.本外观设计产品的用途:密封部件,防止晶片的镀敷面以外的面(如边缘部、背面等)与镀敷液接触。3.本外观设计产品的设计要点:在于产品的形状。4.最能表明本外观设计设计要点的图片或照片:立体图。5.省略视图:后视图与主视图相同,故省略后视图;左视图与右视图相同,故省略左视图。
  • 密封
  • [外观设计]电连接端子-CN201730492689.9有效
  • 铃木洁 - 株式会社荏原制作所
  • 2017-10-17 - 2018-05-11 - 13-03
  • 1.本外观设计产品的名称:电连接端子。2.本外观设计产品的用途:用于衬底镀敷装置中,其前端部与晶片的周缘部抵接,在使晶片浸入到镀敷液中后通电来实施镀敷。3.本外观设计产品的设计要点:在于产品的形状。4.最能表明本外观设计设计要点的图片或照片:设计1立体图1。5.省略视图:由于设计1、设计2各自的左视图与右视图对称,故省略设计1、设计2的左视图。6.指定基本设计:本外观设计产品是针对同一产品的2项相似外观设计,其中指定设计1为基本设计。
  • 连接端子

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