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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]控制光刻胶分配的装置和方法-CN200810144597.1有效
  • 钱信宏;朱崇仁 - 旺宏电子股份有限公司
  • 2003-08-01 - 2009-01-28 - G03F7/16
  • 一种控制光刻胶分配的装置及其方法，包括：旋转装置，用于放置晶片；光刻胶分配器，用于将光刻胶分配在所述晶片上；所述光刻胶分配器包括一上阀门和一下阀门，以及与该上阀门和该下阀门相对应的一上传感器和一下传感器，其中该上阀门连接于该磁性阀门，该下阀门连接于该磁性阀门，该上传感器连接于该上阀门，该下传感器连接于该下阀门；所述控制光刻胶分配的装置还包括：旋转装置控制板，提供控制信号给所述旋转装置，用于控制所述旋转装置的旋转速度和持续时间；中央处理器，连接于旋转装置控制板上。
  • 控制光刻分配装置方法
  • [发明专利]控制光阻分配的方法及其装置-CN03152480.X无效
  • 钱信宏;朱崇仁 - 旺宏电子股份有限公司
  • 2003-08-01 - 2004-03-24 - G03F7/16
  • 一种控制光阻分配的方法，包括下列步骤：提供具有一旋转盘的涂覆机；提供一晶片；将晶片固定于旋转盘；确认涂覆机的控制板，用以控制旋转盘；确认位于控制板上的至少一节点，用以向旋转盘提供多个控制信号；提供一信号分装置析；将信号分析装置连接到控制板上的节点；在晶片上分布光刻胶；确认第一控制信号，以使旋转盘提供能够破坏光刻胶表面张力的最小旋转速度；测量第一控制信号；在信号分析装置中，显示上述第一控制信号；控制光阻分配的持续时间，以提供均匀的光刻胶厚度，并且节省光刻胶的使用量。
  • 控制分配方法及其装置
  •  1 
  • 共 4 条
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