专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]采用光刻和干刻制造碳纳米管多层图案的方法-CN200410085905.X无效
  • 郑喜台;金道铉;崔度桓;郑大焕;李在信 - 韩国科学技术院
  • 2004-10-25 - 2005-09-28 - G03F7/20
  • 本发明涉及形成CNT多层膜图案的方法,该方法包括通过酰胺键重复地将具有曝露的羧基基团的CNTs结合到具有曝露的胺基基团的衬底上,获得CNT多层膜,然后从CNT多层膜通过光刻法和干刻法形成CNT多层膜图案。此外,本发明涉及将具有曝露的各种化学官能团的CNT多层膜图案的制造方法,该方法包括对前述方法获得的CNT多层膜图案进行热处理,获得表面无缺陷点位存在的CNT多层膜图案,然后将表面活性剂或具有能进行π-重叠的部位的化学物质物理结合到无缺陷点位存在的CNT多层膜图案上。本发明使得CNTs仅在所选择的区域发生连接形成清楚的CNT多层膜图案成为可能。因此,本发明提供了现有技术中存在的CNTs也被结合到非选择性区域的问题的解决方案。此外,结合了曝露于表面的化学官能团的本发明CNT多层膜图案将被用于制造生物传感器。
  • 采用光刻刻制纳米多层图案方法

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