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[发明专利]套刻误差测量的不对称性校准的方法-CN202011643709.5在审
发明人： 郑振飞;管小飞 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种套刻误差测量的不对称性校准的方法，包括：提供套刻标记，将测量光斑投射到套刻标记上，并被套刻标记反射形成衍射光；将套刻标记调整至第一位置，沿测量光斑的水平分量的方向多次步进移动套刻标记，每次步进移动后，获取套刻标记的衍射光的光强并生成第一测量信号，取第一测量信号的均值作为第一参考信号；将套刻标记调整至第二位置，沿测量光斑的水平分量的方向多次步进移动套刻标记，每次步进移动后，获取套刻标记的衍射光的光强并生成第二测量信号，取第二测量信号的均值作为第二参考信号；根据第一参考信号和第二参考信号获取得到参考信号。本发明的套刻误差测量的不对称性校准的方法可使套刻误差测量更加具有稳定性。
误差测量对称性校准方法

[发明专利]套刻误差测量的装置和不对称性校准的方法-CN202011643765.9在审
发明人： 郑振飞;管小飞 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种套刻误差测量的装置，包括光源模块、中继镜组、分束镜、物镜、探测器和处理模块，光源模块提供测量光斑，中继镜组接收并中继所述测量光斑，中继镜组的共轭面设有一用于调节所述测量光斑的尺寸的可变视场光阑；分束镜用于反射中继后的测量光斑；物镜用于将中继后的测量光斑投射至一基底上的套刻标记上，并被所述套刻标记反射形成衍射光；探测器所述衍射光再次穿过所述物镜达到所述探测器，所述探测器获取所述衍射光的光强并生成测量信号；处理模块用于根据所述测量信号获取参考信号。解决套刻标记的位置发生变动后导致光强分布发生变化而影响测量精度的问题。相应的，本发明还提供了一种套刻误差测量的不对称性校准的方法。
误差测量装置对称性校准方法

[实用新型]一种泡棉贴合加工用压紧装置-CN201922275622.6有效
发明人：朱荣程;姚海军;张来住;查晓莉;郑振飞 -专利权人：苏州杰扬电子材料有限公司
申请日： 2019-12-18 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： B32B37/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种泡棉贴合加工用压紧装置，包括工作箱体，所述工作箱体一侧设有胶带辊轮和泡棉辊轮，且工作箱体一侧内壁转动连接有导向辊，所述工作箱体内壁中部下侧转动安装有下压辊，下压辊上部设有上压辊，所述工作箱体前后端内壁中部均开设有安装槽，安装槽内均滑动连接有安装块，且上压辊前后端均通过滚动轴承与安装块滚动连接，所述安装槽底面中部通过滚动轴承连接有螺纹杆，且工作箱体中部前后端内壁还开设有调节槽，两个所述调节槽之间连接有调节杆，螺纹杆的上端均延伸至调节槽内并通过齿轮组与调节杆转动连接。本实用新型对泡棉贴合加工的质量高，且能完成对不同规格的泡棉的贴合工作，很好的增强了装置的实用性。
一种贴合工用压紧装置

[实用新型]一种双面胶带生产用固定装置-CN201922324194.1有效
发明人：朱荣程;姚海军;张来住;查晓莉;郑振飞 -专利权人：苏州杰扬电子材料有限公司
申请日： 2019-12-23 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双面胶带生产用固定装置，包括固定装置本体，所述固定装置本体底部对称设有安装座，安装座内设有空腔，安装座一侧设有驱动电机，驱动电机输出轴穿过安装座于空腔内连接有第一锥齿轮，第一锥齿轮啮合有第二锥齿轮，第二锥齿轮与丝杆连接，丝杆底端与空腔内壁转动设置。本实用新型通过控制驱动电机正反转实现滑动车轮上下移动，进而实现装置的移动，以及装置通过安装座的固定，降低了工人搬运的工作量。
一种双面胶带生产固定装置

[实用新型]一种树脂塑料加工用模切机-CN201922398520.3有效
发明人：朱荣程;姚海军;张来住;查晓莉;郑振飞 -专利权人：苏州杰扬电子材料有限公司
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： B26F1/38 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种树脂塑料加工用模切机，包括机箱，所述机箱的内部转动安装有转轴，转轴的外侧固定连接有椭圆轮，机箱的内部位于椭圆轮的两侧均滑动安装有竖直设置的推板，两个所述推板之间固定连接有复位弹簧，推板靠近椭圆轮的一侧与椭圆轮滚动接触，推板远离椭圆轮的一侧固定连接有模切刀，机箱的两侧均开设有开口，模切刀延伸至开口内，机箱的顶端和底端外壁上均转动安装有螺纹杆，螺纹杆的外侧螺纹安装有移动板。本实用新型结构巧妙，使用方便，能够快速的一次性的完成两块树脂塑料板的切割，切割误差小，切割效率高，且树脂塑料板能够方便的被安装和拆卸，使得模切效率更高。
一种树脂塑料工用模切机

[实用新型]一种绝缘树脂材料冲型用加工机床-CN201922398524.1有效
发明人：朱荣程;姚海军;张来住;查晓莉;郑振飞 -专利权人：苏州杰扬电子材料有限公司
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： B26F1/40 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种绝缘树脂材料冲型用加工机床，包括支撑底板，所述支撑底板的顶端固定连接有竖直设置的第一支撑杆，第一支撑杆的顶端固定连接有第一支撑板，第一支撑板的顶端开设有放置槽，第一支撑板的底端开设有开口，放置槽与开口相连通，且放置槽的宽度大于开口，支撑底板的顶端固定安装有竖直设置的第一气缸，第一气缸的输出轴固定连接有水平设置的托板，托板与开口相匹配，且托板延伸至开口内，放置槽内放置有绝缘树脂板。本实用新型结构巧妙，使用方便，可连续的对绝缘树脂板冲切，从绝缘树脂板上切下一个个特定形状大小的成品，加工效率更高，能够有效的节约时间成本，且成品与废料能够方便的进行分离。
一种绝缘树脂材料冲型用加工机床

[实用新型]一种胶带加工用切卷装置-CN201922417634.8有效
发明人：朱荣程;姚海军;张来住;查晓莉;郑振飞 -专利权人：苏州杰扬电子材料有限公司
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： B65H35/07 文献下载
摘要：本实用新型涉及胶带加工技术领域，具体涉及一种胶带加工用切卷装置，包括加工台，所述加工台的顶端一侧设置有安装块，且安装块的一侧设置有电机，所述电机的输出轴端部安装有贯穿于安装块的主轴，所述加工台的顶端安装有两个平行设置的横向导轨，两个横向导轨之间滑动安装有底座，所述底座的顶端一侧设置两个平行设置的纵向导轨，两个纵向导轨之间滑动连接有裁切机构。本实用新型克服了现有技术的不足，通过启动第二马达，使得输送辊在第二马达的驱动下旋转，从而可以带着输送带旋转，裁切完成的胶带在输送带的横向推动下向着主轴的末端移动，从而可以实现自动卸料，无需人工手动进行，大大提高了加工效率。
一种胶带工用装置

[实用新型]一种硅胶加工用快速干燥装置-CN201922420567.5有效
发明人：朱荣程;姚海军;张来住;查晓莉;郑振飞 -专利权人：苏州杰扬电子材料有限公司
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： F26B17/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及硅胶加工技术领域，具体涉及一种硅胶加工用快速干燥装置，包括箱体，所述箱体的内部设有干燥笼，且干燥笼的顶端设置有进料筒，所述进料筒的两侧内壁均设置有交错分布的挡料板，所述进料筒的顶端延伸至箱体的顶部上方，所述箱体的顶部设置有两个平行设置的支架，两个所述支架之间设置有进料斗，所述进料筒位于箱体的内部段外壁设置有从动齿轮。本实用新型克服了现有技术的不足，通过启动热风机产生热风，热风经过热风管进入到风筒的内部，再经过出风孔向着箱体的内部鼓入热风，刮板可以随着干燥笼同步旋转，刮板绕着风筒的上表面旋转，可以将硅胶颗粒分散，使得硅胶颗粒可以经过热风实现二次干燥，进一步提高了硅胶干燥效率。
一种硅胶工用快速干燥装置

[实用新型]一种用于PC板制造用传送设备-CN201922275517.2有效
发明人：朱荣程;姚海军;张来住;查晓莉;郑振飞 -专利权人：苏州杰扬电子材料有限公司
申请日： 2019-12-18 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： B24B19/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于PC板制造用传送设备，包括底座，所述底座的中部架设固接有安装架，安装架的截面呈“门”状结构，所述安装架的顶面中部设有加工装置，安装架的上部前后端内壁均固接有安装板，两块所述安装板相靠近一端均开设有调节槽，调节槽的上下端面均开设有卡槽，所述调节槽内壁两侧和中部分别设有临时固定机构，所述临时固定机构包括调节块，调节块滑动连接在调节槽内，所述调节块的上下端均开设有凹槽，凹槽内壁均滑动连接有卡块，卡块与凹槽底面之间均固接有弹簧。本实用新型适用于PC板不同工艺的加工，使用范围广，且对PC板加工时固定效果好，很好的保证了PC板加工的质量。
一种用于 pc 制造传送设备

[实用新型]一种导电泡棉自动贴合加工装置-CN201922275625.X有效
发明人：朱荣程;姚海军;张来住;查晓莉;郑振飞 -专利权人：苏州杰扬电子材料有限公司
申请日： 2019-12-18 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： B65H37/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种导电泡棉自动贴合加工装置，包括工作箱体，所述工作箱体上端一侧外壁固接有水平板，水平板上端固接有伺服电机，所述伺服电机的输出端通过联轴器固接有丝杆，丝杆的杆体外壁固接有安装块一，所述安装块一的底端通过螺钉固接有气缸，气缸的输出端通过螺钉固接有安装板，所述安装板底面一侧固接有存胶筒，存胶筒的底端滑动连接有挡盖，挡盖与存胶筒的底面均开设有出胶口，所述存胶筒靠近安装板中心一侧还固接有刮胶板，存胶筒上端背离刮胶板一侧贯穿连接有进料漏斗，所述安装板底面中部固接有安装架一，安装架一的下侧转动连接有卷绕辊。本实用新型在对导电泡棉粘贴后进行恒力滚压，很好的保证了导电泡棉贴合的质量。
一种导电自动贴合加工装置

[实用新型]一种PC板加工用自动化除油装置-CN201922275969.0有效
发明人：朱荣程;姚海军;张来住;查晓莉;郑振飞 -专利权人：苏州杰扬电子材料有限公司
申请日： 2019-12-18 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种PC板加工用自动化除油装置，包括工作箱体，工作箱体前后端内壁安装有输送带一和输送带二，所述输送带一和输送带二的正上方均设有喷淋管，喷淋管的下端均安装有喷淋头，所述工作箱体的外顶面中部还固接有热碱放置皿，热碱放置皿下端一侧贯穿连接有导管，且导管的一端均穿过工作箱体并与喷淋管贯穿连接，所述输送带一的另一侧设有翻转机构，所述翻转机构包括翻转杆，翻转杆通过滚动轴承转动连接在工作箱体的前后端内壁上，所述翻转杆的杆体外壁还固接有翻转板，翻转板的上端开设有矩形槽。本实用新型能够实现对PC板双面完成去油清洗工作，清洗效率高，清洗效果好，大大降低了劳动成本。
一种 pc 工用自动化装置

[实用新型]一种PC板加工用高效裁切装置-CN201922325742.2有效
发明人：朱荣程;姚海军;张来住;查晓莉;郑振飞 -专利权人：苏州杰扬电子材料有限公司
申请日： 2019-12-23 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： B26D7/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及PC板加工技术领域，具体涉及一种PC板加工用高效裁切装置，包括加工台，所述加工台的顶端两侧分别设置有安装槽，两个所述安装槽的内部均安装有输送辊，所述加工台的顶端开设有切槽，所述加工台的顶端边缘处设置有L形结构的安装板，所述安装板的水平段底端设置有第一气缸，所述第一气缸的活塞杆端部安装有切割刀，所述加工台的顶端边缘处设置有导向板。本实用新型克服了现有技术的不足，通过设置有两组输送辊，方便板材的送入和送出，无需人工手动上料，大大提了高生产效率，通过设置的刻度线可以确定限位板滑动距离，从而确定限位板与切槽之间的间距，进而能根据裁切长度的需求快速实现调整，实用性高。
一种 pc 工用高效装置

[实用新型]一种胶带生产用收卷装置-CN201922326536.3有效
发明人：朱荣程;姚海军;张来住;查晓莉;郑振飞 -专利权人：苏州杰扬电子材料有限公司
申请日： 2019-12-23 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： B65H18/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种胶带生产用收卷装置，包括调节底座，所述调节底座底部对称设有缓冲移动机构，调节底座顶部对称设有安装柱，安装柱一侧开设有安装口，安装口内设有驱动电机，驱动电机输出轴连接有主动轮，主动轮通过皮带连接有从动轮，从动轮连接有转动轴，转动轴穿过安装柱与收卷轴一端连接。本实用新型通过启动驱动电机，通过转动轴带动收卷轴转动，进而对胶带进行收卷，无需人工进行收卷，提高了工作效率，同时通过启动正反转电机，从而对两个调节杆行调节，从而可对不同大小的胶带进行限位，提高了胶带收卷效率。
一种胶带生产用收卷装置

[实用新型]一种胶带生产用导向装置-CN201922356472.1有效
发明人：朱荣程;姚海军;张来住;查晓莉;郑振飞 -专利权人：苏州杰扬电子材料有限公司
申请日： 2019-12-25 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： B65H23/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种胶带生产用导向装置，包括底座，所述底座上端面一侧固接有导向块一，底座上端面另一侧滑动连接有导向块二，所述导向块一和导向块二的前后端分别设有圆弧过渡段和平直段，导向块二背离导向块一一端开设有螺纹孔，所述螺纹孔内壁通过螺纹连接有螺纹杆，导向块二背离导向块一一端还设有安装座，安装座的上部通过滚动轴承转动有连接杆，连接杆与螺纹杆之间通过齿轮组转动连接，所述导向块二后侧壁底端中部固接有指示杆，底座顶面后端还设有刻度盘一。本实用新型能对不同规格胶带在卷绕时起到导向作用，装置使用范围广，且装置能实现导向块二和压轮的精准调节，很好的保证了胶带生产的质量。
一种胶带生产导向装置

[实用新型]一种泡棉加工用裁切装置-CN201922357441.8有效
发明人：朱荣程;姚海军;张来住;查晓莉;郑振飞 -专利权人：苏州杰扬电子材料有限公司
申请日： 2019-12-25 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： B26D7/26 文献下载
摘要：本实用新型涉及泡棉加工技术领域，具体涉及一种泡棉加工用裁切装置，包括加工台，所述加工台的顶端一侧设置有安装架，且安装架为L形结构，所述安装架的水平段底端安装有气缸，所述气缸的活塞杆端部设置有安装板，所述安装板的内部开设有安装槽，所述安装槽的内部安装有丝杠，所述安装板的一端设置有丝杠电机，且丝杠电机的输出端与丝杠的一端通过轴联器连接。本实用新型克服了现有技术的不足，通过设置有十字形结构的调节槽，调节块可以沿着调节槽的内壁滑动，从而安装杆随着调节块可以在底板的底部实现左右前后移动，安装杆带着刀架同步移动，从而可以对安装在刀架底部的切割刀位置进行调节，便于对泡棉进行多角度切割。
一种泡棉加工用装置

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