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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种微通道加工方法、微通道-CN201810771392.X有效
发明人：蔡孟锦;詹竣凱;邱冠勳 -专利权人：潍坊歌尔微电子有限公司
申请日： 2018-07-13 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种微通道加工方法及微通道，在衬底上形成微沟道，所述微沟道贯通衬底的两侧；在微沟道中沉积牺牲层，所述牺牲层的上端将微沟道的开口封闭住，牺牲层的内部形成空隙；在衬底上沉积覆盖层，所述覆盖层覆盖在衬底以及微沟道、牺牲层的上方；通过空隙将牺牲层腐蚀掉。本发明微通道的加工方法，可以使覆盖层与衬底上除微沟道以外的位置良好地结合在一起，避免了传统键合带来的泄露问题，以及传统贴合带来的微沟道阻塞问题，保证了微沟道的小型化发展。
一种通道加工方法

[实用新型]一种敏感膜及传感器-CN201821014952.9有效
发明人：党茂强;邱冠勳;蔡孟錦 -专利权人：歌尔科技有限公司
申请日： 2018-06-28 - 公布日： 2019-01-25 - 主分类号： G01D5/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种敏感膜及传感器，包括膜本体，在所述膜本体的边缘区域设置有折环结构，所述折环结构呈非封闭的环状；所述折环结构的非封闭位置构成非封闭区，所述膜本体位于折环结构两侧的位置与非封闭区是一体且连续的；所述非封闭区设置有至少两个，所述环状的折环结构被至少两个非封闭区间隔成至少两个区段；其中，至少有两个区段的横截面不同。本实用新型的敏感膜，通过在同一个折环结构内设计不同横截面的区段，使得不同的区段的变形能力不同，从而可以制约敏感膜的形状程度。
折环敏感膜非封闭区膜本体本实用新型传感器非封闭位置边缘区域变形能力非封闭封闭区与非制约

[实用新型]一种敏感膜及传感器-CN201821014953.3有效
发明人：党茂强;邱冠勳;蔡孟錦 -专利权人：歌尔科技有限公司
申请日： 2018-06-28 - 公布日： 2019-01-25 - 主分类号： G01D5/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种敏感膜及传感器，包括膜本体，在所述膜本体的边缘区域设置有折环结构，所述折环结构呈非封闭的环状；所述折环结构的非封闭位置构成非封闭区，所述膜本体位于折环结构两侧的位置与非封闭区是一体且连续的；所述折环结构设置有至少两个，该至少两个折环结构同心设置且分布在膜本体的径向方向上。本实用新型的敏感膜，设置有至少两个折环结构，每个折环结构都是非封闭的，通过该个折环结构可以更好地释放膜内应力。另外，多个折环结构共同制约敏感膜的形变，使得保证敏感膜的可靠性，使敏感膜可以适用于不同的工况。
折环敏感膜膜本体本实用新型传感器非封闭位置边缘区域非封闭区结构设置同心设置形变非封闭封闭区释放膜与非封闭制约保证

[发明专利]在MEMS传感器上形成过滤网的方法以及MEMS传感器-CN201611041741.X有效
发明人：詹竣凱;周宗燐;邱冠勳;蔡孟錦 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2016-11-22 - 公布日： 2019-01-18 - 主分类号： B81C3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种在MEMS传感器上形成过滤网的方法以及MEMS传感器。该方法包括以下步骤：在基材上设置可解离胶带，在可解离胶带的粘接面上形成过滤网；将所述过滤网转印到薄膜上，以形成自粘卷材；将位于所述自粘卷材上的所述过滤网转移粘接到MEMS传感器的采集孔上。该方法形成的过滤网，网孔细密、均匀，并且良品率高。此外，该方法适用于大规模、工业化生产。
过滤网自粘卷材胶带解离采集孔良品率基材网孔粘接转印薄膜

[发明专利]一种敏感膜及传感器-CN201810689186.4在审
发明人：党茂强;邱冠勳;蔡孟錦 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2018-06-28 - 公布日： 2018-10-12 - 主分类号： H04R7/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种敏感膜及传感器，包括膜本体，在所述膜本体的边缘区域设置有折环结构，所述折环结构呈非封闭的环状；所述折环结构的非封闭位置构成非封闭区，所述膜本体位于折环结构两侧的位置与非封闭区是一体且连续的。本发明的敏感膜，环状的折环结构被非封闭区间隔开，当敏感膜受到较大冲击时，由于非封闭区与膜本体是一体且连续的，该非封闭区相对于折环结构会抵抗膜本体的变形，从而抑制敏感膜的振幅，降低了敏感膜失效的风险。
敏感膜折环膜本体非封闭区传感器非封闭位置边缘区域大冲击非封闭封闭区与非变形抵抗

[实用新型]一种MEMS麦克风中的背极及MEMS麦克风-CN201721457678.8有效
发明人： 邱冠勳;詹竣凱;蔡孟锦 -专利权人：歌尔科技有限公司
申请日： 2017-11-03 - 公布日： 2018-06-08 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种MEMS麦克风中的背极及MEMS麦克风，包括背极本体以及设置在背极本体上的通孔；其中，所述背极本体上设置有至少一个延伸至通孔内的延伸部，所述延伸部与背极本体是一体的。本实用新型的背极及MEMS麦克风，由于采用了延伸部，使得通孔可以做的较大，以降低声阻，提高声音的传递效率。同时，该延伸部既可以阻挡灰尘通过通孔进入到背极与振膜之间，也可以提高背极与振膜之间的相对面积，从而在防止异物进入的同时，提高了麦克风的性能。
背极延伸部通孔本实用新型振膜麦克风传递效率防止异物阻挡延伸

[实用新型]MEMS芯片以及MEMS麦克风-CN201720465993.9有效
发明人： 邱冠勳;蔡孟锦;宋青林 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2017-04-28 - 公布日： 2018-03-06 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种MEMS芯片以及MEMS麦克风，其中MEMS芯片包括设有进声孔的基板；设于所述基板上方且与所述基板绝缘的第一背极板和第二背极板；设于所述第一背极板与所述第二背极板之间的背极加强柱；以及固设于所述第一背极板与所述第二背极板之间的振膜；其中，所述第一背极板与所述第二背极板之间设有背极加强柱。本实用新型可以增加MEMS芯片的整体刚性与机械结构特性，有效降低了外力冲击时振膜破裂的风险。
mems 芯片以及麦克风

[实用新型]一种MEMS麦克风芯片以及MEMS麦克风模组-CN201720751404.3有效
发明人： 邱冠勳;蔡孟錦;詹竣凱;周宗燐;宋青林 -专利权人：歌尔科技有限公司
申请日： 2017-06-26 - 公布日： 2018-02-27 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种MEMS麦克风芯片以及MEMS麦克风模组。该芯片包括背极、振膜和具有背腔的衬底，衬底与背极连接在一起以在它们之间形成容纳空间，振膜被自由设置在容纳空间内，振膜与背腔相对，在容纳空间内设置有限位柱，限位柱穿过振膜，以限定振膜的振动方向，在背极与振膜之间设置有用于防止背极与振膜粘连的第一凸起。本实用新型所要解决的一个技术问题是现有的MEMS麦克风芯片的振膜在振动时会横向摆动。实用新型的一个用途是用于MEMS麦克风模组。
一种 mems 麦克风芯片以及模组

[发明专利]一种线圈的制造方法、线圈、电子设备-CN201710764004.0在审
发明人：邹泉波;王喆;宋青林;邱冠勳 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2017-08-30 - 公布日： 2018-02-16 - 主分类号： H01F27/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种线圈的制造方法、线圈、电子设备，首先在聚合物保护层的上方形成金属种子层；在金属种子层的表面形成掩膜；在露出的金属种子层上形成线圈状的金属镀层；将掩膜以及位于线圈状金属镀层之间的金属种子层去除，得到金属线圈；在金属线圈的上方形成封装层，以将金属线圈封装起来；将封装层贴装在胶带上后，使激光透过所述透激光衬底并作用在聚合物保护层上，以使透激光衬底脱离。本发明的制造方法，各个工艺步骤均是成熟的制程，适合批量化生产，而且成本可控。通过对各工艺制程的控制，可以合理选择线圈之间的间距以及线圈尺寸，保证了该线圈在中高频使用时的性能。
一种线圈制造方法电子设备

[实用新型]一种压电麦克风及电子设备-CN201720709751.X有效
发明人： 邱冠勳 -专利权人：歌尔科技有限公司
申请日： 2017-06-16 - 公布日： 2018-01-30 - 主分类号： H04R17/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种压电麦克风及电子设备，包括压电膜、具有背腔的衬底；所述压电膜包括压电材料中间层、复合在压电材料中间层上端的上电极，以及复合在压电材料中间层下端的下电极；其中，所述下电极的尺寸小于压电材料中间层的尺寸，所述压电材料中间层的边缘区域通过绝缘层连接在衬底上。本实用新型的压电麦克风，压电膜仅通过压电材料中间层的边缘区域连接在衬底上，而下电极的位置与衬底之间没有连接关系，这就使得压电转换的能量不会传递到衬底上。由于压电膜上仅压电材料中间层与衬底之间具有连接关系，这增大了压电膜的变形量，提高了压电麦克风的感度。
一种压电麦克风电子设备

[实用新型]一种压电麦克风-CN201720709860.1有效
发明人： 邱冠勳 -专利权人：歌尔科技有限公司
申请日： 2017-06-16 - 公布日： 2018-01-30 - 主分类号： H04R17/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种压电麦克风，包括具有背腔的衬底，以及通过绝缘层连接在衬底上方的压电膜；所述压电膜上设置有至少一条贯穿其上下两端的狭槽；还包括位于背腔中且连接在所述衬底上的阻挡部，所述阻挡部位于狭槽的下方，且沿着狭槽的走向进行延伸；所述阻挡部与压电膜的狭槽之间具有间隙。本实用新型压电麦克风，在狭槽的下方设置阻挡部，所述阻挡部可以阻碍声音直接通过狭槽传出，从而可以大大降低该压电麦克风低频信号、中频信号的泄漏量，提高了压电麦克风的性能。
一种压电麦克风

[实用新型]一种MEMS麦克风-CN201720753534.0有效
发明人： 邱冠勳 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2017-06-26 - 公布日： 2018-01-30 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种MEMS麦克风，包括具有背腔的衬底，在所述衬底上设置有由振膜和背极、支撑部构成的平板电容器结构在所述背极上设置有通孔，所述通孔从上至下依次包括至少两个连通在一起且尺寸不同的第一腔、第二腔；在所述第一腔、第二腔连接的位置形成台阶。本实用新型的麦克风，所述通孔从上至下至少包括两个相连且不同尺寸的腔，较大尺寸的腔可以大大减小气流通过通孔时的热摩擦，以提高麦克风的SNR性能，较小尺寸的腔可以保证背极的结构强度，以及电容器的有效面积，还可以防止颗粒的进入。最终使得麦克风可以兼顾SNR特性、背极板强度、电容有效面积、颗粒进入等特性。
一种 mems 麦克风

[实用新型]一种MEMS麦克风中的振膜及MEMS麦克风-CN201720449431.5有效
发明人： 邱冠勳;蔡孟锦;詹竣凱;周宗燐;李俊;李江龙 -专利权人：歌尔科技有限公司
申请日： 2017-04-26 - 公布日： 2018-01-19 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种MEMS麦克风中的振膜及MEMS麦克风，包括振膜主体，在所述振膜主体上设置有至少两个分布在不同周向方向上的泄压部，所述每个泄压部呈环状，且所述至少两个泄压部中，位于外侧的泄压部的泄压能力小于位于内侧的泄压部。本实用新型的振膜，泄压部根据振膜的受力分布状态排列，使得在受到大气冲击时，通过泄压能力不同的泄压部可以快速均衡振膜整体各位置的压差，也就是说，均衡振膜各位置的受力，从而可以避免因气流扰动而造成振膜的扭曲变形、破裂。
一种 mems 麦克风中的

[发明专利]电容式麦克风及其制作方法-CN201710204043.5在审
发明人：蔡孟錦;林育菁;周宗燐;邱冠勳;詹竣凱 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2017-03-30 - 公布日： 2017-07-07 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种电容式麦克风及其制作方法。该麦克风包括衬底、背极和振膜，衬底具有背腔，背极和振膜被悬置在背腔的上方，振膜和背极构成电容器的上电极和下电极，振膜由非结晶金属合金制作而成，振膜与背极之间具有振动间隙，背极具有连通振动间隙和外部空间的通孔，背腔与振动间隙相对设置。该电容式麦克风的振膜由非结晶金属合金材料制作而成，该材料具有良好的断裂韧性及弹性极限，使得振膜在吹气或者喷气时能够承受更高的气压，避免了振膜的破损，提高了电容式麦克风的良品率。此外，有较低的弹性系数，可使振膜变形较大，获得更佳的灵敏度。
电容麦克风及其制作方法

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