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[发明专利]金属掩模材料及金属掩模-CN201610960658.6有效
发明人： 近藤祐幸 -专利权人： JX金属株式会社
申请日： 2016-11-04 - 公布日： 2019-08-02 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明的课题在于提供不仅提高蚀刻加工精度而且可精度良好地检测自身的缺陷的金属掩模材料及金属掩模。本发明的金属掩模材料由Fe‑Ni系合金的轧制箔形成，所述Fe‑Ni系合金的轧制箔含有合计30～45质量%的Ni和Co、其中含有0～6质量%的Co，且余量由Fe及无法避免的杂质构成，厚度t为0.02～0.08mm，沿轧制平行方向及轧制垂直方向按照JIS‑B0601测得的算术平均粗糙度Ra为0.01～0.20μm，并且，沿轧制平行方向及轧制垂直方向按照JIS‑Z8741测得的60度光泽度G60为200～600。
金属材料

[发明专利]金属掩模材料和金属掩模-CN201610963957.5有效
发明人： 近藤祐幸 -专利权人： JX金属株式会社
申请日： 2016-11-04 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：提供能够提高蚀刻加工精度、且能够以良好的精度检测自身缺陷的金属掩模材料和金属掩模。金属掩模材料，其由Fe‑Ni系合金的轧制板形成，所述Fe‑Ni系合金的轧制板包含总计30~45质量%的Ni和Co，其中含有0~6质量%的Co，且剩余部分由Fe和无法避免的杂质构成，厚度t大于0.08mm，沿轧制平行方向和轧制垂直方向按照JIS‑B0601测定的算术平均粗糙度Ra为0.01~0.20μm，并且，沿轧制平行方向和轧制垂直方向按照JIS‑Z8741测定的60度光泽度G60为200~600。
金属掩模轧制垂直方向轧制平行方向轧制板合金算术平均粗糙度精度检测蚀刻加工光泽度总计

[发明专利]蚀刻后的形状良好的荫罩条材-CN03145717.7无效
发明人： 近藤祐幸;河原哲男;山形亮;波多野隆绍 -专利权人：日矿金属株式会社
申请日： 2003-06-27 - 公布日： 2004-02-25 - 主分类号： C22C38/00 文献下载
摘要：荫罩条材蚀刻后的翘曲即便不进行条材的消除应变退火也小。TS/0.2％YS之比在平行于轧制方向的方向上为1.03以下的铝脱氧钢或Fe－34－38质量％Ni或Fe－30－35质量％Ni－2－8质量％Co的轧制条材具有以下性质。(1)与轧制方向平行的截面及与之垂直的截面在板厚方向上的残余应力是如此分布的，即在板厚中央部上存在50N/mm²以下的最大拉伸应力。(2)从轧制宽度方向的中央区取下的、与轧制方向一致的长边为500毫米的且在轧制垂直方向上的短边为50毫米的矩形试样在长边方向上下垂时所产生的翘曲为10毫米以下。(3)与轧制垂直方向一致的长边为500毫米的且在轧制方向上短边为50毫米的矩形试样在长边方向上下垂时所产生的翘曲为10毫米以下。
蚀刻形状良好荫罩条材

[发明专利]荫罩板用铁－镍系和铁－镍－钴系合金条-CN02152729.6无效
发明人： 近藤祐幸;深町一彦 -专利权人：日矿金属株式会社
申请日： 2002-11-20 - 公布日： 2003-05-28 - 主分类号： C22C38/08 文献下载
摘要：本发明提供一种高强度并且能有效地防止荫罩板发生不均匀的荫罩板用铁－镍系和铁－镍－钴系合金条。在含有镍34～38质量％、锰0.1～1.0质量％，碳0.10质量％以下、硅0.1质量％以下、铝0.05质量％以下的铁－镍系合金以及铁－镍－钴系合金中，板面上的{100}集成度在板厚方向分布的平均值αAVB是60％以下，而且在用蚀刻工艺将板厚除去到50％之后的面上的{100}集成度αc比板面表面的{100}集成度αs还大。
荫罩板用铁钴系合金条