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[发明专利]锆基合金金属玻璃和用于形成锆基合金金属玻璃的方法-CN201480044079.6有效
发明人：汉斯·于尔根·沃切特;弗兰克·克鲁格;贝恩德·孔克尔;王晓云;道格·希勒 -专利权人：德国贺利氏有限两合公司;贺利氏材料技术北美有限责任公司
申请日： 2014-08-18 - 公布日： 2017-09-08 - 主分类号： C22C1/00 文献下载
摘要：本发明提出一类合金，其通过以低于100K/秒的速率冷却至低于玻璃化转变温度Tg而形成金属玻璃，并且具有金属间合金的结晶温度(Tx)和玻璃化转变温度(Tg)之间的温度差值(DT)的高值。该合金包括70至80重量％范围内的锆、0.8至5重量％的范围内的铍、1至20重量％范围内的铜、1至20重量％的范围内的镍、1至5重量％的范围内的铝和0.5至3重量％的铌，或取决于其他合金元素和临界冷却速度以及所期望DT值的窄范围。此外，本发明提出了用于制造这种金属玻璃的方法。
合金金属玻璃用于形成方法

[发明专利]用定向凝固法制造的磁性溅射靶-CN200610075460.6无效
发明人： 贝恩德·孔克尔;戴维·隆;阿卜杜勒瓦哈卜·齐亚尼;阿涅班·达斯;回军 -专利权人：黑罗伊斯公司
申请日： 2006-04-21 - 公布日： 2007-08-01 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种溅射靶，包括金属合金，该金属合金具有靶表面、后表面和在靶表面与后表面之间的厚度。靶表面和后表面为金属合金的外表面。金属合金具有基本沿厚度的厚度方向。靶表面基本垂直于厚度方向。金属合金具有基本贯穿整个所述厚度的基本均匀的单一显微组织区。该金属合金还包括枝晶。在靶表面的枝晶基本沿一个方向取向，并且在金属合金的中心平面的枝晶基本沿同一方向取向。溅射靶可以包括钴(Co)基的金属合金，并且可以具有基本垂直于靶表面取向的[0001]密排六方晶格(HCP)方向。通过以第一速率拉出金属合金经过温度梯度，在近平衡的温度条件下定向凝固金属合金，形成该溅射靶。除了其它目的以外，该溅射靶用于在基底上形成一个或多个磁性层，以用于数据存储。
定向凝固法制磁性溅射

[发明专利]增强溅射靶的制造方法-CN200610075466.3无效
发明人：阿卜杜勒瓦哈卜·齐亚尼;贝恩德·孔克尔 -专利权人：黑罗伊斯公司
申请日： 2006-04-21 - 公布日： 2007-01-24 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种制造溅射靶的方法，包括如下步骤：将多种原材料制备成为与合金系相应的组合物，所述多种原材料包括纯元素或母合金，并在真空或氩(Ar)的分压下加热所述多种原材料至完全液态，以形成与合金系相应的熔融合金，凝固该熔融合金以形成锭，把锭再加热至完全液态以形成扩散熔融合金。所述方法还包括如下步骤：快速凝固该扩散熔融合金成为均质预合金粉末材料，向该均质预合金粉末材料中掺和纯单质粉末，固结该均质预合金粉末材料成为全致密均质材料，热轧该全致密均质材料。另外，所述方法包括如下步骤：冷轧该全致密均质材料，并机械加工该全致密均质材料以形成溅射靶。
增强溅射制造方法

[发明专利]增强型溅射靶合金成分-CN200510120335.8无效
发明人：阿卜杜勒－瓦哈卜·齐亚尼;程远达;贝恩德·孔克尔;迈克尔·巴尔托洛莫伊尔茨 -专利权人：黑罗伊斯有限公司
申请日： 2005-11-08 - 公布日： 2007-01-24 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种溅射靶，该溅射靶包括钴(Co)、大于0且小于等于24原子百分数的铬(Cr)、大于0且小于等于20原子百分数的铂(Pt)、大于0且小于等于20原子百分数的硼(B)和大于0且小于等于10原子百分数的金(Au)。该溅射靶进一步还包括X1，X1从包括钨(W)、钇(Y)、锰(Mn)和钼(Mo)的组中选出。该溅射靶进一步还包括0－7原子百分数的X2，X2从包括钛(Ti)、钒(V)、锆(Zr)、钕(Nb)、钌(Ru)、铑(Rh)、钯(Pd)、铪(Hf)、钽(Ta)和铱(Ir)的组中选出。
增强溅射合金成分

[发明专利]增强的溅射靶合金组合物-CN200510076462.2无效
发明人：阿卜杜勒－瓦哈卜·齐亚尼;程远达;贝恩德·孔克尔;迈克尔·巴托洛梅乌斯 -专利权人：黑罗伊斯公司
申请日： 2005-06-15 - 公布日： 2005-12-28 - 主分类号： C22C30/00 文献下载
摘要：一种溅射靶，其中所述溅射靶包括Co、大于0－24at.％的Cr、大于0－20at.％的Pt、大于0－20at.％的B和大于0－ 10at.％的X₁，其中X₁是选自Ag、Ce、Cu、Dy、Er、Eu、Gd、Ho、In、La、Lu、Mo、Nd、Pr、Sm、Tl、W和Yb的元素。所述溅射靶还包括X₂，其中X₂选自W、Y、Mn和Mo。另外，所述溅射靶还包括0－7 at.％的X₃，其中X₃选自Ti、V、Zr、Nb、Ru、Rh、Pd、Hf、Ta和Ir。通过溅射靶溅射的薄膜的矫顽力值为1000奥斯特至4000奥斯特。
增强溅射合金组合

[发明专利]可延展的金属间溅射靶的制造方法-CN03813211.7无效
发明人：迈克尔·桑德林;贝恩德·孔克尔;张文军 -专利权人：黑罗伊斯有限公司
申请日： 2003-05-29 - 公布日： 2005-10-19 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及制造具有金属间化学组成的溅射靶，这使得它们可充分延展以进行加工和溅射。靶通过元素或合金粉末制造，其中至少一种具有非常细的粒度，例如400目。元素或合金粉末被混合、装罐、在低温和高压下进行热等静压制、形成坯料、和被加工形成靶。
延展金属溅射制造方法

[发明专利]高PTF溅镀靶和制造方法-CN03818079.0无效
发明人：张文军;贝恩德·孔克尔;阿南德·德奥杜特;迈克尔·巴托洛梅乌斯 -专利权人：黑罗伊斯有限公司
申请日： 2003-05-14 - 公布日： 2005-09-21 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明通过将至少两种不同类型的粉末混合在一起并用粉末冶金法固结粉末以形成坯料，从而形成用于沉积器械的靶。然后由坯料形成靶。靶包括具有第一PTF的第一材料相和具有高于第一PTF的第二PTF的第二材料相。第二PTF也高于具有和靶相同的化学组成的材料的PTF。
ptf 溅镀靶制造方法