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[发明专利]一种制备碳化硅单晶的方法-CN202111666567.9在审
发明人： 谢鸿波;黄晋强;权纪亮;郭勇文;金宁昌;刘军;张雅丽;刘纪岸;姚永红 -专利权人：广州半导体材料研究所
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： C30B29/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种制备碳化硅单晶的方法，包括将原料进行酸洗，去除原料中的外来氧化物；将去除外来氧化物后的原料用纯净水冲洗，去除残留酸和其他污物。然后风干；对风干后的原料经敲、凿，将其中的不合格碳化硅晶体从其中分离出来，成为块状碳化硅晶体；将分离出来的块状碳化硅晶体，破碎至最大截面尺寸不大于15mm的碳化硅晶体；将破碎后的碳化硅晶体再次酸洗，后用纯水清洗，再风干；将碳化硅晶体和助熔剂按比例放入坩埚；将坩埚放入中频加热炉加热，当坩埚内的碳化硅晶体已成熔体状态时，将碳化硅籽晶下降至与熔体液面接触，直至获得碳化硅单晶后结束。
一种制备碳化硅方法

[发明专利]一种用于硅晶片双面研磨机研磨机构的单电机驱动系统-CN201811104925.5有效
发明人： 谢鸿波;李智彪;黄晋强;郭勇文;权纪亮;刘军 -专利权人：广州半导体材料研究所
申请日： 2018-09-21 - 公布日： 2020-10-13 - 主分类号： B24B37/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于硅晶片双面研磨机研磨机构的单电机驱动系统，包括电机、研磨驱动机构、一级传动机构和二级传动机构，电机的电机驱动轴上安装有主驱动齿轮，研磨驱动机构包括游星轮片外圈驱动轮的驱动齿轮、下磨盘驱动齿轮、游星轮片内圈驱动轮的驱动齿轮和上磨盘驱动齿轮等，一级传动机构与主驱动齿轮传动连接并驱动游星轮片内圈驱动轮的驱动齿轮和上磨盘驱动齿轮同时转动，二级传动机构与一级传动机构传动连接并驱动游星轮片外圈驱动轮的驱动齿轮和下磨盘驱动齿轮同时转动；该用于硅晶片双面研磨机研磨机构的单电机驱动系统有利于提高研磨机的制造效益，以及简化硅晶片研磨工艺的指导，提升研磨机操作的效率和降低误操作的风险。
一种用于晶片双面研磨机研磨机构电机驱动系统

[实用新型]一种用于硅晶片双面研磨机上磨盘的止跌装置-CN201821681272.2有效
发明人： 谢鸿波;李智彪;黄晋强;郭勇文;权纪亮;刘军 -专利权人：广州半导体材料研究所
申请日： 2018-10-17 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： B24B37/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于硅晶片双面研磨机上磨盘的止跌装置，包括止跌环、插销座、插销件和推拉机构，止跌环固定在上磨盘升降杆的外周侧面上，止跌环的直径大于上磨盘升降杆的直径，插销座上设置有贯穿其顶面和底面的中空窗，插销座顶面两侧边缘设置有插销槽，插销座通过插销座固定螺栓孔固定安装在研磨机龙门架的横梁下面，中空窗可使上磨盘升降杆和止跌环上下通过，插销件的端部为插销脚，两个插销脚的平行间距大于上磨盘升降杆的直径，并且小于止跌环的直径，推拉机构与插销件固定连接；该用于硅晶片双面研磨机上磨盘的止跌装置可以有效地防止当气缸或其配套空气压缩系统出现意外事件时，上磨盘跌落对研磨机操作人员或有关物品带来损害。
插销座上磨盘升降杆双面研磨插销件硅晶片磨盘插销推拉机构中空窗顶面空气压缩系统本实用新型固定螺栓孔研磨机操作两侧边缘外周侧面意外事件插销槽龙门架研磨机有效地横梁气缸跌落平行贯穿配套损害

[实用新型]用于半导体晶片研磨机的液体磨料供给系统和半导体晶片研磨系统-CN201720130464.3有效
发明人： 谢鸿波;刘军;赖韶辉;姚永红 -专利权人：广州半导体材料研究所
申请日： 2017-02-14 - 公布日： 2017-09-22 - 主分类号： B24B37/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及用于半导体晶片研磨机的液体磨料供给系统，包括低位磨料桶、高位磨料桶、连接低位磨料桶和高位磨料桶的上料管、将磨料从低位磨料桶抽至高位磨料桶的抽取泵、将磨料从高位磨料桶下料至研磨机的下料管、控制高位磨料桶下料通断的开关阀门。本实用新型还涉及半导体晶片研磨系统，包括半导体晶片研磨机和液体磨料供给系统。本实用新型具有供料的灵活性更强，便于连续地供给磨料，实现磨片机不间断的磨片，供料更均匀的优点，属于半导体晶片加工设备技术领域。
用于半导体晶片研磨机液体磨料供给系统研磨

[实用新型]非平衡少数载流子寿命测量的多普勒频移产生装置-CN201420873672.9有效
发明人： 谢鸿波;关自强;郭勇文;陈湘如;申浩;周映芬;李斌;柯观振 -专利权人：广州半导体材料研究所
申请日： 2014-12-31 - 公布日： 2015-07-01 - 主分类号： G01R31/265 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种非平衡少数载流子寿命测量的多普勒频移产生装置，包括底座、限位柱、活动平台及样品台，所述限位柱固定于所述底座上，所述活动平台滑动地固定于所述限位柱上，所述活动平台与所述底座之间设置有第一电磁线圈、活动平台复位机构，所述活动平台的上端面置有微波模块、下端面固定有与所述第一电磁线圈相对的永磁铁，所述样品台固定于所述活动平台的正上方。微波模块通过所述微波发射天线向样品硅片发射微波，样品硅片中有受光激发的载流子将微波向下反射，由于微波模块固定在活动平台上做近似的简谐运动，即两者之间有一个频率差，将信号变成中频信号，避免了处理高频信号而带来上述的技术问题。
平衡少数载流子寿命测量多普勒频移产生装置

[发明专利]一种YAG晶片式白光发光二极管及其封装方法-CN200510102388.7有效
发明人：苏锵;谢鸿波;方福波;王静;钟玖平;李绪锋;吴昊;武南平;潘利兵;李军政 -专利权人：中山大学;广州半导体材料研究所;佛山市国星光电科技有限公司
申请日： 2005-12-19 - 公布日： 2006-08-09 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种YAG晶片式白光发光二极管及其封装方法。其利用YAG单晶片将GaN基无机半导体LED晶粒发出的部分蓝光转换为另外一种或多种理想波段的光，然后LED晶粒发出的剩余未被转换的蓝光与单晶片转换后的理想波段的光混合产生白光。该技术通过精确控制单晶片荧光体各种参数，来调节和控制荧光体单晶片转换的黄光与未被转换的蓝光之间的比例，同时利用单晶片自身具有的均匀性，获得均一、高质量白光；解决了传统白光LED器件技术很难控制荧光体粉末在硅脂类或树脂类密封胶中的分散性，而最终导致白光LED器件的白光不均匀的技术问题。此外，其可将薄单晶片切割成器件所需尺寸，利用全自动化进行封装，大大提高现有白光LED器件封装的机械化程度。
一种 yag 晶片白光发光二极管及其封装方法