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- [发明专利]清洗半导体衬底的方法和装置-CN201680084209.8有效
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王俊;王晖;陈福发;陈福平;王坚;王希;张晓燕;金一诺;贾照伟;谢良智;李学军
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盛美半导体设备(上海)股份有限公司
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2016-04-06
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2022-06-10
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H01L21/67
- 一种使用超声波或兆声波装置(1003,2003)清洗半导体衬底(1010,2010)且不损伤半导体衬底(1010,2010)上的图案化结构的方法，包括：将液体喷射到半导体衬底(1010,2010)和超声波或兆声波装置(1003,2003)之间的间隙中；设置超声波或兆声波电源的频率为f1，功率为P1以驱动超声波或兆声波装置(1003,2003)；在液体中的气穴振荡损伤半导体衬底(1010,2010)上的图案化结构之前，设置超声波或兆声波电源的输出为零；待气泡内的温度下降到设定温度后，再次设置超声波或兆声波电源的频率为f1，功率为P1；分别检测频率为f1，功率为P1时的通电时间和断电时间或者检测超声波或兆声波电源每个输出波形的振幅；将检测到的通电时间和预设时间τ1进行比较，或者将检测到的断电时间和预设时间τ2进行比较，或者将检测到的每个波形的振幅和预设值进行比较；如果检测到的通电时间比预设时间τ1长，或者检测到的断电时间比预设时间τ2短，或者检测到的任一波形的振幅比预设值大，则关闭超声波或兆声波电源并发出报警信号。
- 清洗半导体衬底方法装置
- [发明专利]液体ph值自动调整系统及方法-CN201911421698.3在审
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谢良智
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陕西中良智能科技有限公司
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2019-12-31
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2020-05-15
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G01N33/00
- 本发明涉及一种液体ph值自动调整系统及方法，液体ph值自动调整系统包括ph值监测模块、控制模块、ph调节试剂模块和搅拌模块，其中，ph值监测模块，用于根据控制模块发送的控制信号获取待调整溶液的ph测量值，并将ph测量值发送至控制模块；控制模块用于：将ph测量值与待调整溶液的目标ph值进行比较，并根据预设的调整信息库确定ph调节试剂添加信息；根据ph调节试剂添加信息，控制ph调节试剂模块进行ph调节试剂的添加；响应于ph调节试剂添加完成，控制搅拌模块对待调整溶液按照预设时间进行搅拌，以使溶液混合均匀。本发明的液体ph值自动调整系统可以自动控制完成ph调节试剂添加，相比于人工添加更加精确快速。
- 液体ph自动调整系统方法
- [发明专利]液体ph值的监测装置、监测方法及监测系统-CN201911415735.X在审
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谢良智
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陕西中良智能科技有限公司
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2019-12-31
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2020-04-24
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G01N27/00
- 本发明涉及一种液体ph值的监测装置、监测方法及监测系统，液体ph值的监测装置，其特征在于，包括：清洗液罐、废液罐、校准液罐、第一ph探头和第二ph探头，其中，清洗液罐的出口通过若干管道与废液罐的入口连接，形成探头清洗回路；校准液罐的出口通过若干管道与其入口连接形成校准回路；若干管道连接待监测溶液罐的出口和入口，形成检测回路；第一ph探头设置在探头清洗回路、校准回路和检测回路相交的管道上；第二ph探头设置在校准液罐上；待监测溶液罐的出口与废液罐的入口之间的管道形成管道清洗回路。本发明的液体ph值的监测装置，不需要经常性的拆卸电极去人工清洗和校准，可以大幅度减少化工生产过程中的维护工作量和运行成本。
- 液体ph监测装置方法系统
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