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[发明专利]一种铌酸锂薄膜波导器件及其制备方法-CN202311203319.X在审
发明人：杨志远;李鑫;陶艺;马世超;郑名扬;刘洋;谢秀平 -专利权人：济南量子技术研究院
申请日： 2023-09-19 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G02B6/13 文献下载
摘要：本发明适用于光通信器件微纳加工技术领域，尤其涉及一种铌酸锂薄膜波导器件及其制备方法。方法包括：提供铌酸锂薄膜晶圆；在铌酸锂薄膜晶圆上涂电子束光刻胶，电子束光刻胶包括正胶；将涂电子束光刻胶的铌酸锂薄膜晶圆经过电子束曝光、显影、镀膜、剥离工艺，得到标记以及波导结构硬掩膜；镀膜工艺包括镀金属，标记以及波导结构硬掩膜均为金属材料；对标记保护后，利用波导结构硬掩膜，通过刻蚀工艺对铌酸锂薄膜进行刻蚀，并经过清洗后得到带有标记的铌酸锂薄膜波导结构；通过带有标记的铌酸锂薄膜波导结构得到铌酸锂薄膜波导器件。本发明提高了分辨率和套刻精度，降低了套刻误差。
一种铌酸锂薄膜波导器件及其制备方法

[发明专利]一种铌酸锂薄膜脊型波导调制器及其制备方法-CN202311196005.1在审
发明人：杨志远;汪斌;李鑫;陶艺;刘磊;郑名扬;刘洋;谢秀平 -专利权人：济南量子技术研究院
申请日： 2023-09-18 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种铌酸锂薄膜脊型波导调制器及其制备方法，该方法包括：提供一铌酸锂薄膜晶圆；在薄膜上涂覆光刻胶和导电胶；进行电子束曝光处理，在所述光刻胶中形成金属标记凹槽、第一波导凹槽和第二波导凹槽；显影处理；金属电镀处理，在相应凹槽中生成金属标记和波导结构硬掩膜；利用掩膜对薄膜进行刻蚀得到第一、第二波导；去除波导结构硬掩膜，然后涂覆导电胶，以金属标记为套刻标记进行曝光、显影处理，电镀处理分别形成三个金属电极，得到脊型波导；沉积保护层以及在脊型波导上耦合光纤，得到铌酸锂薄膜脊型波导调制器。本发明只需一步套刻法，就能制备出调制器，支持使用成本相对低很多的普通曝光胶，大大降低工艺复杂度和成本、更节能。
一种铌酸锂薄膜波导调制器及其制备方法

[实用新型]周期极化铌酸锂波导器件的气密封装结构-CN202321327382.X有效
发明人：魏代营;姚权;张洪涛;刘磊;郑名扬;谢秀平 -专利权人：济南量子技术研究院
申请日： 2023-05-29 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：本实用新型属于光电子技术和光通信技术领域，尤其涉及一种周期极化铌酸锂波导器件的气密封装结构，包括管壳，管壳内设有穿过所述管壳两端的双端光纤耦合波导器件，管壳内还设有热电制冷器和温度传感器，所述热电制冷器和温度传感器均设有引线，所述管壳上设置有排针穿孔，所述排针穿孔中插设有排针，所述引线与所述排针导电连接，所述排针与排针穿孔的内孔壁之间通过玻璃焊料层密封配合，这样不仅保证周期极化铌酸锂波导器件的气密性，还保证了良好的电绝缘性，使周期极化铌酸锂波导器件不易受到外界颗粒杂质的影响，同时避免了水蒸气侵入产生冷凝水影响波导性能，延长使用寿命。
周期极化铌酸锂波导器件气密封装结构

[实用新型]一种低功率中红外激光光纤空间耦合装置-CN202320634819.8有效
发明人：宋琛;蔺际超;汪斌;郑名扬;谢秀平 -专利权人：济南量子技术研究院
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G02B6/42 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种低功率中红外激光光纤空间耦合装置，属于光通信器件领域。该装置包括：反射镜、光纤准直器、光纤和参考激光器；反射镜布置在中红外激光器的光路与参考激光器的光路的交汇点处；光纤准直器和光纤布置在反射镜与参考激光器之间的光路上，光纤准直器的透镜侧对准反射镜，光纤准直器的尾纤侧连接光纤的一端，光纤的另一端连接参考激光器的输出端；反射镜和光纤准直器的角度均可调，参考激光器发射的激光能够利用激光观察卡或肉眼直接观测。借助该装置，通过反向入射参考激光和迭代调节入射激光，能够解决低功率下中红外激光由空间耦合进光纤时难观察、耦合效率低的问题。
一种功率红外激光光纤空间耦合装置

[发明专利]基于铌酸锂脊型波导中红外波段的上转换单光子探测器-CN202210174598.0在审
发明人：杨继乾;蔺际超;汪斌;高洋;王栋;姚权;郑名扬;谢秀平 -专利权人：济南量子技术研究院
申请日： 2022-02-24 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G01J11/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于铌酸锂脊型波导中红外波段的上转换单光子探测器，信号光依次经过可调节衰减器、分束器和第一偏振控制器形成的中红外波段的单光子源进入波分复用器；泵浦光经过第二偏振控制器后进入波分复用器与中红外波段的单光子源融合后进入铌酸锂脊型波导，铌酸锂脊型波导的输出光经过多模光纤和窄带光纤滤波器后进入硅雪崩光电二极管；铌酸锂脊型波导和频过程的转换效率根据归一化转换效率、泵浦光功率和波导非线性长度得到，归一化转换效率的计算中采用经过周期调制的非线性系数。本发明实现了全光纤单光子探测，实现了室温单光子探测，实现了饱和计数率高、暗计数小、后脉冲概率小的单光子探测。
基于铌酸锂脊型波导红外波段转换光子探测器

[实用新型]适用于脊型波导结构的中红外空间耦合装置-CN202320632600.4有效
发明人：汪斌;蔺际超;姜永涛;郑名扬;谢秀平 -专利权人：济南量子技术研究院
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G02B6/26 文献下载
摘要：本实用新型属于光学技术领域，特别是涉及适用于脊型波导结构的中红外空间耦合装置，包括脊型波导结构，还包括固定结构，所述固定结构上设置有安装孔，所述脊型波导结构固定在固定结构中，所述固定结构上对应安装孔的位置安装有近红外观察卡，通过移动空间耦合装置的位置，使其上的近红外观察卡观察到近红外光的焦点位置，然后保持光纤接头转接件位置固定不变，之后更换中红外信号光，因近红外光与中红外信号光为共同焦点，这样就能确定中红外光的焦点位置，使中红外光顺利耦合进脊型波导结构中。
适用于波导结构红外空间耦合装置

[实用新型]一种倍频光纤激光器及其功率稳定系统-CN202320453681.1有效
发明人：衣坤朋;樊景丽;姚权;魏代营;逄博;郑名扬;谢秀平 -专利权人：济南量子技术研究院
申请日： 2023-03-07 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H01S3/109 文献下载
摘要：本实用新型涉及光纤激光器领域，特别涉及一种倍频光纤激光器及其功率稳定系统。功率稳定系统包括：光纤放大器，光纤放大器的输入端用于连接单频激光器；波导，波导的输入端连接光纤放大器的输出端；探测器，探测器的输入端连接波导的输出端；泵浦激光器，泵浦激光器的光纤输出端连接光纤放大器；控制器，控制器的输入端连接探测器的输出端，控制器的第一输出端连接泵浦激光器，用于根据探测器采集的倍频后的激光功率控制泵浦激光器的驱动电流，温度调节装置的输入端连接控制器的第二输出端。本实用新型采用波导的方式不仅可以快速的实现功率稳定，系统响应速度快，稳定效果好，而且最大化的提高输出功率的精度。
一种倍频光纤激光器及其功率稳定系统

[实用新型]一种反质子交换周期性极化铌酸锂波导-CN202320166707.4有效
发明人：董晓君;李鑫;姚权;陶艺;王佳;马世超;郑名扬;石磊;谢秀平 -专利权人：济南量子技术研究院
申请日： 2023-02-09 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： G02F1/035 文献下载
摘要：本实用新型涉及光通信器件领域，特别涉及一种反质子交换周期性极化铌酸锂波导。波导包括：铌酸锂基底，铌酸锂基底内沿光的传输方向嵌入有波导通道，波导通道的第一端贴设第一光纤，波导通道的第二端贴设第二光纤；电极，包括第一电极和第二电极，第一电极和第二电极分别设置在铌酸锂基底上表面波导通道处的两侧；壳体，铌酸锂基底以及电极均设置在壳体内部，壳体上设置有通孔，用于穿设第一光纤和第二光纤，壳体与铌酸锂基底固定连接。本实用新型原有波导的结构上增加了第一电极和第二电极，使得热释电效应显著降低，受到温度变化时，保证了波导器件内部电荷的快速中和，冷启动时间明显缩短，提高工作效率。
一种反质子交换周期性极化铌酸锂波导

[发明专利]一种基于铌酸锂薄膜脊型波导的偏振分束器-CN202310312229.8有效
发明人：杨志远;王喜娜;焦旭峰;汪斌;郑名扬;刘洋;谢秀平;张强 -专利权人：济南量子技术研究院
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：本发明适用于量子光学和量子信息技术领域，尤其涉及一种基于铌酸锂薄膜脊型波导的偏振分束器。偏振分束器包括：用于连接泵浦光源以及输出TM模偏振光的第一铌酸锂薄膜脊型波导；与第一铌酸锂薄膜脊型波导平行设置，且用于输出TE模偏振光的第二铌酸锂薄膜脊型波导；N条脊型波导，N≥1，N条脊型波导均设置在第一和第二铌酸锂薄膜脊型波导之间，且N条脊型波导的光传输方向处于第一铌酸锂薄膜脊型波导和第二铌酸锂薄膜脊型波导的光传输方向的平面内；其中，第i条脊型波导的距离差值为Δdi，第i条脊型波导的长度为di，且0＜|Δdi|＜di，0＜i≤N。本发明的偏振分束器为被动器件系统，不需要额外通电，且工艺更简单。
一种基于铌酸锂薄膜波导偏振分束器

[外观设计]光波频率转换器-CN202230648219.8有效
发明人：魏代营;姚权;刘磊;衣坤朋;樊景丽;蔺际超;郑名扬;谢秀平 -专利权人：济南量子技术研究院
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： 14-02 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：光波频率转换器。2.本外观设计产品的用途：用于光信号的非线性频率转换。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
光波频率转换器

[外观设计]单光子探测器-CN202230855377.0有效
发明人：魏代营;衣坤朋;樊景丽;蔺际超;郑名扬;谢秀平 -专利权人：济南量子技术研究院
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：单光子探测器。2.本外观设计产品的用途：用于光子级别的微弱信号探测。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
光子探测器

[发明专利]基于亚微米铌酸锂薄膜的高速偏振调制器及其制备方法-CN202111417360.8在审
发明人：李鑫;王喜娜;郑名扬;郑远林;仇晶;谢秀平;陈险峰 -专利权人：济南量子技术研究院
申请日： 2021-11-25 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： G02F1/01 文献下载
摘要：本发明提出了一种基于亚微米铌酸锂薄膜和GSG电极结构实现的新型偏振调制器结构及制备方法，其中，通过套刻、电镀和腐蚀工艺的有机结合实现了GSG电极在亚微米级脊型波导两侧的精确定义，使得在微小尺寸下采用GSG电极结构以及获得高的调制带宽成为可能。此外，还基于这种基本结构提供了一种优化的结构参数设计方案，实现脊型波导与调制电极、光信号与调制信号之间的良好匹配，最终在偏振调制器上实现低的半波电压、高的调制带宽，同时使偏振调制器的尺寸得以进一步小型化。
基于微米铌酸锂薄膜高速偏振调制器及其制备方法

[实用新型]一种铌酸锂偏振调制器-CN202223143185.0有效
发明人：张洪涛;逄博;刘磊;李鑫;林伟丽;郑名扬;谢秀平 -专利权人：济南量子技术研究院
申请日： 2022-11-25 - 公布日： 2023-02-14 - 主分类号： G02F1/01 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种铌酸锂偏振调制器，包括光场承载基底，所述光场承载基底上设置有脊波导、第一和第二调谐电极，第一和第二调谐电极分布于脊波导的两侧；第一和第二缓冲层，设置于所述脊波导、第一调谐电极、第二调谐电极以及部分光场承载基底的上表面；第二缓冲层设置于光场承载基底的下表面；第一控制电极和第二控制电极，设置在第一缓冲层的上表面，第二控制电极设置在第二缓冲层的下表面；衬底，设置在第二缓冲层的下表面。本实用新型能够使得偏振调制器工作时的光场既能够分布于调谐电场中心，也能够分布于控制电场中心，大大增加了光场、电场的重叠程度，可以有效降低调制器的工作电压，提高偏振调制器的调制效率。
一种铌酸锂偏振调制器

[发明专利]一种片上单周期极化薄膜铌酸锂波导的量子纠缠源-CN202211343560.8在审
发明人：杨志远;陶艺;王佳;杨继乾;郑名扬;刘洋;谢秀平;张强 -专利权人：济南量子技术研究院
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G02F1/35 文献下载
摘要：本申请涉及一种片上单周期极化薄膜铌酸锂波导的量子纠缠源。该量子纠缠源包括两个光源、片上PPLN波导和片上合束器，片上PPLN波导的一端连接一光源，通过模式翻转器连接片上合束器的第一输入端，其另一端连接另一光源和片上合束器的第二输入端，一光源通过片上PPLN波导进行SPDC转换后的光子对进入第二输入端，另一光源通过片上PPLN波导进行SPDC转换后的光子对进入模式翻转器进行模式翻转，并在翻转后进入第一输入端，通过控制两个光源，对进入的光子对进行相位补偿，并将相位补偿后的光子对聚合后形成干涉并输出，通过一个片上PPLN波导，形成两路的光子对进行纠缠输出，无需考虑波导一致性的问题，设计更加简单，可以缩小纠缠源的体积。
一种片上单周期极化薄膜铌酸锂波导量子纠缠

[发明专利]一种基于双周期极化薄膜铌酸锂波导的量子纠缠源-CN202210991148.0在审
发明人：杨志远;姚权;李鑫;郑名扬;刘洋;谢秀平;张强 -专利权人：济南量子技术研究院
申请日： 2022-08-18 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G02F1/365 文献下载
摘要：本发明适用于量子物理技术领域，尤其涉及一种基于双周期极化薄膜铌酸锂波导的量子纠缠源。纠缠源包括：波导模块，波导模块包括相互垂直且耦合连接的第一PPLN波导和第二PPLN波导，第一PPLN波导用于接收泵浦光源，第二PPLN波导输出关联的光子对；补偿装置，补偿装置的一端与第二PPLN波导的输出端固定连接，用于接收第二PPLN波导输出的光子对，对光子对进行空间和/或时间补偿，并且对补偿后的相位匹配的光子对进行干涉，形成纠缠态，经过补偿装置的另一端输出；温度调节装置，用于调节波导模块和补偿装置的温度。本发明的量子纠缠源为单路纠缠系统，对波导没有一致性的要求，适用于短波长的PPLN波导纠缠源，而且纠缠亮度更高。
一种基于双周极化薄膜铌酸锂波导量子纠缠

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