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[发明专利]芯片失效分析方法-CN202211719723.8在审
发明人：王志明;朱军号;刘金辉;俞添俊;罗昌平;许清秀 -专利权人：中芯越州集成电路制造（绍兴）有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本申请实施例涉及一种芯片失效分析方法，包括：对芯片的背面进行开封；在芯片的背面做失效定位并在定位到的失效位置处形成背面标记；对芯片的正面进行开封；利用光透过开封后的芯片，使背面标记在芯片的正面显现，并在芯片的正面形成与背面标记位置重合的正面标记；利用正面标记对芯片的正面进行物理失效分析。本申请实施例提供的芯片失效分析方法，失效定位结果准确，可以实现高精度分析。
芯片失效分析方法

[发明专利]一种塑封器件的开封方法-CN202210992145.9在审
发明人：张婷;朱军号;徐源;李功伟;许清秀;罗昌平 -专利权人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请日： 2022-08-18 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： G01N1/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种塑封器件的开封方法，该方法包括：提供塑封器件；提供第一化学腐蚀液并加热至第一预设温度；将塑封器件浸入被加热的第一化学腐蚀液中，以至塑封器件开封。本发明通过将待开封的塑封器件完全浸入被加热的第一化学腐蚀液中，使得塑封器件外部的封装体各处与第一化学腐蚀液的反应速率均相同，同时被加热的第一化学腐蚀液大大加快腐蚀反应速率，使得塑封器件的封装层被快速腐蚀开封，使内部打线与芯片可以暴露出来的同时保证芯片功能的完整无损，以便进一步的形貌观察及电性测试等；另外，本发明的开封方法也适用于砷化镓衬底的半导体器件，能够避免开封过程对砷化镓衬底造成腐蚀。
一种塑封器件开封方法

[发明专利]塑封器件的开封方法-CN202210221299.8有效
发明人：徐源;张婷;朱军号;李功伟;罗昌平;许清秀 -专利权人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请日： 2022-03-09 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请涉及一种塑封器件的开封方法，用于对塑封器件的封装层进行开封，包括：于封装层表面形成开槽；于开槽内加入第一反应液与第二反应液，第一反应液与第二反应液发生化学反应以对封装层进行开封。本申请塑封器件的开封方法，不仅能够成功且较快地对塑封器件进行开封，而且有效改善了开封效果。
塑封器件开封方法

[实用新型]一种钢管桩灯杆塔-CN202023330706.4有效
发明人：李震;范志华;许清秀 -专利权人：浙江巨匠钢业股份有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： E04H12/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种钢管桩灯杆塔，包括第一塔段、第二塔段、第三塔段和钢管桩，第三塔段的底部焊接塔脚法兰，塔脚法兰包括焊接在第三塔段的底板，以及等距间隔成圆周状焊接在第三塔段外侧面的第一加劲板，第一加劲板与底板焊接；钢管桩的顶部焊接有桩顶法兰，桩顶法兰包括依次焊接固定的上固定板、连接筒和下固定板，上固定板和下固定板之间还设有多个第二加劲板，且第二加劲板与连接筒外壁焊接，下固定板与钢管桩外壁之间还焊接有第三加劲板，底板与上固定板上贯穿设有螺栓，且底板与上固定板上下两端均通过螺母与螺栓的配合紧固。本实用新型施工方便，减少了施工工期，同时灯杆塔整体安装更加稳固。
一种钢管灯杆

[实用新型]一体化智慧灯杆通信塔-CN202023330734.6有效
发明人：李震;范志华;许清秀 -专利权人：浙江巨匠钢业股份有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： E04H12/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一体化智慧灯杆通信塔，包括第一塔段、第二塔段、第三塔段、钢管桩和控制柜，第三塔段的底部焊接塔脚法兰，埋设在地底的钢管桩的顶部焊接有桩顶法兰塔脚法兰与桩顶法兰上贯穿设有螺栓，且塔脚法兰与桩顶法兰上下两端均通过螺母与螺栓的配合紧固，控制柜设置在第三塔段的一侧，且控制柜底部向下延伸出多根接地扁铁，接地扁铁通过水平金属连接件连接到钢管桩，控制柜的一侧还设有接地桩，接地桩连接到水平金属连接件，且接地桩之间还通过镀锌扁钢连接。本实用新型施工方便，且固定更加稳固安全，且通过水平金属连接件将钢管桩、接地扁铁连接到接地桩，使得信号塔与控制柜均具有良好的接地能力，进一步提高安全性能。
一体化智慧灯杆通信

[发明专利]晶体管及其形成方法-CN201510536211.1有效
发明人：黄子伦;许清秀 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2015-08-27 - 公布日： 2020-04-07 - 主分类号： H01L21/336 文献下载
摘要：一种晶体管及其形成方法，其中晶体管包括：半导体衬底，位于半导体衬底内的第一源区；覆盖半导体衬底和第一源区表面的第一隔离层；位于第一隔离层上的第一栅电极，第一栅电极位于第一源区上方；覆盖第一隔离层表面和第一栅电极侧壁表面的第一介质层；覆盖第一介质层表面和第一栅电极顶部表面的第二隔离层；位于第二隔离层、第一栅电极和第一隔离层中的第一刻蚀孔，第一刻蚀孔底部暴露出有第一源区的表面；位于第一刻蚀孔的两侧侧壁表面上的第一栅介质层；位于第一刻蚀孔中的第一栅介质层之间的第一沟道材料层，第一沟道材料层填充满第一刻蚀孔；位于所述第一沟道材料层顶部表面上的第一漏区。本发明的晶体管的集成度提高。
晶体管及其形成方法

[实用新型]一种智慧通信塔-CN201821924591.1有效
发明人：李震;范志华;许清秀;陈维健 -专利权人：浙江巨匠钢业股份有限公司
申请日： 2018-11-20 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： E04H12/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种智慧通信塔，包括塔体和塔基，塔体自下而上包括通过套管连接的第一塔杆、第二塔杆、第三塔杆、第四塔杆和第五塔杆；第一塔杆下端设有法兰板，该法兰板与第一塔杆之间设有支撑板，第一塔杆下端连接到基座管段上端；第一塔杆上部或第二塔杆上设有倾角传感器和若干摄像头，所述倾角传感器和摄像头通过无线网络与基站通信连接，所有摄像头周向均匀设置在在第一塔杆或第二塔杆外周且摄像头距地面高度在3.5m‑6m之间；第五塔杆上设有天线系统以及用于供电的太阳能电池。本实用新型能反馈通信塔的自身状态到基站，便于管理。
塔杆摄像头本实用新型倾角传感器法兰板塔体下端周向均匀设置太阳能电池反馈通信基站通信套管连接天线系统无线网络自身状态通信塔支撑板上端管段基站塔基外周供电管理

[实用新型]配重式拉线塔-CN201821884785.3有效
发明人：李震;范志华;许清秀;陈维健 -专利权人：浙江巨匠钢业有限公司
申请日： 2018-11-15 - 公布日： 2019-08-09 - 主分类号： E04H12/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及配重式拉线塔，包括基座、塔体、天线和避雷针，基座包括三个及以上的条形钢架，钢架的一端为连接端，另一端为自由端，钢架上自由端和连接端之间设有连接部，相邻的两个钢架中的一个钢架的连接端从侧面连接到另一钢架上的连接部，所有钢架两两相邻围成闭合的多边形结构；设有多根倾斜支撑塔体的纤绳，纤绳的一端与塔体连接，纤绳的另一端与建筑物房顶的女儿墙连接。本实用新型在塔体的安装过程中不会破坏建筑物结构，同时，具有较强的抗风能力，使塔体在受到较强风力时不易倾倒。
钢架塔体连接端纤绳本实用新型拉线塔配重式自由端避雷针多边形结构建筑物房顶建筑物结构闭合安装过程侧面连接抗风能力倾斜支撑条形钢架女儿墙强风力天线倾倒

[实用新型]折叠式基础通信塔-CN201821907172.7有效
发明人：李震;范志华;许清秀;陈维健 -专利权人：浙江巨匠钢业有限公司
申请日： 2018-11-20 - 公布日： 2019-08-09 - 主分类号： E04H12/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及折叠式基础通信塔，包括塔体和基座，所述基座包括多个底层基座单元和上层基座单元，底层基座单元和与其直接相邻的上层基座单元之间在水平面内存在90°错位，并通过竖向贯穿底层基座单元和上层基座单元的预埋螺栓连接。本实用新型适用于多层拼装的组合式通信塔基座，所有组成通信塔基座的基座单元之间只通过竖向设置的连接件即可完成多层之间所有基座单元的连接。
基座单元本实用新型基础通信通信塔折叠式上层多层竖向设置预埋螺栓直接相邻连接件组合式拼装竖向塔体错位贯穿

[实用新型]四角支撑钢管桩塔-CN201821907392.X有效
发明人：李震;范志华;许清秀;陈维健 -专利权人：浙江巨匠钢业有限公司
申请日： 2018-11-20 - 公布日： 2019-08-09 - 主分类号： E04H12/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种四角支撑钢管桩塔，包括多个第一基座单元、两个第二基座单元、一个第三基座单元、一个基座管段和四个支撑杆，多个第一基座单元组合成基座的底座；第二基座单元的两端设有连接件，所述连接件包括垂直于第二基座单元上端面设置的连接耳板；第二基座单元和第三基座单元均固定在底座上，两个第二基座单元相互平行，两个基座单元上的所有连接件分布在底座的四角处；第三基座单元位于底座中心，基座管段固定在第三基座单元上，基座管段的上部外侧壁固定焊接有四个连接耳；支撑杆的两端分别连接在连接耳板以及连接耳上，从四周支撑基座管段。本实用新型能在塔体高度较大时提供稳定支撑。
基座单元管段连接件底座本实用新型连接耳板四角支撑钢管桩连接耳支撑杆底座中心固定焊接稳定支撑支撑基座上端面四角处外侧壁塔体平行垂直

[发明专利]一种超声波清洗装置-CN201710719132.3在审
发明人： 许清秀 -专利权人：中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2017-08-21 - 公布日： 2019-03-05 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种超声波清洗装置。所述超声波清洗装置包括清洗槽，在所述清洗槽外表面上设置有若干移动式的超声波振子，所述超声振子能相对所述清洗槽外表面运动以实现清洗物的均匀清洗。本发明所述超声波清洗装置产生的清洗波达到清洗物(如晶圆)表面的能量是一样的大小，从而解决超声波驻波对清洗物(如晶圆)表面图形的局部破坏性或是局部清洗不充分。
超声波清洗装置清洗槽清洗物晶圆清洗超声波振子外表面运动表面图形超声振子局部清洗超声波移动式驻波

[实用新型]装配式机房-CN201720934791.4有效
发明人：李震;范志华;许清秀 -专利权人：浙江巨匠钢业有限公司
申请日： 2017-07-28 - 公布日： 2018-02-16 - 主分类号： E04B1/348 文献下载
摘要：本实用新型公开一种装配式机房，包括垫板，设置在垫板上的机房主体以及设置在机房主体上方的房顶，机房主体包括多个箱式拼接单元，箱式拼接单元由陶粒混凝土配合钢筋浇筑成型，箱式拼接单元的侧板内预设保温板，箱式拼接单元的前后端部分别向外延伸有一圈拼合边，前后两端的拼合边对齐，箱式拼接单元拼接完成后，相邻的两个箱式拼接单元的两个拼合边之间相抵形成凹槽，在凹槽中由内网外依次设置防水结构。本实用新型装配方便，并具有良好的保温性和防水性。
装配式机房

[实用新型]一种管廊式机房-CN201720934763.2有效
发明人：李震;范志华;许清秀 -专利权人：浙江巨匠钢业有限公司
申请日： 2017-07-28 - 公布日： 2018-02-16 - 主分类号： E04H5/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种管廊式机房，包括垫板，设置在垫板上的机房主体以及设置在机房主体上方的房顶，机房主体包括多个箱式拼接单元，箱式拼接单元的前后端部分别向外延伸有一圈拼合边，且前后端的拼合边内外交错配合，前后相邻的箱式拼接单元通过拼合边配合定位后通过螺栓连接，箱式拼接单元拼接完成后，在相邻箱式拼接单元的拼接缝隙处涂覆密封胶。本实用新型具有安装方便，安装效率高的有益效果。
一种管廊式机房

[实用新型]管廊式机房-CN201720934749.2有效
发明人：李震;范志华;许清秀 -专利权人：浙江巨匠钢业有限公司
申请日： 2017-07-28 - 公布日： 2018-02-16 - 主分类号： E04H5/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种管廊式机房，包括垫板，设置在垫板上的机房主体以及设置在机房主体上方的房顶，机房主体包括多个箱式拼接单元，箱式拼接单元的前后端部分别向外延伸有一圈拼合边，前后两端的拼合边对齐，前后相邻的箱式拼接单元通过螺栓连接，箱式拼接单元拼接完成后，相邻的两个箱式拼接单元的两个拼合边之间相抵形成凹槽，在凹槽中设有防水结构。本实用新型具有安装方便，安装效率高的有益效果。
管廊式机房

[发明专利]一种半导体器件及其制作方法和电子装置-CN201510233568.2在审
发明人：黄子伦;许清秀 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2015-05-08 - 公布日： 2016-12-07 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体器件及其制作方法和电子装置，所述方法包括：提供半导体衬底，在半导体衬底上形成有鸟嘴形场氧，以及覆盖半导体衬底以及部分鸟嘴形场氧的图案化的硬掩膜层；以图案化的硬掩膜层为掩膜，依次对暴露的部分鸟嘴形场氧和半导体衬底进行刻蚀，以形成沟槽，并保留鸟嘴形场氧位于硬掩膜层和半导体衬底之间的鸟嘴；形成隔离材料层填充沟槽并覆盖所述硬掩膜层；执行化学机械研磨停止于硬掩膜层内；回蚀刻去除所述图案化的硬掩膜层，以形成浅沟槽隔离结构。根据本发明的制作方法，可以有效改善STI填充的隔离材料层拐角处缺角问题的出现，同时又保留了鸟嘴，通过鸟嘴效应显著提高器件的阈值电压，进而提高了器件的性能。
一种半导体器件及其制作方法电子装置

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