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[发明专利]面向光纤珐珀声波传感器的全向式封装结构及制作方法-CN202010246127.7在审
发明人：司文荣;虞益挺;傅晨钊;李浩勇;王谢君;黄昊;吴旭涛;陆启宇;宋平;黄兴德;朱征;李秀广;梁基重;药炜;何宁辉;周秀;马飞越;倪辉;陈川;刘昕;郭经红;袁鹏 -专利权人：国网上海市电力公司;西北工业大学;国网宁夏电力有限公司电力科学研究院;国网山西省电力公司;全球能源互联网研究院有限公司;西安茂荣电力设备有限公司
申请日： 2020-03-31 - 公布日： 2020-08-14 - 主分类号： G01D5/353 文献下载
摘要：本发明涉及一种面向光纤珐珀声波传感器的全向式封装结构及制作方法，包括光纤(1)、敏感膜片(2)、多孔式封装壳(3)和多孔式套筒(5)；所述的光纤(1)固定在多孔式套筒(5)的一端，所述的敏感膜片(2)位于多孔式套筒(5)的另一端，所述的光纤(1)与敏感膜片(2)的中心平行且同轴，其中的中空区域为珐珀腔，所述的多孔式封装壳(3)固定在结构的外部，并通过顶部开孔与光纤(1)相连。与现有技术相比，本发明具有降低传感器工作过程中的声波损耗，加强传感器对微弱声波的检测能力，实现全向检测，提高光纤珐珀声波传感器的灵敏度等优点。
面向光纤声波传感器全向封装结构制作方法

[发明专利]基于梅花型光纤的MEMS多光束干涉腔及其制作方法-CN202010152756.3在审
发明人：司文荣;虞益挺;傅晨钊;李浩勇;吴旭涛;陆启宇;黄华;王谢君;徐梦飞;黄昊;李秀广;梁基重;药炜;何宁辉;周秀;马飞越;陈川;刘昕;袁鹏 -专利权人：国网上海市电力公司;西北工业大学;国网宁夏电力有限公司电力科学研究院;国网山西省电力公司;全球能源互联网研究院有限公司;西安茂荣电力设备有限公司
申请日： 2020-03-06 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于梅花型光纤的MEMS多光束干涉腔及其制作方法，包括梅花型光纤、引导孔、支撑框架、孔肩、干涉腔本体、敏感膜片、第一反射层和第二反射层；所述梅花型光纤包括中心光纤和环绕光纤；所述梅花型光纤固接在引导孔中并与第二反射层相连接，所述的中心光纤与第一反射层中心对准，所述的环绕光纤与第二反射层相连接，所述第二反射层设在引导孔底部和干涉腔本体构成的孔肩上，所述干涉腔本体设在引导孔的底部且与引导孔的中心同轴，所述敏感膜片制作在干涉腔本体的底部并与支撑框架连接，所述第一反射层设在敏感膜片上。与现有技术相比，本发明具有工艺流程少、加工难度低、结构设计灵活、制作成本低等优点。
基于梅花光纤 mems 光束干涉及其制作方法

[发明专利]基于铂-镍气凝胶纳米酶敏感芯片的可穿戴葡萄糖传感器-CN201911107279.2在审
发明人：文丹;李光磊;郝佳;虞益挺 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2019-11-13 - 公布日： 2020-03-10 - 主分类号： G01N27/327 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于铂‑镍双金属气凝胶工作电极的可穿戴葡萄糖传感器，利用制备的铂‑镍气凝胶纳米酶，直接作为可穿戴葡萄糖传感器的工作电极，可在中性条件下对葡萄糖进行检测。本发明所述葡萄糖传感器的工作电极无需在柔性膜上制作导电金属薄膜，不仅避免了导电金属膜的干扰，提高了检测葡萄糖浓度的准确性，而且降低了制作导电基底的成本，提升了传感器的性价比。此外，通过对合成铂‑镍气凝胶的参数的调节，制备不同尺寸结构的铂‑镍气凝胶，以此制备出不同灵敏度的葡萄糖传感器工作电极，可提高传感器的信噪比。
基于凝胶纳米敏感芯片穿戴葡萄糖传感器

[发明专利]局部放电EFPI光纤传感器法珀腔探头的制造方法-CN201911048969.5在审
发明人：司文荣;吴旭涛;傅晨钊;李秀广;陆启宇;黄兴德;黄华;虞益挺;贺林;高凯;何宁辉;袁鹏 -专利权人：国网上海市电力公司;国网宁夏电力有限公司电力科学研究院;西北工业大学;西安茂荣电力设备有限公司
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2019-12-27 - 主分类号： G01R3/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种局部放电EFPI光纤传感器法珀腔探头的制造方法，包括以下步骤：步骤1)局部放电EFPI光纤传感器法珀腔探头敏感膜片结构及辅助定位结构加工；步骤2)小孔即法珀腔加工；步骤3)大孔即光纤安装定位阶梯孔加工；步骤4)法珀腔敏感膜片内表面镀膜；步骤5)法珀腔探头光纤装配。与现有技术相比，本发明具有利用SOI片实现了μm级敏感膜片法珀腔探头的大批量加工制备等优点。
法珀腔敏感膜片探头光纤传感器局部放电加工辅助定位结构定位阶梯孔光纤安装探头光纤内表面大孔镀膜小孔制备装配制造

[发明专利]一种MEMS光纤水听器及其制作方法-CN201910619044.5在审
发明人： 虞益挺;李浩勇 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2019-07-10 - 公布日： 2019-10-15 - 主分类号： G01H9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种MEMS光纤水听器及其制作方法，属于光纤传感领域。水听器主要包括光纤1、腔长控制层2、膜片支撑3、保护帽4、敏感膜片5、质量块6、反射层7、膜片支撑结构8，其敏感结构采用梁支撑/圆形薄膜+质量块形式，旨在降低敏感结构的阻尼比、提高敏感结构的谐振响应、增加珐珀腔的平整度、克服温度和气压对珐珀腔初始腔长的影响；预定义刻蚀截止层旨在降低敏感结构的制造难度，突破敏感结构制造时的厚度限制，简化敏感结构的制造工艺，实现超薄敏感结构的高保真制造。
敏感结构光纤水听器珐珀腔质量块光纤传感领域膜片支撑结构制造刻蚀截止层厚度限制敏感膜片膜片支撑腔长控制谐振响应圆形薄膜制造工艺保护帽初始腔反射层高保真平整度水听器预定义阻尼比气压制作光纤支撑

[发明专利]基于金气凝胶工作电极的可穿戴葡萄糖传感器芯片及制备方法-CN201910548393.2在审
发明人：李光磊;李文丽;郝佳;文丹;虞益挺 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2019-06-24 - 公布日： 2019-09-10 - 主分类号： G01N27/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于金气凝胶工作电极的可穿戴葡萄糖传感器芯片及制备方法，利用金气凝胶直接作为可穿戴葡萄糖传感器的工作电极，无需附加导电基底，不仅提高了检测葡萄糖浓度的准确性，而且省去了制作导电基底的成本，提升了传感器的性价比。此外，通过对合成金气凝胶的参数的调节，制备不同尺寸的金气凝胶，以此制备出不同灵敏度的葡萄糖传感器工作电极，大大提高了传感器的信噪比。
葡萄糖传感器工作电极金气凝胶制备可穿戴导电基传感器芯片检测葡萄糖合成金灵敏度气凝胶信噪比制作

[发明专利]一种面内集成MEMS光纤珐珀敏感芯片及其制作方法-CN201910324762.X在审
发明人： 虞益挺;李浩勇;张怡红;熊朝羽;司文荣;傅晨钊;袁鹏 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2019-04-22 - 公布日： 2019-08-23 - 主分类号： G01D5/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种面内集成MEMS光纤珐珀敏感芯片及其制作方法,属于光纤传感领域，该芯片的光纤1固定在光纤槽2中，光纤1与敏感膜片5之间的距离通过孔肩8控制，敏感膜片5位于保护槽4底部，连接于膜片支撑3上，反射层6通过在敏感膜片5上沉积一层反射膜形成。芯片整体采用平面式结构，即敏感膜片垂直于被加工材料表面，使得立体式芯片结构(敏感膜片平行于被加工材料表面)难以或者不能加工出的双侧质量块型和布拉格型结构成为可行，而且加工工艺简单，只需两次刻蚀；芯片采用双侧质量块型敏感膜片可以大幅度改善珐珀腔的平整度、提高敏感膜片的谐振响应；采用布拉格型敏感膜片可以在改善珐珀腔的平整度、提高敏感膜片谐振响应的基础上进一步提高珐珀腔的干涉品质、省去增加敏感膜片干涉品质的镀反射膜工艺。
敏感膜片珐珀腔被加工材料光纤珐珀敏感芯片谐振响应芯片平整度质量块光纤光纤传感领域平面式结构镀反射膜两次刻蚀膜片支撑芯片结构保护槽反射层反射膜光纤槽通过孔干涉沉积制作平行垂直加工

[发明专利]一种可见光宽波段吸收器及其制作方法-CN201910055998.8在审
发明人： 虞益挺;赵建村 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2019-01-22 - 公布日： 2019-07-12 - 主分类号： G02B5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种可见光宽波段吸收器及其制作方法，属于集成光电子领域，主要涉及结构‑光场调控技术、光谱技术、纳米加工技术等。该器件主要包括基底3，置于基底3上的光刻胶周期性纳米结构2，以及沉积于两者之上的可见光高吸收材料层1。基底3为吸收器结构提供刚性支撑；周期性纳米结构2为增强共振吸收提供条件；高吸收材料介质层1可增强电磁共振能量吸收，在可见光范围内，折射率虚部系数k>4的材料对入射光具有很高的吸收效率；高吸收材料侧壁1‑2可进一步将入射光局域在微纳结构内部，提高吸收效率；通过优化周期性纳米结构的几何尺寸，可以实现对可见光范围内的宽波段完美吸收，吸收率高达90％以上，覆盖整个可见光范围，且具有偏振无关、入射角不敏感等特性。
可见光周期性纳米结构高吸收材料宽波段基底吸收效率入射光吸收器吸收率纳米加工技术集成光电子吸收器结构折射率虚部电磁共振刚性支撑共振吸收光谱技术能量吸收偏振无关提供条件微纳结构不敏感光刻胶介质层入射角侧壁光场沉积制作调控覆盖吸收优化

[发明专利]光纤EFPI超声波传感器用支撑梁臂式敏感膜片-CN201910237658.7在审
发明人：司文荣;傅晨钊;苏磊;黄华;高凯;包海龙;陆启宇;陈璐;袁鹏;虞益挺 -专利权人：国网上海市电力公司;华东电力试验研究院有限公司;西安茂荣电力设备有限公司;西北工业大学
申请日： 2019-03-27 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： G01H9/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种光纤EFPI超声波传感器用支撑梁臂式敏感膜片，包括支撑梁臂和中心敏感单元，所述的中心敏感单元安装在支撑梁臂上；所述的敏感膜片的工作特性由支撑梁臂的数量n、支撑梁臂的长度L、支撑梁臂截面的宽度w、中心敏感单元的有效长度2r和整体膜片的厚度h决定。与现有技术相比，本发明具有可调节性强，用于达到检测不同频率范围内的超声波信号，大大扩展了其使用范围等优点。
支撑梁敏感单元敏感膜片超声波传感器臂式光纤超声波信号工作特性可调节性有效长度整体膜片检测

[发明专利]局部放电光纤EFPI传感器的非密封式法珀腔探头-CN201910237336.2在审
发明人：司文荣;傅晨钊;陆启宇;黄华;苏磊;高凯;包海龙;陈璐;袁鹏;虞益挺 -专利权人：国网上海市电力公司;华东电力试验研究院有限公司;西安茂荣电力设备有限公司;西北工业大学
申请日： 2019-03-27 - 公布日： 2019-06-21 - 主分类号： G01H9/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种局部放电光纤EFPI传感器的非密封式法珀腔探头，包括敏感膜片、套管、固定护套、压力平衡孔、光纤，所述的敏感膜片安装在套管一端，所述的固定护套插入套管另一端，所述的光纤插入固定护套中，所述的光纤、固定护套、套管和敏感膜片连接后形成非密封式法珀腔，所述的压力平衡孔设在固定护套中并与非密封式法珀腔连通。与现有技术相比，本发明具有性能更加稳定等优点。
固定护套法珀腔套管非密封式敏感膜片光纤压力平衡孔局部放电传感器探头光纤插入密封式与非连通

[发明专利]一种电磁驱动式微机械可调谐珐珀滤波器及其制作方法-CN201610784533.2有效
发明人： 虞益挺;朱全发;李浩勇 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： G02B5/28 文献下载
摘要：本发明公开来一种电磁驱动式微机械可调谐珐珀滤波器及其制作方法，属于智能光功能器件领域，主要涉及印刷电路板技术、微加工技术、干涉滤波技术以及电磁驱动技术等。该可调谐珐珀滤波器主要包括箱体1、盖板5、可动镜面支撑4、固定镜面支撑2、永磁体16、第一反射镜8、第二反射镜14、线圈6。本发明提出的基于印刷电路板的电磁驱动式可调谐珐珀滤波器具有比静电驱动大的多的可调谐范围，能大幅度增大器件的工作波段；通过调节不同子线圈内电流的大小与方向可以微调器件可动部分，从而克服加工及装配误差，保持上下两镜面平行；同时其制作工艺采用机械加工、标准印刷电路板加工、粘接等工艺，成本低、加工周期短、工艺成熟。本发明将促进微机械可调谐珐珀滤波器在实际系统中的应用推广。
一种电磁驱动式微机械调谐滤波器及其制作方法

[发明专利]一种基于数字微镜器件的像素级扫描光谱成像系统及成像方法-CN201610067454.X有效
发明人： 虞益挺;闫治晚 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2016-01-30 - 公布日： 2018-10-16 - 主分类号： G01J3/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于数字微镜器件的像素级扫描光谱成像系统及成像方法，属于成像光谱领域。该基于数字微镜器件的像素级扫描光谱成像系统主要包括：目标1、前置成像系统2、DMD3、准直镜4、光栅5、成像物镜6、CCD相机7；目标1与DMD3分别放置在前置成像系统2的物面与像面处，DMD3上的微镜将前置成像系统2所成的目标像反射给准直镜4，经过准直镜4的光线平行照射到光栅5上，光栅5色散后的光谱最后由成像物镜6成像到CCD相机7上。本发明具有光谱采集、复原计算量较小、空间分辨率可调、体积小的优点。
一种基于数字器件像素扫描光谱成像系统方法

[实用新型]智能垃圾桶-CN201720584018.X有效
发明人： 虞益挺;郭展锋;叶静杰;陶逸航;范明明;崔峰 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2017-05-24 - 公布日： 2018-02-27 - 主分类号： B65F1/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种兼具精细分类、满溢提醒、夜间照明、语音播放、异味监控以及广告定制等功能的智能垃圾桶。该智能垃圾桶，包括可回收桶、不可回收桶、包括可回收桶垃圾投入口、不可回收桶垃圾投入口，其特征在于，所述的可回收桶用挡板隔开成若干个小桶用于精细分类；各可回收小桶之间有精细分类引导槽；此外，还包括音频播放器、LED灯、光线传感器、热释电红外传感器、交互按钮、GSM信息发送单元、可回收桶盖舵机、不可回收桶盖舵机、可回收桶测距模块、不可回收桶测距模块、精细分类舵机、气体传感器、微控制器、风扇。该垃圾桶通过五个模块，增强垃圾桶的功能性和交互性，体积小，重量轻。
智能垃圾桶

[发明专利]电磁驱动微机械双向调谐珐珀滤波器及其制作方法-CN201610065383.X有效
发明人： 虞益挺;李浩勇;朱全发 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2016-01-30 - 公布日： 2017-11-24 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种电磁驱动微机械双向调谐珐珀滤波器及其制作方法，属于智能光功能器件领域，主要涉及印刷电路板技术、微加工技术、干涉滤波技术以及电磁驱动技术等。器件主要包括箱体1、盖板7以及容纳于箱体1、盖板7之内的第一可动镜面支撑2、第二可动镜面支撑4、第一反射镜13、第二反射镜11、第一多层线圈16、第二多层线圈6。本发明提出的基于PCB的电磁驱动双向调谐珐珀滤波器具有大的可调谐范围，能大幅度增加器件的工作波段，大幅度减小珐珀滤波器的整体尺寸。通过调节不同子多层线圈内电流的大小和方向可以微调器件的可动部分，从而克服加工及装配误差，保持上下两镜面平行；同时，其制作工艺采用3D打印、标准PCB加工、粘接等工艺，成本低、加工周期短、工艺成熟。本发明将促进微机械可调谐珐珀滤波器在实际系统中的应用推广。
电磁驱动微机双向调谐滤波器及其制作方法

[发明专利]电磁驱动微机械可调谐珐珀滤波器及其制作方法-CN201510546583.2有效
发明人： 虞益挺;苑伟政;周泽宇 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2015-08-31 - 公布日： 2017-11-24 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了两种(基于刚性支撑底座与薄膜支撑底座)电磁驱动可调谐珐珀滤波器及其制作方法，该新型的滤波器结构采用磁粉填充的嵌入式薄膜制造技术，与其他硅微加工技术具有良好的工艺兼容性，避免传统贴片式薄膜工艺人工操作带来的操作误差，从而提高了器件的工作稳定性及加工成品率；同时，具有比静电驱动大的多、且工艺可调的空气间隙，能大幅度提高器件的可滤波长范围；再者，电磁驱动具有良好的线性响应特性，为后续驱动电路研制提供了极大便利，控制精度得到提高。本发明将促进MEMS微机械可调谐珐珀滤波器在实际系统中的应用。
电磁驱动微机调谐滤波器及其制作方法