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- [实用新型]一种多颗半导体器件分离机构-CN202123024315.4有效
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白志坚;薛克瑞;周圣军
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深圳市良机自动化设备有限公司
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2021-12-02
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2023-05-05
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H01L21/67
- 本申请公开了一种多颗半导体器件分离机构,属于半导体器件分选的领域,其包括支撑架一、走料平台、分选模块以及承接组件,走料平台沿其长度方向开设有走料腔体,走料腔体的内底面具有支托半导体器件的走料轨道,走料平台上表面靠近分选模块的位置开设有与走料腔体相贯通的条形槽口,分选模块包括止推组件以及用于驱动所述止推组件沿竖直方向往复运动的驱动组件,止推组件包括可沿竖直方向伸入或脱离条形槽口的压料夹;走料平台内开设有与走料轨道上表面相连通的喷气通道,喷气通道的另一端连通至压缩气源,喷气通道朝向半导体器件的走料方向倾斜设置。本申请一次性分离多颗半导体器件,并进行送料,具有提高半导体器件运送效率的效果。
- 一种半导体器件分离机构
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