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[发明专利]一种合金薄膜压敏芯片及其制备方法-CN202310802246.X在审
发明人：余浪;周国方;禹宇;蓝镇立;何峰 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G01L1/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种合金薄膜压敏芯片及其制备方法，该芯片包括基底，在基底上依次设有缓冲层、绝缘层、氧化硅层、功能材料层和保护层，绝缘层为氧化铝和氧化硅的混合膜。其制备方法包括依次在基底上制备缓冲层、绝缘层、氧化硅层、功能材料层和保护层。本发明中，以由氧化铝和氧化硅混合而得薄膜作为绝缘层，不仅能够提升芯片的介质耐电压能力，而且能够提高芯片的稳定性，具有介质耐电压能力强、结构稳定性好等优点，同时还具有精度高、温漂小等优点，达到了国际先进水平，在恶劣环境中适应性非常好，可以满足高铁、航天等领域更高的应用要求。本发明制备方法具有成本低、效率高、工艺可控等优点，可用于批量化生产，适合于工业化应用。
一种合金薄膜芯片及其制备方法

[发明专利]一种气密性检测模块和检测系统-CN202111678419.9有效
发明人：蒋超;何峰;蓝镇立;金忠;李松辉 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： G01M3/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种气密性检测模块，包括差压芯体、检压密封单元、和标准压力密封单元；所述检压密封单元和标准压力密封单元分别位于差压芯体的两端，并组合成形成整体；所述检压密封单元的内部密封有一个标准压力，并在工作时与被检密封管道或容器相连通；所述标准压力密封单元的内部密封一个标准压力，作为判定被检管道或容器密封性的基准；所述差压芯体用于感测检压密封单元与标准压力密封单元之间的压力差以得到管道或容器的压力。本发明具有结构紧凑、体积小、精度高、成本低、通用性强、压力测量范围广、可靠性高等优点。
一种气密性检测模块系统

[发明专利]一种抗静电耐高电压合金薄膜压敏芯片及其制备方法-CN202211455986.2在审
发明人：余浪;周国方;何峰;杨晓生;蓝镇立 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2022-11-21 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： G01L1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种抗静电耐高电压合金薄膜压敏芯片及其制备方法，该芯片包括基底，以及在基底上依次制备缓冲层、第一氧化铝薄膜、第一氧化硅薄膜、第二氧化铝薄膜、第二氧化硅薄膜、敏感层和保护层。本发明合金薄膜压敏芯片，采用的复合绝缘层的介质耐电压可达到800V以上，抗静电性能达到6000V以上，作为合金薄膜压敏芯片的绝缘层，能显著提升其抗静电性能和介质耐电压能力，能够满足高铁、航天等领域的实际应用要求，且本发明合金薄膜压敏芯片还具有精度高、温漂小、稳定性好等优点，达到了国际先进水平。本发明制备方法具有工艺简单、操作方便、生产效率高等优点，对于扩大薄膜压力传感器在高铁、航天等领域中的广泛应用具有重要意义。
一种抗静电电压合金薄膜芯片及其制备方法

[发明专利]硅基薄膜压敏元件及其制备方法-CN202211318467.1在审
发明人： 蓝镇立;金忠 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2022-10-26 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G01L1/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅基薄膜压敏元件及其制备方法，该硅基薄膜压敏元件包括硅杯，其第一表面上沉积有绝缘层、应变电阻、焊盘和保护层；第二表面上设有凹槽，且与封装板密封连接，形成密封腔。其制备方法包括在硅杯的第一表面绝缘层、应变电阻，应变电阻上沉积有焊盘和保护层，以及在第二表面制备凹槽，并与封装板密封连接。本发明硅基薄膜压敏元件，具有耐高温性能优异、在恶劣环境下可靠性高、检测精度高、检测灵敏性好、稳定性好等优点，能够满足航空、航天及石油化工等领域的性能要求，使用价值高，应用前景好。其制备方法具有工艺简单、对制备条件要求低、制备成本低、生产效率高等优点，适合于批量化制备、批量封装小尺寸薄膜压敏元件。
薄膜元件及其制备方法

[发明专利]高介质耐电压复合绝缘膜及其制备方法、高介质耐电压合金薄膜压敏芯体及其制备方法-CN202211304478.4在审
发明人：周国方;余浪;何峰;杨晓生;曾庆平;蓝镇立 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G01L1/20 文献下载
摘要：本发明中公开了一种高介质耐电压复合绝缘膜及其制备方法、高介质耐电压合金薄膜压敏芯体及其制备方法，该复合绝缘膜包括由下而上依次堆叠而成的五氧化二钽薄膜、氧化铝薄膜和氧化硅薄膜，具有介质耐电压性能优异、薄膜应力小、致密性好、粘附性好等优点，将其作为功能材料层和基底材料之间的绝缘层时所构建的合金薄膜压敏芯体，不仅具有介质耐电压高的优点，还具有检测精度高、灵敏度高、在恶劣环境下可靠性好等优点，能够满足高铁列车用特种压力监测的需求，同时在同一真空腔体中进行制备，能够制得薄膜应力小、致密性好、粘附性好的薄膜，进而可获得性能更加优异的合金薄膜压敏芯体。
介质电压复合绝缘及其制备方法合金薄膜压敏芯体

[发明专利]一种管道压力检测组件-CN202210917815.0在审
发明人：蒋超;薛勇;金忠;蓝镇立;何峰;周蒙 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2022-08-01 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： G01M3/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种管道压力检测组件，包括外壳，外壳内设有压力检测单元和温度检测单元，温度检测单元用于检测被检管道内的温度变化，压力检测单元包括检测传感器，检测传感器一端密封连接有感压膜片，感压膜片用于检测被检管道内压力的变化，感压膜片与检测传感器之间的空腔内封装有与被检管道内压力相同的气体，检测传感器的另一端密封连接有双层金属膜片，双层金属膜片由内膜片和外膜片构成，内膜片与检测传感器之间的空腔内封装有与被检管道内压力相同的气体，内膜片和外膜片之间形成有一个空腔，空腔内封装有标准大气压的气体。本发明具有结构紧凑、抗干扰能力强、检测精度高、成本低、安全可靠、通用性强等优点。
一种管道压力检测组件

[发明专利]石墨烯/等离子激元黑硅近红外探测器结构及其制备方法-CN202111471024.1在审
发明人：宋轶佶;蓝镇立;何峰;丁玎;曾庆平 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2021-12-03 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： H01L31/0232 文献下载
摘要：本发明公开了一种石墨烯/等离子激元黑硅近红外探测器结构及其制备方法，此结构包括n型硅片，所述硅片的正面中部设有等离子激元黑硅，所述硅片的正面周侧设置有二氧化硅层，所述二氧化硅层上设有正面电极，所述等离子激元黑硅上设有石墨烯层，所述石墨烯层的周侧延伸并与所述正面电极接触；所述硅片的背面有背电极。本发明能够显著改善光电性能，拓宽响应光谱范围，增强响应度。
石墨等离子激元黑硅近红外探测器结构及其制备方法

[发明专利]一种氮氧化钛薄膜压力传感器及其制造方法-CN202111387954.9在审
发明人： 蓝镇立;何峰;周国方;车颜贤 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2021-11-22 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： G01L1/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种氮氧化钛薄膜压力传感器及其制造方法，该传感器的制造方法包括依次在弹性元件上制备绝缘薄膜、应变电阻、引线焊盘和保护层，其中应变电阻由氮氧化钛薄膜制备而成，氮氧化钛薄膜是以氮化钛为靶材，通过溅射方法制备得到。与现有常规氮氧化钛薄膜压力传感器，本发明制得的氮氧化钛薄膜压力传感器中，氮氧化钛薄膜中各成分含量均匀性比例小，致密性好，结构稳定，这使得本发明氮氧化钛薄膜压力传感器具有更好的稳定性和可靠性，是一种性能更加优异的新型薄膜压力传感器，使用价值高，应用前景好。
一种氧化薄膜压力传感器及其制造方法

[发明专利]耐高温粒子冲刷的压力敏感元件及其制备方法和溅射薄膜压力传感器-CN201911328430.5有效
发明人：金忠;刘又清;何锋;何迎辉;蓝镇立 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2019-12-20 - 公布日： 2021-09-17 - 主分类号： G01L19/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种耐高温粒子冲刷的压力敏感元件及其制备方法和薄膜溅射压力传感器，该压力敏感元件包括弹性基底材料，呈扩口凸形弹性体结构，包括加压腔、本体和安装部；安装部上依次设有过渡层、绝缘层、电阻薄膜层和钝化层、金属层。其制备方法包括在弹性基底材料上依次制备过渡层、绝缘层、电阻薄膜层和钝化层、金属层。本发明压力敏感元件具有耐高温性能好、抗冲刷/冲击能力强、使用寿命长、适用范围广、可靠性好、应变灵敏度高等优点，其制备方法具有制备工艺简单、操作方便、生产成本低、生产周期短等优点，该压力敏感元件可广泛用于制备溅射薄膜压力传感器，有着很高的使用价值和很好的应用前景。
耐高温粒子冲刷压力敏感元件及其制备方法溅射薄膜压力传感器

[发明专利]一种带光学微腔结构的石墨烯近红外探测器及其制造方法-CN202011422155.6在审
发明人： 蓝镇立;何峰;丁玎;张浩 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2020-12-08 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： H01L31/028 文献下载
摘要：本发明公开了一种带光学微腔结构的石墨烯近红外探测器及其制备方法，本探测器包括衬底、石墨烯层和电极层；所述石墨烯层的两侧分别设置有第一透光层和第二透光层，所述衬底与所述第一透光层之间设置有第一反射层，所述电极层与所述第二透光层之间设置有间隔分布的第二反射层，所述第一反射层、第一透光层、第二透光和第二反射层共同形成光学微腔结构。本发明具有结构简单、红外吸收率高、工作稳定可靠等优点。
一种光学结构石墨红外探测器及其制造方法

[发明专利]一种桥梁测力传感器零点自动调节电路及调节方法-CN202010738936.X在审
发明人：周蒙;蓝镇立;王小浩 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2020-07-28 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： G01L27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种桥梁测力传感器零点自动调节电路及调节方法，此电路包括控制器、第一开关、第二开关和数字电位器，控制器的输入端与桥梁测力传感器的电桥输出端相连，用于接收电桥的输出信号；第一开关的一端与电桥的桥臂R4的一端相连，第一开关的另一端与地相连，第二开关的一端与电桥的桥臂R3的一端相连，另一端与地相连，数字电位器的两端则分别与桥臂R3的一端和桥臂R4的一端相连；控制器分别与第一开关、第二开关和数字电位器相连，用于根据电桥输出信号控制第一开关和第二开关的通断，以及调节数字电位器的电阻值以实现零点自动调节。本发明具有成本低、可调节零点范围大且灵敏度不受影响等优点。
一种桥梁测力传感器零点自动调节电路方法

[发明专利]一种绝压压力传感器及其制备方法-CN201611071631.8有效
发明人：金忠;谢贵久;谢锋;陈云锋;何迎辉;蓝镇立;雷凯;刘又清 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2016-11-29 - 公布日： 2020-02-07 - 主分类号： G01L1/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种绝压压力传感器，包括管座和壳体，管座的一端与壳体密封连接并形成内部空腔，管座上设置有通孔，通孔于内部空腔的一侧密封设置有敏感芯片，通孔的另一侧封堵并使通孔内形成真空，管座上设置有引线柱；壳体上设置有连通内部空腔的进气口，内部空腔内设置有密封组件，用于在外部气压大于预设压力时密封进气口。本发明的传感器具有能测量小量程压力并避免大量程压力时损坏等优点。本发明还公开了一种制备方法，步骤为：S01、在通孔一侧粘贴敏感芯片；S02、将管座与壳体紧固连接；整体置于真空环境下，将通孔的另一端封堵，将密封组件安装于内部空腔与壳体的进气口之间。本发明的制备方法具有易于实现等优点。
一种压压传感器及其制备方法

[发明专利]一种薄膜压力传感器及其封装方法-CN201610863258.3有效
发明人： 蓝镇立;谢贵久;金忠 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2016-09-29 - 公布日： 2019-09-20 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种薄膜压力传感器，包括基座、密封环、盖板、芯片和引线支架组件，引线支架组件包括引线支架、引针和引线板，引线支架的内壁上设置有凸环，芯片靠近所述凸环的下表面；基座的中部设有圆形安装座，芯片的下方密封安装于安装座上，密封环与基座的周侧焊接，引线支架密封焊接于密封环上，盖板焊接在引线支架的凸环上。本发明的薄膜压力传感器具有结构简单、通用性强等优点。本发明还公开了一种薄膜压力传感器的封装方法，包括S01、焊接引线支架组件；S02、将芯片密封焊接于基座上；S03、将密封环焊接于基座上，再将引线支架组件密封焊接于密封环上；S04、将盖板焊接于凸环上。本发明的封装方法具有操作简便等优点。
一种薄膜压力传感器及其封装方法

[发明专利]桥梁支座弹性体载荷力测量方法及支座弹性体-CN201510920002.7有效
发明人：颜志红;何峰;蓝镇立;谢贵久;谢明 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2015-12-10 - 公布日： 2019-06-11 - 主分类号： G01L1/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种桥梁支座弹性体载荷力测量方法，方法包括：S1：用位移测量装置测量支座弹性体的位移；S2：建立支座弹性体位移与支座弹性体载荷力之间的对应关系；S3：根据位移测量装置测得的位移数据和步骤S2中的对应关系得出支座弹性体的载荷力。支座弹性体包括在支座本体内，支座本体顶部设有用于与桥面相接的承载面，底部设有用于与桥墩相接的支撑面，弹性体内部设有位移测量装置，位移测量装置顶部与弹性体顶部附近固接，位移测量装置的底部与弹性体底部附近固接，位移测量装置可测量弹性体顶部相对底部的位移量。该桥梁支座弹性体具有结构稳定、测量精确、漂移小、可靠性高等优点，可实现长期实时测量。
桥梁支座弹性体载荷测量方法

[发明专利]一种冗余压力传感器及制备方法-CN201811562809.8在审
发明人： 蓝镇立;谢锋;周国方;谢明 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2018-12-20 - 公布日： 2019-04-30 - 主分类号： G01L1/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种冗余压力传感器，包括弹性元件和引压元件，弹性元件的背面设有压力腔，压力腔与弹性元件的正面之间形成弹性膜片；压力腔正对的弹性元件的正面制备有多个相互独立的应变电桥；弹性元件的背面周侧与引压元件密封连接，引压元件上设置有与压力腔相连通的引压孔。本发明的压力传感器具有体积小、重量轻等优点。本发明还公开了一种制备方法，包括步骤：S01、在弹性元件的背面开设压力腔，压力腔与弹性元件的正面之间形成弹性膜片；S02、在弹性膜片上制作多个应变电桥，形成芯片；S03、将芯片中的弹性元件的背面周侧与引压元件焊接形成密封腔；S04、引线封装，完成装配。本发明的方法具有工艺简单、操作简便等优点。
弹性元件压力腔压力传感器背面弹性膜片制备应变电桥冗余芯片引线封装元件焊接元件密封密封腔体积小引压孔重量轻正对装配制作

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