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- [发明专利]碲锌镉晶片筛选方法-CN202010111694.1有效
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范叶霞;徐强强;刘江高;侯晓敏;吴卿
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中国电子科技集团公司第十一研究所
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2020-02-24
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2023-06-23
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G01N23/20091
- 本发明公开了一种碲锌镉晶片筛选方法,所述方法包括:利用第一腐蚀液对切割后的碲锌镉晶片进行表面腐蚀,观察表面腐蚀后的碲锌镉晶片并去除第一等级缺陷部分;利用X射线形貌仪观察去除第一等级缺陷部分后的碲锌镉晶片,并去除第二等级缺陷部分;利用红外显微镜观察去除第二等级缺陷部分后的碲锌镉晶片,并去除第三等级缺陷部分;利用第二腐蚀液对去除第三等级缺陷部分后的碲锌镉晶片进行二次表面腐蚀,观察二次表面腐蚀后的碲锌镉晶片,并去除第四等级缺陷部分,以获得第一合格碲锌镉晶片。采用本发明,有效地避免了大部分缺陷引入碲锌镉晶片中,从而提了高晶片的质量,解决了大尺寸晶片加工过程中由于存在缺陷导致加工效率低下的问题。
- 碲锌镉晶片筛选方法
- [实用新型]一种衬底放置装置-CN202022743000.4有效
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徐强强;范叶霞;吴卿;徐长彬
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中国电子科技集团公司第十一研究所
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2020-11-24
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2021-11-05
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H01L21/673
- 本实用新型公开了一种衬底放置装置,包括衬底托(2);衬底托(2)上设置有至少一个沿衬底托(2)表面向内凹陷的衬底放置区(1),衬底放置区(1)用于容置衬底,衬底放置区(1)的形状与衬底大小相匹配;在衬底放置区(1)与衬底托(2)的边界上还至少设置有一个铲片区(5),铲片区(5)用于配合铲片工具将衬底从衬底放置区(1)中取出,在衬底放置区(1)的每个边角设置有边角保护区(3)。本实用新型实施例通过衬底托上设置有至少一个沿衬底托表面向内凹陷的衬底放置区,衬底放置区用于容置衬底,由此实现了衬底的分片保存,保证衬底材料在转移运输过程中的完整性以及表面状态的完好。
- 一种衬底放置装置
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