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本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]厚度缩减装置及厚度缩减方法-CN201611216784.7有效
发明人：牛宝华;苏纮仪;庄荣祥 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2016-12-26 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：本发明提供一种厚度缩减装置及厚度缩减方法，厚度缩减装置包括旋转载台及研磨轮。旋转载台具有承载面且适于以第一转动轴为轴旋转，其中所述承载面适于承载样品。研磨轮配置于所述承载面上方，其中所述研磨轮适于以垂直所述第一转动轴的第二转动轴为轴旋转而研磨所述承载面上的所述样品，以缩减所述样品的至少局部区域的厚度。
厚度缩减装置方法

[发明专利]对薄膜进行计量分析的装置及方法与获得薄膜性质的方法-CN201811019709.0有效
发明人：应继锋;牛宝华;苏纮仪 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2018-09-03 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：一种对薄膜执行计量分析的方法包括：将辐射耦合到邻近所述薄膜的表面设置的光学元件中。所述辐射被耦合成使得所述辐射在所述光学元件与所述薄膜之间的界面处被全内反射。在所述界面处产生的消散辐射穿透所述薄膜。所述方法还包括：分析被所述薄膜散射的所述消散辐射以获得所述薄膜的性质。
薄膜进行计量分析装置方法获得性质

[发明专利]光学检测装置及其检测方法-CN201610992816.6有效
发明人：牛宝华;苏纮仪;庄荣祥 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2016-11-11 - 公布日： 2020-09-08 - 主分类号： G01N21/17 文献下载
摘要：本发明涉及一种光学检测装置及其检测方法，所述光学检测装置包括光源、光束引导结构、第一光传感器以及处理器。光源用以发出波长介于200纳米至300纳米的激发光束。光束引导结构引导激发光束而照射在样品的薄化区域上以使薄化区域反射激发光束，且光束引导结构适于接收被薄化区域反射的激发光束。光束引导结构用以引导被薄化区域反射的激发光束至第一光传感器，且第一光传感器接收被薄化区域反射的激发光束以产生第一检测信号。处理器电耦接第一光传感器以处理第一检测信号。本申请可以满足当今小尺度的半导体组件的检测需求。
光学检测装置及其方法

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共 3 条

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