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- [发明专利]一种废显影液过滤系统-CN202110298234.9在审
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胡磊;魏攀龙;施利君;蒋新
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苏州晶洲装备科技有限公司
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2021-03-19
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2021-07-02
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B01D61/58
- 本发明公开了一种废显影液过滤系统，该废显影液过滤系统中，第一循环过滤装置具有第一过滤腔，第一过滤腔内设置有第一过滤膜，第一过滤膜将第一过滤腔分为第一腔和第二腔，第一腔与供料罐连通，第二循环过滤装置具有第二过滤腔，第二过滤腔内设置有第二过滤膜，第二过滤膜将第二过滤腔分为第三腔和第四腔，第三腔与第二腔连通，第一过滤膜和第二过滤膜均采用全氟硅烷改性的聚醚砜材料制成，回收液收集罐与第四腔连通，反冲洗装置与第二腔和第四腔连通，用于冲洗第一过滤膜和第二过滤膜，废液收集罐与第一腔和第三腔连通。该废显影液过滤系统使用周期长，易清洗，减少更换第一过滤膜和第二过滤膜的频率，降低生产成本。
- 一种显影液过滤系统
- [发明专利]一种显影液回收装置-CN202110247127.3在审
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胡磊;魏攀龙;施利君;蒋新
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苏州晶洲装备科技有限公司
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2021-03-05
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2021-06-22
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G03F7/30
- 本发明涉及废液回收技术领域，尤其涉及一种显影液回收装置，显影液回收装置包括回收存储单元、处理单元和回用单元；所述回收存储单元包括废液收集罐，所述废液收集罐用于收集废弃的显影液；所述处理单元用于对废弃的显影液进行处理，包括依次连通的反应沉淀装置和过滤装置，所述反应沉淀装置与所述废液收集罐连通，用于对废弃的显影液中的树脂进行沉积，所述过滤装置用于对废弃的显影液进行过滤；所述回用单元包括回收液存储罐和原液罐，所述回收液存储罐与所述过滤装置连通，所述回收液存储罐中设置有检测系统。本发明能够对显影液废液进行处理和回收，从而减少对环境的污染，降低成本，扩充企业产能。
- 一种显影液回收装置
- [发明专利]一种基板侧面清洗装置及清洗方法-CN202110262201.9在审
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蒋新;刘斌;施利君;宋金林
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苏州晶洲装备科技有限公司
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2021-03-10
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2021-06-22
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B08B1/02
- 本发明涉及基板制造技术领域，具体公开了一种基板侧面清洗装置及清洗方法。用于清洗基板的侧面，包括传动组件和清洗组件；传动组件用于带动基板移动；清洗组件包括成对设置的滚刷轴，滚刷轴垂直基板移动方向延伸，且设于传动组件的两侧，滚刷轴上转动连接有滚刷，滚刷能与基板的侧面相抵接，且滚刷能够正向和反向旋转。该方法在滚刷开始与基板的侧面接触/脱离时，滚刷与基板的侧面相接触位置上，滚刷转动的切线方向与基板移动方向相同/相反；借助转动方向可变的滚刷能使装置在完成侧面清洗操作的同时，还能保证基板加工的良品率；借助上述的清洗方法能够有效降低基板破碎风险的同时，还能减缓滚刷的磨损速度。
- 一种侧面清洗装置方法
- [发明专利]一种电化学沉积设备-CN202110178500.4在审
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张军;施利君;陈书良
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苏州晶洲装备科技有限公司
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2021-02-09
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2021-06-18
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C25D17/06
- 本发明公开了一种电化学沉积设备，涉及玻璃加工技术领域。该电化学沉积设备包括：机架；旋转上下料机构，包括承载框、承载板架和驱动组件，承载板架设置于承载框内，待沉积的玻璃可拆卸固定于承载板架上，驱动组件与承载框传动连接，用于驱动承载框旋转以使承载板架转动至预设位置；抓取机构，可移动地设于机架上，用于抓取和搬运承载板架；化学沉积槽，设于机架上，化学沉积槽内盛放有化学药剂，承载板架能被抓取机构抓取放置于化学沉积槽内。本发明能够对玻璃进行电化学沉积，整个过程自动化程度高，提高了玻璃的电化学沉积效率，节省人力及经济成本。
- 一种电化学沉积设备
- [发明专利]一种用于基板表面处理的载具-CN202110181120.6在审
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蒋新;陈书良;施利君
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苏州晶洲装备科技有限公司
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2021-02-09
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2021-06-18
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H01L21/683
- 本发明涉及半导体及显示面板技术领域，尤其涉及一种用于基板表面处理的载具，其包括基板载体，包括相互连接的吊臂和装载板，所述装载板上设置第一导电体；第一真空组件，设置在所述装载板上，基板通过第一真空组件吸附在所述装载板上；保护罩，呈口字形，具有环形的中空腔，所述保护罩设置在所述装载板上，所述第一导电体位于所述中空腔中，所述保护罩沿所述基板的周向设置，所述保护罩的内圈与所述基板抵接，所述保护罩的外圈与所述装载板抵接，以使得所述中空腔处于密封状态；第二导电体，所述第二导电体位于所述中空腔中，一端与所述第一导电体电连接，另一端与所述基板的工艺面电连接。本发明能够便于进行工艺生产。
- 一种用于表面处理
- [发明专利]一种曲面玻璃传送装置-CN202110262202.3在审
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刘斌;施利君;宋金林
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苏州晶洲装备科技有限公司
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2021-03-10
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2021-05-25
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B65G49/06
- 本发明涉及面板加工技术领域，具体公开了一种曲面玻璃传送装置，该曲面玻璃传送装置包括若干沿第一方向间隔设置的传送辊组，每个传送辊组包括第一传送辊、第二传送辊和限位组件，第一传送辊和第二传送辊沿第二方向间隔设置，且第一传送辊和第二传送辊之间的间隙的尺寸能在预设范围值内浮动，曲面玻璃能在第一传送辊和第二传送辊之间沿第一方向传输，限位组件用于限制曲面玻璃在第三方向的位移。该曲面玻璃传送装置中的第一传送辊和第二传送辊之间的间隙的尺寸能在预设范围值内浮动，能防止在传输过程中由于曲面的变化导致对曲面玻璃的支撑点减少，避免曲面玻璃出现应力集中进而引发碎片的可能性。
- 一种曲面玻璃传送装置
- [发明专利]一种玻璃基板的移送机构-CN202110181151.1在审
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刘礼勇;施利君;陈书良
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苏州晶洲装备科技有限公司
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2021-02-09
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2021-05-04
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B65G49/06
- 本发明属于玻璃技术领域，公开了一种玻璃基板的移送机构包括吸附组件、驱动组件和归正组件，吸附组件包括吸附主体和吸附部，吸附部包括多个吸盘，多个吸盘均设置于吸附主体上，吸附主体沿Y方向移动，以便多个吸盘吸附玻璃基板，且该多个吸盘均为伯努利吸盘，能够防止多个吸盘在吸附玻璃基板时，吸盘与玻璃基板的工艺面相接触，避免了吸盘污染玻璃基板的工艺面，进而提升了对玻璃基板电镀加工时的加工质量；驱动组件用于驱动吸附主体移动；归正组件包括第一抵接部，第一抵接部能够抵接于吸附于多个伯努利吸盘上的玻璃基板的底边，以沿Z方向调节玻璃基板的位置，并对玻璃基板进行一定的支撑。
- 一种玻璃移送机构
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