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[发明专利]一种具有自校准功能的带方向性检测的触觉传感器-CN202310618959.0在审
发明人：董林玺;钟妤馨;胡梦宜;俞挺;刘超然;杨伟煌 -专利权人：杭州电子科技大学
申请日： 2023-05-29 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01L5/162 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有自校准功能的带方向性检测的触觉传感器。本发明包括力检测模块和位于力检测模块内的自校准模块。力检测模块为两种不同类型的硅梁，分别是测量z轴应力的硅梁和测量x/y轴应力的硅梁。自校准模块包括压电材料和电极；压电材料分别位于两种不同类型的硅梁上方，利用逆压电效应驱动硅梁产生机械应变，以实现触觉传感器的自校准。本发明中的测量x/y轴应力的硅梁形状为圆弧状而非传统的直梁，在相同应力作用下可以产生更大的机械应变，从而扩大触觉传感器的灵敏度，并且通过输出的电阻变化量的趋势，对触觉传感器所受外力进行方向检测。还发明还可通过自校准模块对触觉传感器进行自校准和误差补偿。
一种具有校准功能方向性检测触觉传感器

[发明专利]可自校准的SOI基MEMS三维力传感器及其制备工艺-CN202310614318.8在审
发明人：董林玺;胡梦宜;俞挺;刘超然;杨伟煌 -专利权人：杭州电子科技大学
申请日： 2023-05-29 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种可自校准的SOI基MEMS三维力传感器及其制备工艺。本发明包括MEMS器件层以及键合于MEMS器件层下方的衬底；所述MEMS器件层包括凸台、锚点、锚区、中心板、四根位于中心板四周的L型压电驱动梁和十二个pad；所述衬底包括键合区域、空腔、导电衬垫和八个固定金属电极。本发明为敏感元件增加驱动模块与多电容检测模块，从而保证测量结果的准确性并节省额外的校准成本，本发明在实现自校准的同时，采用三维集成的方式，直接利用SOI的圆片做外部封装。
校准 soi mems 三维传感器及其制备工艺

[发明专利]一种带自校准功能的三轴MEMS力传感器-CN202310117132.1在审
发明人：董林玺;胡梦宜;黄一马;刘超然;杨伟煌;颜海霞 -专利权人：杭州电子科技大学
申请日： 2023-02-15 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G01L5/165 文献下载
摘要：本发明公开了一种带自校准功能的三轴MEMS力传感器，包括玻璃衬底及其上表面的固定电极、悬于玻璃衬底上方的器件层。玻璃衬底上表面的固定电极包括固定叉指铝电极、固定金属电极、电极连接线和自检测引出电极。悬于玻璃衬底上方的器件层包括器件锚点、四根L型压电驱动梁、静电吸合模块、敏感驱动台和电容式三轴力传感器。固定金属电极与电容式三轴力传感器中心质量块对应放置，静电吸合模块位于压电驱动梁和敏感驱动台之间。本发明抑制交叉轴串扰的问题，实现交叉轴以及法向三轴驱动，实现交叉轴驱动电容的实时检测，并通过调整静电吸合模块实现力检测模式和校准模式的切换。
一种校准功能 mems 传感器