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[发明专利]频率可调谐的超声设备-CN202080058508.0有效
发明人：西里尔·梅尼埃;多米尼克·格罗斯 -专利权人： 维蒙股份公司
申请日： 2020-08-18 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： B06B1/02 文献下载
摘要：一种超声设备，该超声设备包括超声换能器(400)，该超声换能器包括：膜(405)，该膜悬置在布置在基底(401)的上表面侧上的腔(403)上方；压电层(407)，该压电层附接到膜(405)的表面；第一电极(E1)，该第一电极布置在腔(403)的下表面侧上；以及第二电极(E3)，该第二电极布置在腔(403)的上表面侧上、与压电层(407)接触，该设备还包括连接到第一电极(E1)和第二(E3)电极并能够在第一电极(E1)上施加第一控制电压(VDC)和在第二电极(E3)上施加不同于第一电压的第二控制电压(VAC)的控制电路(CTRL)。
频率调谐超声设备

[发明专利]压电能量收集的弯曲结构及其制造方法-CN201880045214.7有效
发明人：利博尔·鲁费尔;斯坎达·巴萨尔;埃米莉·翠奥斯;圭拉姆·费林;克莱尔·班底格尼斯;洪·勒康;波格丹·洛欣斯基;安·阮-定 -专利权人：格勒诺布尔阿尔卑斯大学;维蒙股份公司
申请日： 2018-07-05 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： H10N30/30 文献下载
摘要：一种压电双晶片悬臂梁系统包括垫片，具有第一主表面、与第一主表面相对的第二主表面、连接至锚固件的近端、以及与该近端相对的远端。系统进一步包括层压在垫片的第一主表面上的第一压电层以及层压在垫片的第二主表面上的第二压电层。第一梁加强件设置在垫片的与锚固件相邻的第一主表面上方，其中第一梁加强件至少部分地覆盖第一压电层。第二梁加强件设置在垫片的与锚固件相邻的第二主表面上方，其中第二梁加强件至少部分地覆盖第二压电层。
压电能量收集弯曲结构及其制造方法

[发明专利]板式换能器规模封装及其制造方法-CN202080048694.X有效
发明人：克莱尔·班廷尼耶斯;纪尧姆·费林 -专利权人： 维蒙股份公司
申请日： 2020-07-23 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：一种制造板式换能器规模封装的方法，包括：将声学部件固定在第一载体衬底上的预定位置处，声学部件的第一表面定位成邻近第一载体衬底；将ASIC部件也固定在第一载体衬底上的预定位置处，ASIC部件的第一表面定位成邻近第一载体衬底；将光刻胶树脂施加到声学部件和ASIC部件上，使得声学部件的第二表面从光刻胶树脂中暴露出；去除第一载体衬底以暴露出声学部件的第一表面和ASIC部件的第一表面；形成包括声学部件和ASIC部件中的每一个之间的电通路的堆积层，并且去除光刻胶树脂。
板式换能器规模封装及其制造方法

[发明专利]将高密度超声矩阵阵列换能器与集成电路接口连接的柔性印刷电路板设备-CN202080016254.6有效
发明人：纪尧姆·费林;菲利普·文斯 -专利权人： 维蒙股份公司
申请日： 2020-02-21 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：一种柔性印刷电路板包括中央部分以及从中央部分延伸的一个或多个凸片。一个或多个凸片相对于中央部分可折叠。多个焊盘位于中央部分内，并且多个焊盘被配置为电连接到换能器。焊垫位于一个或多个凸片中的一个内，并且电迹线连接多个焊盘和焊垫。一种制造电子组件的方法包括提供具有多个中央部分的柔性印刷电路板，并折叠衬底使得相邻的中央部分垂直堆叠并且相邻的中央部分的焊盘电连接。在折叠衬底之前，可以将换能器固定到多个焊盘，并且可以将一个或多个电子部件固定到焊垫。
高密度超声矩阵阵列换能器集成电路接口连接柔性印刷电路板设备

[发明专利]CMUT换能器-CN202080060492.7有效
发明人：多米尼克·格罗斯;西里尔·梅尼埃;尼古拉斯·塞内贡德 -专利权人： 维蒙股份公司
申请日： 2020-08-25 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： B06B1/02 文献下载
摘要：本公开涉及一种CMUT换能器(200)，包括：涂覆有介电层(103)的基板(101)；形成在介电层(103)中的空腔(105)；悬挂在空腔(105)上方的导电或半导体膜(107)；以及介电涂层(104)，其被布置在空腔底部的基板(101)的上表面上或在空腔顶部的膜的下表面上，并且在俯视图中，介电涂层在空腔(105)的大部分表面上延伸，其中介电涂层(104)被构造成与空腔(105)相对。
cmut 换能器

[发明专利]电容式微机械超声换能器及其制造方法-CN201980075767.1有效
发明人：多米尼克·格罗斯;西里尔·梅尼埃;尼古拉斯·塞内贡 -专利权人： 维蒙股份公司
申请日： 2019-11-15 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： B06B1/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种电容式微机械超声换能器，包括下电极、上电极和附接到上电极并位于下电极和上电极之间的膜。锚连接到膜和下电极，使得在下电极和膜之间限定出空腔。一个或多个隔离柱位于空腔内，该隔离柱部分地埋设在膜内并朝着下电极延伸。一种生产电容式微机械超声换能器的方法，包括在未掺杂硅制成的器件层上形成氧化物生长层，并去除氧化物生长层的部分，以形成延伸超出器件层外表面的锚以及部分地埋设在器件层中的柱孔内并延伸超出器件层的外表面的隔离柱。
电容式微机械超声换能器及其制造方法

[发明专利]具有止动结构的CMUT换能器及CMUT换能器形成方法-CN202080058500.4在审
发明人：西里尔·梅尼埃;多米尼克·格罗斯;尼古拉斯·塞内贡德 -专利权人： 维蒙股份公司
申请日： 2020-07-16 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： B06B1/02 文献下载
摘要：本公开涉及一种CMUT换能器(200)，包括：‑导电或半导体衬底(201)，其涂覆有一个或多个介电层(203、213)的叠层；‑在所述叠层中形成的空腔(205、215)；‑悬挂在空腔上方的导电或半导体膜(221)；‑在空腔的底部处，与衬底的上表面接触的导电区域(209)，所述导电区域在衬底的上表面的一部分上被中断；以及‑在空腔中，由介电材料制成的止动结构(207)，其位于导电区域(209)的中断的区域上或上方。
具有结构 cmut 换能器形成方法

[发明专利]超声换能器制造方法-CN202080058716.0在审
发明人：尼古拉斯·塞内贡德;多米尼克·格罗斯;西里尔·梅尼埃 -专利权人： 维蒙股份公司
申请日： 2020-08-14 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本公开涉及一种从同一基底(101)同时制造至少一个具有第一谐振频率的第一CMUT换能器(I)和至少一个具有不同于第一频率的第二谐振频率的第二CMUT换能器(II)的方法，该方法包括以下步骤：a)对于每个换能器(I，II)，在基底的上表面侧形成空腔(103)，并形成悬挂在空腔(103)上方的柔性膜(105)；b)形成第一层(109)，该第一层(109)仅在第一换能器(I)的膜(105)的上表面的一部分上延伸，而不在第二换能器(II)的膜(105)上延伸；以及c)形成第二层(111)，该第二层(111)在第一换能器的膜(105)的整个上表面和第二换能器的膜的整个上表面上延伸。
超声换能器制造方法

[发明专利]超声换能器-CN201980029416.7有效
发明人：纪尧姆·费林;马丁·弗莱施;玛丽·科林·杜穆;大卫·沃伊津;马修·勒格罗;安·阮-丁 -专利权人： 维蒙股份公司
申请日： 2019-04-30 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：超声换能器包括堆叠在第二压电层上以形成叠层的第一压电层。第一压电层具有被金属化以形成第一电极阵列的一个主面以及被金属化以形成第一接地电极的另一主面。第二压电层具有被金属化以形成第二电极阵列的一个主面以及被金属化以形成第二接地电极的另一主面，第二电极阵列相对于第一电极阵列成一定角度。第二压电层的厚度使得叠层的总厚度等于待在第一压电层和第二压电层独立操作时生成的声波的半波长的奇数倍。超声换能器还包括声阻抗适应层、声阻尼层和加强件。
超声换能器

[发明专利]CMUT换能器和制造方法-CN202080054224.4在审
发明人：尼古拉斯·塞内贡德;多米尼克·格罗斯;西里尔·梅尼埃 -专利权人： 维蒙股份公司
申请日： 2020-07-16 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： H04R19/00 文献下载
摘要：本公开涉及一种制造CMUT换能器(200)的方法，包括以下步骤：a)在第一衬底(101)上形成第一介电层(103)；b)在第二衬底(301)上形成第二介电层(207)；c)在第一(103)或第二(207)介电层中形成空腔(105)；d)通过将第二介电层(207)的与第二衬底(301)相对的表面直接结合到第一介电层(103)的与第一衬底(101)相对的表面来组装第一(101)和第二(301)衬底；e)去除第二衬底(301)以仅在空腔(105)上方保留由第二介电层(207)形成的悬置膜；以及f)在膜(207)的与第一衬底(101)相对的表面上形成上电极(E2)。
cmut 换能器制造方法

[发明专利]包括光学设备的用于诊断的双模超声波探头-CN202080034046.9在审
发明人：西蒙尼·蒂萨;亚历山大·鲁杰里;波格丹·雅罗辛斯基;伊曼纽尔·蒙托邦;让-马克·丁滕;安东尼奥·皮费里;保拉·塔罗尼;阿尔贝托·达拉·莫拉;阿尔贝托·托西 -专利权人：微光子设备股份有限责任公司;维蒙股份公司;原子能和替代能源委员会;米兰理工大学
申请日： 2020-03-03 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： A61B8/00 文献下载
摘要：一种旨在贴抵待检查生物组织的便携式双模探头，该探头包括：‑超声波换能器(34、63)，其配置为将超声波发射到所述组织中并接收被所述组织反射的超声波，所述换能器沿着横向轴线延伸；‑至少两个光极(32、60、62a、62b)，其设置在所述横向轴线两侧，以使得所述换能器在所述两个光极之间延伸；‑每个所述光极包括壳体(52、61)，所述壳体包括：配置为向所述组织发射光波的光发射器(31)；和/或配置为检测被所述组织漫射的光波的光学检测器(32)；‑所述光极设置为使得至少一个光发射器和至少一个光学检测器设置在所述换能器两侧；至少一个光学检测器具有连接到电子卡(54)的、由半导体材料形成的检测表面(53、63a、63b)。
包括光学设备用于诊断双模超声波探头

[发明专利]组织热适形体积消融及监视其的间质超声一次性涂布器-CN201480024123.7有效
发明人：安·阮-丁;雷米·杜法特;克里斯多夫·诺塔;迈克尔·康尼;让-伊夫·沙佩隆;弗朗索瓦丝·查福瑞尔;西里尔·拉芳;威廉·安普图·恩金;亚历山大·卡尔庞捷 -专利权人： 维蒙股份公司;卡特拉股份公司;法国国家健康与医学研究院(INSERM);皮埃尔与玛丽-居里大学(巴黎第六大学)
申请日： 2014-03-10 - 公布日： 2020-01-10 - 主分类号： A61N7/02 文献下载
摘要：一种用于适形治疗不均匀的肿瘤病灶的间质超声热消融涂布器，包括：主体，具有纵轴，主体沿纵轴限定中空的中央通道；多个CMUT阵列换能器，安装在主体上，并排布置以形成圆柱形，具有平行于主体的纵轴的方位规划，所述多个CMUT阵列换能器中的每个具有预定的高度尺寸以引导发射的超声波，以获得肿瘤病灶的适形体积治疗。一种用于驱动具有以行和列布置的多个独立的换能器元件的涂布器的电子驱动方法，包括：控制换能器元件各行和各列的聚焦参数；和以提供适形消融体积的方式控制换能器元件各行和各列的影响。
用于组织形体消融监视间质超声一次性涂布器

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