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[发明专利]一种超宽带能量分光镜-CN202310655776.6在审
发明人：王松林;张建付;米高园;刘方;王宏浩;杨崇民 -专利权人：西安应用光学研究所
申请日： 2023-06-05 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G02B27/14 文献下载
摘要：本发明属于光电元器件领域，公开了一种超宽带能量分光镜，所述能量分光镜是光学透明基底上，通过制作具有一定占空比的网格状金属反射膜，实现对入射光的透射能量和反射能量达到特定的比值；能量分光镜的透射/反射分光比可以通过网格状金属反射膜的占空比以及基底透射率来调控，可以实现超宽波段范围、各类分光比的技术指标。本发明采用这种方式实现能量分光，与现有技术相比，能够有效避免采用介质薄膜干涉效应带来的偏振效应问题，而且制作简单，不易影响光学基底的面型，实现超宽带的能量分光。
一种宽带能量分光镜

[发明专利]一种内嵌式电磁屏蔽金属网栅制作方法-CN202310655739.5在审
发明人：王松林;张建付;李明伟;杨崇民;米高园;阴万宏;陶忠;王颖辉;赵红军 -专利权人：西安应用光学研究所
申请日： 2023-06-05 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种内嵌式电磁屏蔽金属网栅制作方法，包括如下步骤：在光学基底上制作反向掩膜；等离子束刻蚀金属网栅沟槽；金属薄膜镀制；底层薄膜镀制；去胶及清洁；耐环境侵蚀性能的光学增透膜镀制。本发明通过在光学基底表面采用掩膜制作、等离子束刻蚀等方式制作金属网栅的沟槽，采用真空镀膜的方式将金属网栅填充在沟槽内，再通过与基底材料相机或相同的薄膜材料覆盖，与基底形成一体，将金属网栅完全包裹在内部，表面再通过带有保护层的光学增透膜覆盖，使得光学窗口能够同时实现电磁屏蔽、光学良好透射率、耐环境侵蚀等多种功能。
一种内嵌式电磁屏蔽金属网制作方法

[发明专利]一种大口径超径厚比异形平面光学零件柔性抛光盘-CN202210458271.6有效
发明人：冯耕;李明伟;昌明;杨崇民;张建付;王松林;吴斌;马方斌;张岩;刘青龙;米高园 -专利权人：西安应用光学研究所
申请日： 2022-04-27 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： B24B13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种大口径超径厚比异形平面光学零件柔性抛光盘，包括配形抛光盘和异形零件加工抛光盘，异形零件加工抛光盘嵌入配形抛光盘内，异形零件加工时，柔性抛光盘放置在抛光模上，待抛光面与抛光模表面之间磨削抛光；配形抛光盘包括适配基板和配形介质，配形介质通过第一粘接胶粘贴在适配基板上；异形零件加工抛光盘包括待加工异形零件和异形胶模，待加工异形零件通过第二粘接胶粘贴在异形胶模上。本发明通过采用大口径超径厚比异形平面光学零件柔性抛光盘与传统异形零件抛光盘加工零件相比有了巨大的改善效果，显著提高了高精度大口径超径厚比异形平面光学零件的加工效率和表面质量。
一种口径超径厚异形平面光学零件柔性抛光

[发明专利]一种基于金属光栅的可调谐双通道窄带偏振滤光器及调谐方法-CN201910786826.8有效
发明人：金柯;刘永强;王颖辉;韩俊;杨崇民;杨海成;王慧娜;刘青龙;张建付;李明伟;赵兴梅;米高园;王松林;董莹;黎明;杨建军 -专利权人：西安应用光学研究所
申请日： 2019-08-24 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： G02F1/21 文献下载
摘要：本发明提出一种基于金属光栅的可调谐双通道窄带偏振滤光器及调谐方法，滤光器依次由基底、HL交替组成的多层反射膜系、下层金属光栅层、可调谐间隔层、上层金属光栅层、HL交替组成的多层反射膜系组成；可调谐间隔层材料为随外加电场材料折射率可变的材料，上下层金属光栅分别作为可调谐间隔层的上下电极层。基于干涉膜系理论并结合亚波长金属光栅类Fabry‑Preot腔共振理论，本发明采用多层膜结合双层金属光栅的结构设计出中心波长可调谐的双通道窄带偏振滤光片。与现有技术相比，本发明光谱性能优良，环境适应性好，结构简单，能够实现中心波长可调谐。
一种基于金属光栅调谐双通道窄带偏振滤光方法

[发明专利]一种抗激光损伤的二色性介质立方分光棱镜-CN201910580498.6有效
发明人：韩俊;刘永强;杨崇民;王颖辉;金柯;王慧娜;米高园;王松林;董莹;王芝 -专利权人：西安应用光学研究所
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： G02B5/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种反射1064nm激光、透过700nm‑900nm电视的二色性介质立方分光棱镜，把在斜面上镀有规整膜层与非规整膜层相结合分光膜的直角棱镜与未镀膜的直角棱镜使用某耐高温环氧树脂胶合在一起，得到一种高反1064nm激光、高透过700nm‑900nm电视波段的且具有一定抗激光损伤的二色性介质分光棱镜，规整与非规整膜层相结合的这种膜系，大部分激光优先从M与SiO2的规整膜层反射，减小了整个分光膜系的吸收，其与耐高温的环氧树脂胶结合有利于提高立方分光棱镜的抗激光损伤阈值。它可应用于共光路光电系统中包含电视、激光双波段的探测，且其较高的抗激光损伤阈值有利于应用在激光压制光电设备中。
一种激光损伤二色性介质立方分光棱镜

[发明专利]一种光学基底表面ITO薄膜的高效去除方法-CN202210231012.X在审
发明人：王松林;张建付;杨崇民;刘青龙;米高园;昌明;李明伟;陶忠 -专利权人：西安应用光学研究所
申请日： 2022-03-10 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明属于光学技术领域，具体涉及一种光学基底表面ITO薄膜的高效去除方法,该方法将将锌粉或铝粉大致均匀地撒在镀有ITO薄膜的光学基底表面；用软性耐腐蚀物蘸取盐酸对ITO薄膜表面反复均匀擦拭，然后将擦拭好的光学基底放在清水槽中用超声波清洗，去除表面水分。该方法对于光学基底表面镀制的ITO薄膜，能够有效、快速地实现去除ITO薄膜，不易损伤光学基底表面。该方法不仅适用于化学稳定性较好的k9玻璃、石英玻璃等光学材料，同时也适用于ZnS、ZnSe、蓝宝石、CaF2、BaF2等易腐蚀易损伤光学基底。
一种光学基底表面 ito 薄膜高效去除方法

[发明专利]一种实现均匀加热除冰除霜的圆形光学窗口镀膜方法-CN202210231013.4在审
发明人：王松林;杨崇民;张建付;刘青龙;米高园;陶忠;朱筱群;李明伟 -专利权人：西安应用光学研究所
申请日： 2022-03-10 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明属于光学薄膜领域，具体涉及一种实现均匀加热除冰除霜的圆形光学窗口镀膜方法。所述方法通过对圆形光学窗口表面镀制的可加热薄膜厚度分布进行设计，并制作相应的薄膜厚度调控挡板来调控制备的导电加热薄膜厚度，以改善圆形光学窗口表面导电加热薄膜的导电分布均匀性，提高薄膜加热的均匀性和除冰除霜效率。本发明通过提高窗口表面各处产热功率均匀性，从而降低温度梯度，进而降低了热传导效应。因此，通过改善窗口表面的产热功率均匀性，从根本上改善窗口表面的加热温度均匀性。
一种实现均匀加热除冰除霜圆形光学窗口镀膜方法

[发明专利]一种具有高效雷达波屏蔽功能的宽角度激光高强减反射膜的膜系结构-CN201910037528.9有效
发明人：王松林;陶忠;杨崇民;朱筱群;米高园;张建付;李明伟;刘青龙;师建涛;刘永强 -专利权人：西安应用光学研究所
申请日： 2019-01-15 - 公布日： 2020-12-08 - 主分类号： G02B1/116 文献下载
摘要：本发明提出一种具有高效雷达波屏蔽功能的宽角度激光高强减反射膜的膜系结构，由透明基片和五种薄膜材料制备的十二层薄膜叠加构成；从透明基片开始，由内向外第1层为透明导电膜层；第2层为金属电极薄膜，镀制在透明导电膜层的边缘以及透明基底的侧面；第3层至第11层中的奇数层为三氧化二钛膜层、偶数层为二氧化硅膜层，第12层为氮氧化铝膜层。本发明具有对1064nm激光高透过、对频率为2GHz～18GHz的雷达波高效屏蔽功能，且具有很强的环境适应性，能够经受吹尘、淋雨、附着力、湿热、摩擦、盐雾等环境试验，可用于雷达隐身光电系统中的1064nm激光窗口，使具有雷达波高效屏蔽功能的激光窗口能够在0°～80°的宽角度范围内正常使用，在恶劣的环境中能够正常工作并保护系统内部器件。
一种具有高效雷达屏蔽功能角度激光高强减反射膜结构

[发明专利]一种超宽角度激光、长波红外双波段高强减反射膜的膜系结构-CN201910037555.6有效
发明人：张建付;陶忠;昌明;杨崇民;刘永强;李明伟;米高园;王松林;师建涛;刘青龙;王颖辉;陈朝平;郭鸿香 -专利权人：西安应用光学研究所
申请日： 2019-01-15 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： G02B1/115 文献下载
摘要：本发明提出一种超宽角度激光、长波红外双波段高强减反射膜的膜系结构，由硫化锌基片和减反射膜膜系组成；所述减反射膜膜系由四种薄膜材料制备的膜层叠加构成；膜层层数共计19层，从硫化锌基片开始，由内向外第1层为氧化铪，第2层到第18层中的奇数层为氟化镱膜层、偶数层为硫化锌膜层，第19层为氮化硅膜层；本发明可实现1.064μm激光和7.5μm～10.0μm长波红外在0°～76°超宽角度范围内的高透过，膜层牢固，同时具备高强度，能够通过国军标GJB 150—2009中的风洞、砂尘、淋雨、盐雾、湿热、温度冲击等严酷的环境试验，能够满足雷达隐身高速武器平台的多光谱硫化锌光学窗口的应用需求，能够应用于隐身机载、隐身舰载等高速武器平台多波段共光路光学系统的隐身光学窗口。
一种角度激光长波红外波段高强减反射膜结构

[发明专利]一种10.6μm激光窗口抗磁可加热薄膜膜系结构-CN201910134962.9在审
发明人：刘青龙;米高园;张建付;王松林;韩俊;金柯;杨崇民;王慧娜;黎明;董莹;刘永强;李明伟;杨建军 -专利权人：西安应用光学研究所
申请日： 2019-02-24 - 公布日： 2019-06-18 - 主分类号： G02B1/10 文献下载
摘要：本发明提出一种10.6μm激光窗口抗磁可加热薄膜膜系结构，包括红外基片、介质膜层、导电膜层和电极膜层；第一膜层为硫化锌膜层，镀制在所述红外基片的表面上，膜层厚度300～600nm；第二膜层为锗膜层，厚度654±1nm，镀制在第一膜层上；第三膜层为硫化锌膜层，厚度为1232±2nm；第四膜层为锗膜层，厚度618～643nm；第五层为导电膜层，厚度15±1nm；第六层为金属电极膜层，厚度200±5nm，镀制在红外基片镀膜面边缘并与第五层连通；第七膜层为锗膜层，厚度536～636nm；第八层为硫化锌膜层，厚度为1267～1419nm；第九层为锗膜层，厚度320～546nm；第十层为硫化锌膜层，厚度为540～625nm。通过在激光窗口上制备透明导电膜层，使窗口具有除冰和屏蔽电磁功能，提高激光制导系统抗冰霜和电磁能力。
膜层硫化锌膜层锗膜层激光窗口镀制导电膜层第一膜层膜系结构可加热抗磁薄膜透明导电膜层金属电极膜电磁功能电极膜层基片镀膜激光制导介质膜层面边缘冰霜屏蔽除冰制备连通

[发明专利]一种ZnS基底反0.5～0.8μm可见光及1.064μm激光并透3.7～4.8μm中波红外分色膜的膜系结构-CN201610273378.8有效
发明人：张建付;杨崇民;米高园;刘永强;刘青龙;王松林;刘方;杨华梅;李明伟;王颖辉;孙婷;黎明;韩俊 -专利权人：西安应用光学研究所
申请日： 2016-04-28 - 公布日： 2018-04-03 - 主分类号： G02B27/10 文献下载
摘要：本发明提出一种ZnS基底反0.5～0.8μm可见光及1.064μm激光并透3.7～4.8μm中波红外分色膜的膜系结构，包括ZnS基片和分色膜膜系；分色膜膜系由三种薄膜材料制成；膜层层数共计51层，其中第1层和第51层为氧化锆膜层，第2层到第50层中的偶数层为氟化镱膜层、奇数层为硫化锌膜层。在0.5～0.8μm波段，透过率小于2％；在1.064μm激光波段，透过率小于1％；在3.7～4.8μm中波红外波段透射率大于95％。该膜系结构具有层数少、厚度小、镀制难度相对较低、工艺重复性好的特点，获得的膜层牢固度高，光谱性能优良，能够满足多波段共窗口光电系统的使用要求，满足45°倾斜条件下工作要求，并能经受住高、低温存储，温度冲击等环境试验，附着力试验及中度摩擦试验。
一种 zns 基底 0.5 0.8 可见光 1.064 激光 3.7 4.8 中波红外分色结构

[发明专利]一种氟化镁中波红外光学窗口高强度保护膜的膜系结构-CN201610273523.2有效
发明人：张建付;杨崇民;米高园;张万虎;刘青龙;黎明;王松林;刘方;杨建军;金珂;赵兴梅;杨华梅;王润荣;董莹 -专利权人：西安应用光学研究所
申请日： 2016-04-28 - 公布日： 2018-01-02 - 主分类号： G02B1/14 文献下载
摘要：本发明提出一种氟化镁中波红外光学窗口高强度保护膜的膜系结构，包括氟化镁基片和减反射高强度保护膜系，减反射高强度保护膜系由四个膜层叠加构成，第一膜层为氟化镁膜层，镀制在氟化镁基片的表面上，膜层厚度18～24nm；第二膜层为硫化锌膜层，膜层厚度495～503nm，并镀制在第一膜层上；第三膜层为锗膜层，膜层厚度112～120nm，并镀制在第二膜层上；第四膜层为类金刚石膜层，膜层厚度498～502nm，并镀制在第三膜层上。本发明采用多层粘接层技术，解决了DLC高强度保护膜与氟化镁基底之间的应力匹配问题，整个薄膜系统和氟化镁基底结合牢固，同时多层粘接层与DLC膜构成多层减反射膜系，有效降低了由于基底和DLC保护膜的折射率不匹配而引起的表面反射损失。
一种氟化中波红外光学窗口强度保护膜结构

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