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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]等离子体处理装置及其驱动方法-CN201910907010.6有效
发明人：铃木泰雄;渡邉正则 -专利权人： 等离子体成膜有限公司
申请日： 2019-09-24 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明为一种等离子体处理装置及其驱动方法，其抑制天线导体与盖体之间所产生的等离子体来防止真空室内的污染，并且使长尺寸天线单元实用化，包括收容被处理物的真空室、用于使所述真空室内产生等离子体的电感耦合型天线单元、以及朝所述电感耦合型天线单元供给高频电力的高频电源，所述电感耦合型天线单元具有一个或多个天线导体、及关闭形成在所述真空室的壁面的开口的盖体，所述一个或多个天线导体不经由引起放电的间隙而安装在所述盖体。
等离子体处理装置及其驱动方法

[发明专利]等离子体处理装置-CN202110038794.0在审
发明人：铃木泰雄;铃木洋和 -专利权人： 等离子体成膜有限公司
申请日： 2021-01-12 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体处理装置。所述等离子体处理装置包括对基材(X)进行等离子体处理的多个等离子体处理室(S2～S6)、将基材(X)以立起状态保持的托盘(Y)、将托盘(Y)连续输送到多个等离子体处理室(S2～S6)的升降机构(10)，所述等离子体处理装置即使对难以卷绕到辊上的基材也能够连续进行等离子体处理。
等离子体处理装置

[发明专利]等离子体处理装置-CN201811552302.4在审
发明人：铃木泰雄;丹上正安 -专利权人： 等离子体成膜有限公司
申请日： 2018-12-18 - 公布日： 2019-08-23 - 主分类号： C23C16/513 文献下载
摘要：为了实现制造的高效率化，并且即使在片状基材薄的情况下，也确保品质的等离子体处理装置，包括：等离子体处理室(X)，对片状基材(Z)进行等离子体处理；高频天线(3)，用以使等离子体处理室(X)内产生等离子体；以及送出机构(10)，将片状基材(Z)沿着上下方向送出至等离子体处理室(X)内。
等离子体处理室片状基材等离子体处理装置等离子体等离子体处理高频天线上下方向送出机构高效率送出制造

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