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[发明专利]高次谐波体声波谐振器及游标频移式生物传感器-CN202310848932.0在审
发明人： 程晶婕;邵磊;张文明 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2023-07-11 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本发明提供了一种高次谐波体声波谐振器及游标频移式生物传感器，涉及生物传感领域，包括自上向下依次设置的抗体修饰生物敏感层、顶电极、压电层、底电极、绝缘层以及衬底；所述顶电极、压电层以及底电极三者构成三明治式结构，用于发射声波信号；所述衬底用于存储声波。通过使用特异性差分超高频游标频移式生物传感器基于游标卡尺的测量原理，对分子质量带来的微小频偏进行放大，降低操作难度的同时，提高了测量的灵敏度和精度。
谐波声波谐振器游标频移式生物传感器

[发明专利]无金属电极高次谐波体声波谐振器及制备、性能测试方法-CN202310807565.X在审
发明人： 程晶婕;邵磊;张文明 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2023-07-03 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种无金属电极高次谐波体声波谐振器及制备、性能测试方法，谐振器包括厚衬底以及外延生长在厚衬底正面的复合压电换能器，复合压电换能器包括由上而下依次布置的顶电极、压电层、底电极形成的三明治式堆栈结构；所述顶电极是第一二维电子气层；所述压电层是具有压电效应的压电GaN层；所述底电极由重硅掺杂的GaN层或第二二维电子气层形成，所述第一二维电子气层、第二二维电子气层均是AlGaN/GaN半导体异质结界面处所产生的。本发明无需任何金属化的结构，消除了金属电极带来的能量耗散，提高了谐振器的Q值，同时具有显著提升的热稳定性和能量转换效率。
金属电极谐波声波谐振器制备性能测试方法

[发明专利]基于超快脉冲激光干涉的混频测振装置及方法-CN202110775224.X在审
发明人： 程晶婕;宋鹏慧;邵磊;张文明 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2021-07-09 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： G01H9/00 文献下载
摘要：一种基于超快脉冲激光干涉的混频测振装置及方法，包括：依次相连的光学干涉结构、驱动与扫描单元、光电探测单元、比例积分控制器和信号处理单元，其中：光学干涉结构用于将超快脉冲激光分成待测光和参考光并将二者产生干涉，其中待测光受到了超高频谐振器振动表面的反射调制，驱动与扫描单元激发待测样品起振并使用激光光斑对整个待测样品表面进行扫描，光电探测单元测量相干光信号并还原待测样品振动位移信息，比例积分控制器控制可移动参考镜的运动以达到稳定的干涉状态，信号处理单元将光电探测单元得到的测量信息和驱动与扫描单元发出的激励、位置指令进行整合得到振动位移分布图，即振形成像。本发明通过检测低频的差拍信号fb，即可获得超高频激励频率下器件的真实振动幅值和相位，极大的提高了3GHz以上谐振器光学测量的信噪比，将激光测振的可用频率范围提高到了12GHz。
基于脉冲激光干涉混频装置方法

[发明专利]基于锁相放大的脉冲激光干涉测振方法-CN202210829904.X在审
发明人：邵磊;张文明;程晶婕;宋鹏慧 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2022-07-15 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： G01H9/00 文献下载
摘要：一种基于锁相放大的脉冲激光干涉测振方法，采用同源的连续波射频信号分别作为激励信号激发待测样品的机械振动以及作为混频器的本振输入信号；采用超快脉冲激光分别经快速光电探测器转化为电频率梳信号、经迈克尔逊干涉仪形成携带样品面外振动信息的振动干涉测量信号，并经低速光电探测器后作为待测信号输入锁相放大器；将电频率梳信号与本振输入信号混频后作为参考信号输入锁相放大器，并在锁相放大器中对待测信号进行解调，同时提取待测样品机械振动的幅值和相位信息。本发明将相干超高频机械振动通过光学上的下混频转换为低频信号，然后利用锁相放大技术对其进行动态提取，从而显著降低噪声水平，可实现高精度的相敏绝对振幅检测，最小可检测的振幅约为55飞米。
基于放大脉冲激光干涉方法

[发明专利]基于连续波激光的脉冲激光干涉等效波长校准装置及方法-CN202210824397.0在审
发明人：邵磊;张文明;彭昭亮;宋鹏慧;程晶婕 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2022-07-14 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： G01H9/00 文献下载
摘要：一种基于连续波激光的脉冲激光干涉等效波长校准装置及方法，包括：依次设置的超快脉冲激光光源组件、干涉光路组件和信号接收与处理组件，其中：信号接收与处理组件与干涉光路组件相连以调整光路并采集干涉信号，当超快脉冲激光发生干涉时计算得到等效波长。本发明利用连续波激光具有频谱窄、能量集中、频率稳定的特性，对超快脉冲激光的等效波长进行校准，提高超快脉冲激光干涉仪的测量准确性。
基于连续激光脉冲干涉等效波长校准装置方法