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- [实用新型]一种新型的真空机械手驱动结构-CN202320940355.3有效
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程向东
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苏州子山半导体科技有限公司
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2023-04-24
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2023-10-03
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B25J9/12
- 本实用新型涉及一种新型的真空机械手驱动结构,包含基座外壳、设在基座外壳一端的驱动器钣金外壳、设在基座外壳内的丝杆导轨组件、设在丝杆导轨组件滑动端上的外轴、设在丝杆导轨组件滑动端上的旋转电机组件、旋转设在外轴内的内轴、设在丝杆导轨组件滑动端上且输出端连接内轴的伸缩电机、设在驱动器钣金外壳底部外表面上的三轴驱动器;所诉外轴及内轴一端处同时连接有机械臂;本实用新型通过将丝杆导轨组件的丝杆设置在内轴外的基座外壳内,无需特意在内轴上打盲孔将丝杆插人,不仅降低加工难度,还降低对内轴外轴尺寸要求,并在外轴旋转时只需驱动内轴配合旋转即可,无需伸缩电机跟着一起转动,避免了电机线松动脱离。
- 一种新型真空机械手驱动结构
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