专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]等离子体处理装置-CN200980142724.7无效
  • 井野英二;渡边亮;石原俊一;芦田肇;庄子博;吉村桂一 - 株式会社永创科技
  • 2009-11-17 - 2011-09-28 - H01L21/205
  • 本发明的等离子体处理装置(10)具有:由真空容器构成的等离子体处理室(11);在等离子体处理室(11)内以面对面方式立设的一对基体保持部(12);在两个基体保持部(12)之间所设置的多个第一反应气体管(13);在两个基体保持部(12)双方各自与第一反应气体管(13)之间所设置的多个第二反应气体管(14)。第一反应气体管(13)为导体制,与高频电源(151、152)连接。第二反应气体管(14)为导体制,经由匹配器与第一交流偏压电源(153)电连接。第一反应气体管(13)兼作高频天线,第二反应气体管(14)兼作电极。
  • 等离子体处理装置
  • [发明专利]薄膜多晶太阳能电池及其形成方法-CN02121537.5无效
  • 石原俊一 - 佳能株式会社
  • 2002-03-15 - 2002-12-11 - H01L31/06
  • 为了同时保证优异的短路电流和占空因数性能,提供一种薄膜多晶太阳能电池,该电池包括基材;设置在基材上并且由用控制导电类型的杂质重掺杂的硅构成的第一半导体层;设置在第一半导体层上并且由用与第一半导体层同样导电类型的控制导电类型的杂质轻掺杂的多晶硅构成的第二半导体层;和设置在第二半导体层上且用导电类型与第一半导体层和第二半导体层掺杂的杂质相反的控制导电类型的杂质重掺杂的第三半导体层,其中从产生在第一半导体层内的晶核生长的晶粒连续地生长以形成第一和第二半导体层,该晶粒也水平生长以接触相邻的晶粒,且垂直生长与第三半导体层形成接触面。
  • 薄膜多晶太阳能电池及其形成方法
  • [发明专利]形成沉积薄膜的方法-CN86107084.4无效
  • 石原俊一;半那纯一;清水勇 - 佳能株式会社
  • 1986-10-21 - 1991-12-04 - C23C16/44
  • 一种形成沉积膜的方法包括把形成沉积膜的气态原料,对该原料具有氧化作用的气态卤素氧化剂(X)和有同样性质的至少一种气态氧型和氮型氧化剂导入反应区,使它们有效地接触以形成包括处于激发态的多种中间体,和用途这些中间体中的至少一种作为沉积膜组分的原料源以便在存在于成膜区中的基底上形成沉积膜。形成沉积膜的另一方法与上法相似,但增加了含作为价电子控制剂的要素的成分的气态原料(D)。
  • 形成沉积薄膜方法
  • [发明专利]形成沉积膜的方法-CN86107141.7无效
  • 石原俊一;半那纯一;清水勇 - 佳能株式会社
  • 1986-10-22 - 1991-12-04 - C23C16/44
  • 本发明涉及功能性膜的形成方法,特别是对半导体器件,电光摄象的光敏器件诸如光学成像输入装置的入射光感光器件之类电子元件等有用的功能性沉积膜的形成方法。它包括向反应区通入形成沉积膜的原料气和对所述原料有氧化性的气态卤素氧化剂以使它们之间化学接触,以形成含有大量处于激发态初级粒子的多种初级粒子,至少使用这些初级粒子中的一种作为沉积膜组成元素的料源在成膜区中的基体上形成沉积膜。本发明还披露了其它形成沉积膜的方法。
  • 形成沉积方法
  • [发明专利]薄膜晶体管-CN86108693.7无效
  • 石原俊一;大利博和;广冈政昭;半那纯一;清水勇 - 佳能株式会社
  • 1986-12-26 - 1990-04-11 - H01L21/205
  • 提供种基本半导体层,包含由非晶材料构成层改进的薄膜晶体管,其制备方法如下将含有能够成为所述层组分原子的气态物质(i)通过输送管引入放有基底的成膜室,将对该气态物质具有氧化性能的气态卤族物质。(ii)通过氧化剂输送管引入该成膜室;使该气态物质和该气态卤族氧化剂在成膜室内无等离子体的情况下发生化学反应,产生含受激先质的多种先质;至少利用这些先质中的一种作为供应源,在基底上形成所述的层。
  • 薄膜晶体管
  • [其他]薄膜晶体管-CN86108693无效
  • 石原俊一;大利博和;广冈政昭;半那纯一;清水勇 - 佳能株式会社
  • 1986-12-26 - 1987-08-12 - H01L21/205
  • 提供一种基本半导体层,包含由非晶材料构成层改进的薄膜晶体管,其制备方法如下将含有能够成为所述层组分原子的气态物质(i)通过输送管引入放有基底的成膜室,将对该气态物质具有氧化性能的气态卤族物质。(ii)通过氧化剂输送管引入该成膜室;使该气态物质和该气态卤族氧化剂在成膜室内无等离子体的情况下发生化学反应,产生含受激先质的多种先质;至少利用这些先质中的一种作为供应源,在基底上形成所述的层。
  • 薄膜晶体管
  • [其他]形成沉积膜的方法-CN86107141无效
  • 石原俊一;半那纯一;清水勇 - 佳能株式会社
  • 1986-10-22 - 1987-06-10 - C23C16/00
  • 本发明涉及功能性膜的形成方法,特别是对半导体器件,电光摄象的光敏器件诸如光学成像输入装置的入射光感光器件之类电子元件等有用的功能性沉积膜的形成方法。它包括向反应区通入形成沉积膜的原料气和对所述原料有氧化性的气态卤素氧化剂以使它们之间化学接触,以形成含有大量处于激发态初级粒子的多种初级粒子;至少使用这些初级粒子中的一种作为沉积膜组成元素的料源在成膜区中的基体上形成沉积膜。本发明还披露了其它形成沉积膜的方法。
  • 形成沉积方法

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