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[实用新型]一种含氟矿井水处理装置-CN202321081335.1有效
发明人：豆利军;李谦;陈锐;李琛;王爱进;晋宇涛;段琪超;郝婧毅;王子彦;田昊 -专利权人：晋煤中威环保科技有限公司
申请日： 2023-05-08 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： C02F9/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及污水处理领域，公开了一种含氟矿井水处理装置，包括原清水池、加药装置和除氟再生装置，所述原清水池内部固定连接有提升泵，所述提升泵的输出端通过管道连接有管道混合器，所述加药装置的输出端固定连接在管道混合器的输入端，所述管道混合器的输出端固定连接有多功能调节池，所述多功能调节池内部固定连接有加压泵，所述加压泵的输出端通过管道连接有多介质过滤器。本实用新型中，通过管道混合器、多功能调节池、多介质过滤器、除氟过滤器、除氟再生装置、污泥凝缩罐等结构的相互配合下，能够高效快速地对矿井水中的氟及重金属物质进行处理，成本较低且工作强度小，从而提升了矿井水处理的效率，也提升了其环保性。
一种矿井水处理装置

[实用新型]一种晶圆载具中晶圆突出侦测改进装置-CN202221876551.0有效
发明人：黄会刚;王爱进;吴建璋;柴利林 -专利权人：和舰芯片制造（苏州）股份有限公司
申请日： 2022-07-20 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆载具中晶圆突出侦测改进装置，该装置包括发射端、接收端以及警报装置，发射端具有相对于晶圆载具固定的第一基座以及安装至第一基座上的发送器，发送器设置为沿晶圆径向方向可移动并发出平行于晶圆轴线方向的光线；接收端具有相对于晶圆载具固定的第二基座以及安装至第二基座上的接收器，接收器设置为沿晶圆径向方向可移动并接收来自发射端的光线；以及警报装置与接收端电连接以在接收端无信号时发出警报。改进后的侦测装置整体向晶圆方向靠近，最小侦测值从6mm精确至2mm，进一步扩大了侦测范围，并且保证侦测装置的准确性，有效避免了由于晶圆突出侦测不准确导致的掉片风险。
一种晶圆载具中晶圆突出侦测改进装置

[实用新型]一种炉管机热电偶的位移侦测装置-CN202220920360.3有效
发明人：石少敏;张宇杰;王爱进;吴建璋;柴利林 -专利权人：和舰芯片制造（苏州）股份有限公司
申请日： 2022-04-20 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： G01B21/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种炉管机热电偶的位移侦测装置，该装置包括侦测机构和固定机构。其中，侦测机构进一步包括步进电机、滚轮以及传感器，步进电机包含电机主体和连接至所述电机主体的转轴，滚轮与转轴同轴连接，滚轮的旋转轴垂直于热电偶的延伸方向设置，并且滚轮的外缘与热电偶抵接以使热电偶在产生位移时通过所述滚轮带动所述转轴转动，传感器连接至步进电机，并配置为获取侦测数据。通过本实用新型的位移侦测装置可以实时监控热电偶的位移情况，不仅降低了人工消耗，更保证了测量的准确性及炉管机热电偶工作的安全性。
一种炉管热电偶位移侦测装置

[实用新型]一种改善炉管温度的退火系统-CN202220850494.2有效
发明人：徐晓军;马贤佳;张宇杰;王爱进;柴利林;吴建璋 -专利权人：和舰芯片制造（苏州）股份有限公司
申请日： 2022-04-13 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种改善炉管温度的退火系统，该退火系统包括预热分解装置，所述预热分解装置包括加热器，所述加热器进一步包括加热管和加热丝，所述加热管内部中空形成腔室，所述加热丝内嵌于所述加热管中；以及退火装置，所述退火装置包括炉管以及退火炉，所述炉管与所述预热分解装置连通。本实用新型的退火系统中通过预加热分解装置对气体进行前置处理，改进后的系统至少具有两大优势：(1)预热分解装置可以独立控制气体分解的温度，保证气体充分分解；(2)分解后的气体进入退火装置后不会影响退火温度，避免因退火温度变化导致产品报废。
一种改善炉管温度退火系统

[实用新型]一种成膜用炉管机台-CN202020393722.9有效
发明人：张宇杰;陈鑫;王爱进;吴建璋;徐晓军 -专利权人：和舰芯片制造（苏州）股份有限公司
申请日： 2020-03-25 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种成膜用炉管机台，其包括：限定反应腔的主体，所述主体一端封闭，另一端开口；用于加热反应腔的主加热器，所述主加热器围绕所述主体的外周设置；用于承载晶圆的晶舟，所述晶舟位于所述反应腔内；底盖，所述底盖支撑晶舟并且用于封闭所述主体的开口；以及辅助加热器，所述辅助加热器固定于所述底盖上并且部分地位于所述晶舟内，用于对反应腔的下部区域进行加热。本实用新型提供的成膜用炉管机台能够改善晶圆的成膜均匀度并且能够提升产能利用率。
一种成膜用炉管机台

[实用新型]一种双电源控制箱及双电源电路-CN201922086451.2有效
发明人：陈鑫;王爱进;吴建璋 -专利权人：和舰芯片制造（苏州）股份有限公司
申请日： 2019-11-28 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： H02J9/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双电源控制箱。该双电源控制箱包括第一电源、第二电源、以及与第一电源和第二电源连接以选择性地使用其中一个电源给用电器供电的双电源切换装置。该双电源切换装置包括与第一电源连接的第一二极管和与第二电源连接的第二二极管。本实用新型还公开了一种双电源电路。本实用新型提供的双电源控制箱及双电源电路采用双电源配置，可在其中一个电源异常的情况下自动切换到另一个电源供电，从而避免因电源异常而导致的机台停机。
一种双电源控制箱电路

[发明专利]一种晶舟-CN200910005592.5无效
发明人： 王爱进 -专利权人：和舰科技(苏州)有限公司
申请日： 2009-02-06 - 公布日： 2010-08-11 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明涉及一种晶舟，该晶舟包含顶板；底板；固定于上述顶板和底板之间的三个晶棒，且上述三个晶棒的分布呈圆形；上述多个晶棒上形成有多个槽，且不同晶棒上的各槽的高度分别对应相等，形成用以水平支撑晶片的支撑部；以及插入口，通过上述插入口将晶片送入上述晶舟内，上述插入口与上述各支撑部位于同一高度。本发明可以有效地改善“类晶舟”颗粒，而且本发明通过减少晶棒的数目使得热量更能均匀的分布在晶片表面，从而间接地改善了晶片的受热均匀度。
一种

[发明专利]一种对垂直晶舟上大量晶圆侦测的方法-CN200710025505.3无效
发明人： 王爱进 -专利权人：和舰科技（苏州）有限公司
申请日： 2007-08-01 - 公布日： 2009-02-04 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供一种对垂直晶舟上大量晶圆侦测的方法，在机台内壁晶舟附近设置光感传感器，在传送器上设置扫描传感器；在晶舟进入反应室之前，光感传感器自上而下进行扫描，晶圆有突出时即遮住光感传感器发出的红外线，光感传感器发出警报，机械动作停止；另外，在晶舟进入反应室之前以及从反应室出来后，传送器上扫描传感器自上而下扫描晶舟上的晶圆，有斜插时扫描传感器发出警告信号，传送即停止。本发明技术方案通过在机台内壁晶舟附近设置光感传感器和在传送器上设置扫描传感器，能够有效消除凸片和斜插现象的发生，避免工艺制程的不均匀和撞击破片及刮伤等不良后果。
一种垂直晶舟上大量侦测方法

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