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[发明专利]一种高质量碳化硅单晶生长方法-CN202111672169.8在审
发明人：胡小波;王垚浩;杨祥龙;于国建;陈秀芳;徐南;张木青 -专利权人：广州南砂晶圆半导体技术有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： C30B23/02 文献下载
摘要：本申请提供了一种高质量碳化硅单晶生长方法，在将坩埚装入单晶生长炉的炉腔时，使各坩埚沿炉腔的温场中轴线对称分布，各坩埚中的籽晶的小面靠近温场的中心，从热场的中心至边缘温度逐渐升高。通过设置籽晶的位置，将籽晶台阶流的上游置于靠近温度场的中心位置，对于籽晶来说，台阶流的上游靠近热场中心的低温区，台阶流的下游处于热场的高温区，热场的分布有利于台阶流的流动。小面始终处于热场的低温区，且小面在单晶生长的过程中始终保持不动，由于台阶流从近中心向边缘流动，温度场的分布有利于台阶流的流动，不会发生台阶聚并现象，进而可以有利于保持晶型的稳定性。并且，本申请提供的方法可以一次性放入多个坩埚，进而可提高单晶生长效率。
一种质量碳化硅生长方法

[实用新型]一种免水冲环保厕所结构-CN202221283757.2有效
发明人： 王垚浩;张辉 -专利权人：新野众星生态科技有限公司
申请日： 2022-05-26 - 公布日： 2023-05-19 - 主分类号： A47K11/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种免水冲环保厕所结构,包括小便池、下尿管、蹲便池、下料管、第一导尿管、三通、第二导尿管、第一控制阀、第一多通、导尿支管、分别与多个导尿支管相连接的集尿桶、分别设置在多个导尿支管上的第二控制阀、与三通的另一端相连接的导污管、设置在导污管上的第三控制阀、与导污管的出料端相连接的第二多通、分别与第二多通的多个出料端相连接的导污支管、分别设置在多个导污支管上的第四控制阀和分别与多个导污支管相连接的集污桶。通过本实用新型所述的免水冲环保厕所结构，不仅能够满足人们使用厕所的基本需求，而且还能在无需水冲的情况下便对产生的小便进行收集，从而克服排水设施落后的环境中无法方便地对小便进行清理的缺陷。
一种免水冲环保厕所结构

[发明专利]一种碳化硅单晶中基平面位错的检测方法-CN202210967157.6在审
发明人：胡小波;王垚浩;陈秀芳;杨祥龙;于国建;熊希希 -专利权人：广州南砂晶圆半导体技术有限公司
申请日： 2022-08-12 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： C30B33/10 文献下载
摘要：本申请提供了一种碳化硅单晶中基平面位错的检测方法，具体的，沿碳化硅单晶的纵向切割，同时纵切片表面与碳化硅单晶中的一组基平面位错线的延伸方向相垂直或近似垂直，由于碳化硅单晶中基平面位错的延伸方向主要平行于[1‑100]、[10‑10]、[01‑10]三个等价的方向且三个等价方向互为60°，所以，三个方向的基平面位错便可以保证均与纵切片的表面相交，进而在使用熔融的强碱腐蚀液对纵切片腐蚀时，根据熔融的强碱熔液会优先腐蚀含有位错的区域的规律，纵切片中三个方向的基平面位错的腐蚀坑均会显露出来。因此，本申请提供的检测方法可以准确获知碳化硅单晶中基平面位错的密度。
一种碳化硅单晶中基平面检测方法

[发明专利]碳化硅粉料合成装置及方法-CN202110928910.6在审
发明人：胡小波;王垚浩;陈秀芳;杨祥龙;于国建;徐南 -专利权人：广州南砂晶圆半导体技术有限公司
申请日： 2021-08-13 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： C30B29/36 文献下载
摘要：本申请提供了一种碳化硅粉料合成装置和碳化硅粉料合成方法，将装料坩埚设计为由多层子坩埚组成的结构。与传统坩埚相比，减小了原料层的厚度，进而可以减小料中的氮向外传输的路径，可达到有效的脱氮的目的。同时，在各子坩埚底上开设有通孔；在通孔所在位置处，坩埚底上设与通孔连通的通气筒。在这种装配的坩埚中，靠近中心区域的粉料吸附的氮可以从通气筒上开设的第一通气部进入通气筒，并经通气筒排出。因此，利用本申请实施例所提供的方法及装置，通过缩短料中的氮向外传输的路径以及增加氮排出通道，可以有效降低合成的碳化硅粉料中的氮杂质含量。
碳化硅合成装置方法

[实用新型]一种厕所免水冲干湿分离系统-CN202221726553.1有效
发明人： 王垚浩;张辉 -专利权人：新野众星生态科技有限公司
申请日： 2022-07-06 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： A47K11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种厕所免水冲干湿分离系统，属于垃圾分类技术领域，包括集粪池和收集斗，收集斗通过暂存分离机构连通集粪池；暂存分离机构包括有与收集斗连通的导通管，导通管的尾端连通在锥形的暂存箱内，暂存箱的箱壁上侧设置有漏液口，暂存箱的外侧设置有出液箱，出液箱的底部连通有出液管，暂存箱与集粪池之间通过输粪管，输粪管的上端与暂存箱之间设置有压力开关；本实用新型可以针对农村的户外厕所使用，可以将粪便干湿分离，便于后续的收集利用。
一种厕所免水冲干湿分离系统

[发明专利]一种碳化硅晶片中位错分布的快速检测方法-CN202110422773.9在审
发明人：杨祥龙;徐现刚;陈秀芳;胡小波;王垚浩;于国建 -专利权人：广州南砂晶圆半导体技术有限公司
申请日： 2021-04-19 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本申请提供了一种碳化硅晶片中位错分布的快速检测方法，通过将碳化硅晶片进行表面处理，使其位错缺陷显露；然后，将所述碳化硅晶片置于起偏器和检偏器之间，其中，所述起偏器方向和检偏器的偏振方向垂直；光源发出的光线依次通过起偏器、晶片、检偏器，并利用图像采集装置采集所述检偏器透射的光线并成像。由于经过起偏器形成的线偏振光打在碳化硅晶片上，在有位错缺陷的位置，线偏振光透过后方向发生变化，从而可以透过检偏器形成明像，而无缺陷位置，线偏振光方向未发生变化仍无法透过检偏器，形成暗像，从而得到位错分布图像。本申请通过晶片表面处理结合光学扫描的方法，与显微镜的逐点拼接的方式相比，可快速获得碳化硅晶片的位错分布情况。
一种碳化硅晶片中位错分布快速检测方法

[发明专利]一种增加滚动视图交互感知的方法及终端-CN202210489989.1在审
发明人：余彬海;王垚浩;肖银皓;王壁青 -专利权人：全芯（佛山）科技有限公司
申请日： 2022-05-06 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： G06F3/04855 文献下载
摘要：本发明公开了一种增加滚动视图交互感知的方法，旨在解决滚动视图在拖拽到最顶端时无交互反馈的问题，其技术方案：涉及交互反馈，包括如下步骤：S1：获取滚动视图的滚动位置；S2：当滚动视图拖拽到最顶端时，调用交互反馈，属于软件开发领域。
一种增加滚动视图交互感知方法终端

[发明专利]一种无搜索结果的反馈方法及终端-CN202210489992.3在审
发明人：余彬海;王垚浩;肖银皓;王壁青 -专利权人：全芯（佛山）科技有限公司
申请日： 2022-05-06 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： G06F9/451 文献下载
摘要：本发明公开了一种无搜索结果的反馈方法，其可在没有搜索结果时提醒用户，其技术方案：包括如下步骤：S1：基于用户在搜索框处输入的搜索词进行搜索；S2：若没有搜索结果，抖动搜索框，属于搜索技术领域。
一种搜索结果反馈方法终端

[发明专利]一种用于碳化硅晶体生长时提高原料传输效率的装置-CN202210859443.0在审
发明人：熊希希;杨祥龙;陈秀芳;于国建;胡小波;王垚浩 -专利权人：广州南砂晶圆半导体技术有限公司
申请日： 2022-07-21 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： C30B23/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种用于碳化硅晶体生长时提高原料传输效率的装置，包括石墨筒和石墨板，其中，石墨筒为中空的筒形结构，用于放置在坩埚的底部；石墨筒的中轴线与坩埚的中轴线重合或近似重合；石墨板用于插置在石墨筒中。利用石墨筒和石墨板，将坩埚的装料区间隔为三个或三个以上的子装料区。通过石墨筒和石墨板的热传导作用，不仅可以减小原料内部径向温度梯度，并且可以阻挡外侧原料向中心传输，从而迫使原料向位于坩埚上部的籽晶处传输，进而可以提高原料传输效率。原料传输效率的提高意味着可以在相同的轴向温度梯度下提高生长速率，从而提高产率，另一方面意味着可以在较小的轴向温度梯下维持相同的生长速率，进而有助于提高碳化硅晶体质量。
一种用于碳化硅晶体生长提高原料传输效率装置

[发明专利]一种用于碳化硅单晶退火的装置-CN202210857263.9在审
发明人：熊希希;杨祥龙;陈秀芳;胡小波;于国建;王垚浩 -专利权人：广州南砂晶圆半导体技术有限公司
申请日： 2022-07-20 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： C30B33/02 文献下载
摘要：本申请提供了一种用于碳化硅单晶退火的装置，包括石墨感应加热器，石墨感应加热器放置在感应加热线圈所围成加热区的中心位置，石墨感应加热器为中空的筒形结构，内部用于放置碳化硅单晶；沿石墨感应加热器的轴向方向，石墨感应加热器的侧壁分为第一感应加热部、第二感应加热部和第三感应加热部；第二感应加热部的壁厚大于第一、第三感应加热部的壁厚，并且第二感应加热部的壁厚或者第二感应加热部与设置在石墨感应加热器内部的石墨坩埚的壁厚之和大于石墨感应加热的趋肤深度。这样，可以在石墨感应加热器内部整个轴向方向上构建一个温度梯度小的温场，从而减小晶体轴向方向上的温差，进而能很大程度上消除碳化硅晶体内部残余应力。
一种用于碳化硅退火装置

[发明专利]无应力碳化硅籽晶固定装置、坩埚及碳化硅籽晶固定方法-CN202011619910.X在审
发明人：胡小波;徐南;张木青;杨祥龙;于国建;陈秀芳;王垚浩;徐现刚 -专利权人：广州南砂晶圆半导体技术有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： C30B29/36 文献下载
摘要：本申请提供了一种无应力碳化硅籽晶固定装置、坩埚及碳化硅籽晶固定方法，该碳化硅籽晶固定装置包括籽晶托和籽晶盖。籽晶托为中部掏空的环形结构，并且沿其中轴线方向依次包括籽晶支撑部、籽晶容纳部、籽晶盖容纳部。同时，籽晶支撑部的内周形状与籽晶的外周形状相同，籽晶支撑部的内径小于籽晶的外径，籽晶容纳部的内径大于籽晶的外径，籽晶容纳部的高度大于籽晶的厚度。利用上述结构和尺寸设计，将籽晶装入籽晶托，并将籽晶盖装入籽晶托后，仅籽晶的边缘依靠自身的重力与籽晶支撑部相接触，进而在单晶生长过程中，籽晶与籽晶固定装置之间不存在热膨胀系数不匹配导致的应力问题，可以消除籽晶受到的外加机械应力，有利于高质量SiC单晶生长。
应力碳化硅籽晶固定装置坩埚方法

[实用新型]一种晶片夹具装置-CN202122928617.8有效
发明人：张木青;刘青;陈秀芳;王垚浩 -专利权人：广州南砂晶圆半导体技术有限公司
申请日： 2021-11-26 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本申请提供了一种晶片夹具装置，包括底板和两个或两个以上的晶片支撑件，同时，在与底板的上表面平行或近似平行的方向，将晶片支撑件的晶片固定部上开设晶片卡槽。使用时，其中的一个或多个晶片支撑件从底板上拆下来，以留出晶片装入的通道，将晶片装入已安装在底板上的晶片支撑件的晶片卡槽中，晶片装载完毕后，再将剩余的晶片支撑件的晶片固定部装入晶片支撑件的安装部中，实现晶片的固定。由于晶片卡槽可以开设多个，因此，可以实现装载多片晶片的需求；另外，晶片四周晶片支撑件固定，且晶片卡槽与所述底板的上表面的夹角大于或等于0°且小于或等于45°，所以该晶片夹具装置无论以竖直或水平方式浸入到试剂中，都可以实现晶片的稳固固定。
一种晶片夹具装置

[发明专利]一种用于碳化硅晶片退火的装置-CN202011102894.7在审
发明人：陈秀芳;张木青;徐现刚;王垚浩 -专利权人：广州南砂晶圆半导体技术有限公司
申请日： 2020-10-15 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： C30B33/02 文献下载
摘要：本申请提供了一种用于碳化硅晶片退火的装置，通过在坩埚体内设有一层或多层用于放置碳化硅晶片的夹层板，并且设置各夹层板沿坩埚体的轴向方向排布，相邻的夹层板之间具有一定的间距。这样，在碳化硅晶片退火时，在各夹层板上分别摞若干片碳化硅晶片，与将所有的碳化硅晶片直接摞在一起相比，可以有效防止碳化硅晶片的晶片重量增加，导致晶片之间压得过紧，氧化后难分离的问题。同时，在各夹层板上开设通孔，可以保证空气的流通，进而可以保证各晶片之间的空气流通，有助于减少晶片黏连。因此，本申请实施例可以解决碳化硅晶片退火后晶片不好分离的问题，可以有效降低裂片、破片率，还可以在坩埚内放置更多的晶片，提高退火效率并降低生产成本。
一种用于碳化硅晶片退火装置

[实用新型]碳化硅粉料合成装置-CN202121903794.4有效
发明人：胡小波;王垚浩;陈秀芳;杨祥龙;于国建;徐南 -专利权人：广州南砂晶圆半导体技术有限公司
申请日： 2021-08-13 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： C30B29/36 文献下载
摘要：本申请提供了一种碳化硅粉料合成装置，将装料坩埚设计为由多层子坩埚组成的结构。与传统坩埚相比，减小了原料层的厚度，进而可以减小料中的氮向外传输的路径，可达到有效的脱氮的目的。同时，在各子坩埚底上开设有通孔；在通孔所在位置处，坩埚底上设与通孔连通的通气筒。在这种装配的坩埚中，靠近中心区域的粉料吸附的氮可以从通气筒上开设的第一通气部进入通气筒，并经通气筒排出。因此，利用本申请实施例所提供的方法及装置，通过缩短料中的氮向外传输的路径以及增加氮排出通道，可以有效降低合成的碳化硅粉料中的氮杂质含量。
碳化硅合成装置

[实用新型]一种除湿机-CN202122340282.8有效
发明人：任卫国;李伟雄;陈秀芳;王垚浩 -专利权人：广州南砂晶圆半导体技术有限公司
申请日： 2021-09-26 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： F24F3/14 文献下载
摘要：本申请提供了一种除湿机，包括壳体，壳体内设有隔离部件、压缩机、冷凝器、毛细管和蒸发器，隔离部件上设有通气结构，隔离部件将壳体分为冷凝区和除湿区，冷凝器位于冷凝区内，蒸发器位于除湿区内；冷凝器的一端与压缩机相连通、另一端与毛细管的一端相连通；毛细管的另一端与蒸发器的一端相连通，蒸发器的另一端与压缩机相连通；冷凝区上开设有冷却空气入口和干空气出口，其中，从冷却空气入口进入的空气用于对冷凝器进行冷却；除湿区上开设有湿空气进口，湿空气进口处设有进风量控制风扇，除湿区内设有温控探头。本申请通过将冷凝器冷却风量和除湿风量分离，冷凝器冷却直接可以由外界进风进行冷却，这样，经过蒸发器处理的空气可以达到的温度将不再受制于冷凝器需要风量、外界空气温度和湿度限制，可以根据需要设定蒸发器处的温度，使除湿区的温度可以大幅度降低，增加除湿效率。
一种除湿机

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