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- [发明专利]一种抛光头及抛光机-CN202210443467.8在审
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黄星星;王凤双;肖永能;侯少毅;胡强
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季华实验室
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2022-04-25
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2022-08-09
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B24B37/10
- 本申请属于化学机械抛光技术领域,公开一种抛光头及抛光机,抛光头包括用于安装待抛光工件的安装盘、用于安装安装盘的环形安装板、用于安装环形安装板的底板、用于驱动所述底板向下移动的移动驱动件、用于驱动底板转动的第一转动驱动件及用于驱动安装盘向下变形的电缸,环形安装板的两端分别连接安装盘及底板,移动驱动件的输出端连接底板的上表面,第一转动驱动件的输出端连接底板或移动驱动件,安装盘、环形安装板及底板形成安装空间,电缸设置在安装空间内,电缸的输出端连接有移动板,移动板抵接安装盘上表面的中心区域。本申请的抛光头及抛光机能够使得安装盘在电缸的驱动作用下产生向下的变形,从而改善待抛光工件的平坦度,提高抛光质量。
- 一种抛光抛光机
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