专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种镀膜设备及镀膜方法-CN202211662102.0在审
  • 毕诗博;卫红;王凤双;胡琅;侯少毅;黄星星;刘乔 - 季华实验室
  • 2022-12-23 - 2023-03-21 - C23C14/32
  • 本申请涉及半导体技术领域,具体而言,涉及一种镀膜设备及镀膜方法,通过磁过滤器对由等离子体发生器生成的靶材等离子体射流进行呈电中性的粒子团簇的过滤处理后,由偏转通道的第一电极板吸附带负电的电子,通过正对偏转通道出口的第三电极板吸附由于惯性而撞向第三电极板的带负电的粒子团簇,并由位于偏转通道出口上方的一侧的第四电极板使带正电的离子转向并加速射入镀膜室以对被镀工件进行镀膜,由于沉积在被镀工件的表面上均是带正电的离子(避免了粒子团簇对镀膜的影响),从而提高镀膜质量。
  • 一种镀膜设备方法
  • [发明专利]一种电容薄膜真空计传感器及其制作方法-CN202211145367.3有效
  • 黄星星;刘乔;侯少毅;王凤双 - 季华实验室
  • 2022-09-20 - 2022-11-18 - G01L21/00
  • 本申请涉及半导体加工技术领域,具体而言,涉及一种电容薄膜真空计传感器及其制作方法,该制作方法包括以下步骤:制作芯轴组件,芯轴组件包括由上到下依次连接的固定电极、上支撑板、感应电极、膜片和下支撑板,感应电极与膜片在周向上凸出于上支撑板与下支撑板,上支撑板的上表面安装有上支撑杆,下支撑板的下表面安装有下支撑杆;利用气相沉积反应在芯轴组件外生成外壳;冷却芯轴组件以及外壳,并拆除上支撑杆和下支撑杆;向外壳内通入氧化气体并加热氧化以消除上支撑板和下支撑板,通过将电容薄膜真空计传感器外壳一体式加工成型,减少在电容薄膜真空计传感器制作过程中产生不必要的应力,从而保证陶瓷薄膜硅的性能。
  • 一种电容薄膜真空计传感器及其制作方法
  • [发明专利]一种可张紧感应膜片的电容薄膜真空计-CN202210917065.7有效
  • 侯少毅;刘乔;王凤双;卫红;黄星星;毕诗博 - 季华实验室
  • 2022-08-01 - 2022-11-08 - G01L21/00
  • 本申请涉及半导体领域,具体而言,涉及一种可张紧感应膜片的电容薄膜真空计,其包括:腔体底板、外壳、感应膜片和张紧组件,所述外壳的下端与所述腔体底板连接以压紧所述感应膜片的边沿,所述感应膜片与所述腔体底板围成测量室,并与所述外壳围成参考腔,所述腔体底板与所述感应膜片的接触处设置有第一环槽,所述张紧组件设置在所述参考腔内,所述张紧组件用于把所述感应膜片覆盖所述第一环槽的部分压入所述第一环槽以张紧所述感应膜片,且所述张紧组件把所述感应膜片压入所述第一环槽的压入深度可调;可对感应膜片进行多次张紧,提高真空计的测量精度和使用寿命。
  • 一种可张紧感应膜片电容薄膜真空计
  • [发明专利]一种电容式薄膜真空计的薄膜焊接方法-CN202210492279.4有效
  • 刘乔;郭可升;侯少毅;王凤双;卫红;胡强;肖永能 - 季华实验室
  • 2022-05-07 - 2022-09-02 - B23K31/02
  • 本发明涉及测量仪器技术领域,具体公开了一种电容式薄膜真空计的薄膜焊接方法,该方法包括以下步骤:按照预设温度加热中心膜片,预设温度根据中心膜片的张紧力要求及材质特性进行设定;组合电容式薄膜真空计的下腔体、中心膜片和上腔体并进行保温,以使下腔体和上腔体夹持处于预设温度的中心膜片的边缘;焊接固定下腔体、中心膜片及上腔体以形成组合体;静置冷却组合体;该方法利用中心膜片的热胀冷缩的特性对加热后的中心膜片进行焊接,使得静置冷却后的组合体中的中心膜片具有满足张紧力要求的张紧力,免去了张紧设备的张紧处理,使得中心膜片满足电容式薄膜真空计的加工质量要求,有效提高产品合格率。
  • 一种电容薄膜真空计焊接方法
  • [发明专利]一种电容薄膜真空计及NEG薄膜制备方法-CN202210648150.8有效
  • 毕诗博;侯少毅;卫红;胡强;胡琅;王凤双;黄星星 - 季华实验室
  • 2022-06-09 - 2022-09-02 - G01L21/00
  • 本申请涉及半导体领域,具体而言,涉及一种电容薄膜真空计及NEG薄膜制备方法,一种电容薄膜真空计包括:壳体,具有一容置腔;电容膜片,将容置腔分隔为测量室和参考腔;连接口,与测量室连通;固定电极,设在参考腔中并与电容膜片平行,形成电容器;还包括:NEG薄膜,NEG薄膜镀在参考腔的内壁,用于吸收参考腔内部的残余气体。通过在参考腔的内壁镀一层NEG薄膜,提高NEG薄膜的吸气效率,能够很好地保持参考腔的真空度,从而提高电容薄膜真空计的测量精度。通过NEG薄膜制备方法对参考腔的内壁进行NEG薄膜镀膜,从而获得镀有NEG薄膜的参考腔。
  • 一种电容薄膜真空计neg制备方法
  • [发明专利]一种抛光头及抛光机-CN202210443467.8在审
  • 黄星星;王凤双;肖永能;侯少毅;胡强 - 季华实验室
  • 2022-04-25 - 2022-08-09 - B24B37/10
  • 本申请属于化学机械抛光技术领域,公开一种抛光头及抛光机,抛光头包括用于安装待抛光工件的安装盘、用于安装安装盘的环形安装板、用于安装环形安装板的底板、用于驱动所述底板向下移动的移动驱动件、用于驱动底板转动的第一转动驱动件及用于驱动安装盘向下变形的电缸,环形安装板的两端分别连接安装盘及底板,移动驱动件的输出端连接底板的上表面,第一转动驱动件的输出端连接底板或移动驱动件,安装盘、环形安装板及底板形成安装空间,电缸设置在安装空间内,电缸的输出端连接有移动板,移动板抵接安装盘上表面的中心区域。本申请的抛光头及抛光机能够使得安装盘在电缸的驱动作用下产生向下的变形,从而改善待抛光工件的平坦度,提高抛光质量。
  • 一种抛光抛光机
  • [发明专利]一种消除薄膜应力的电容薄膜真空计-CN202210332796.5有效
  • 卫红;侯少毅;刘乔;何斌;黄星星;黎天韵;郭远军;毕诗博;王凤双 - 季华实验室
  • 2022-03-31 - 2022-07-15 - G01D18/00
  • 本发明属于真空计技术领域,公开一种消除薄膜应力的电容薄膜真空计,包括壳体、感压薄膜及固定电极,还包括第一加热件;壳体具有容置腔,感压薄膜设置在容置腔内,感压薄膜将容置腔分为第一腔及第二腔;固定电极设置在第一腔内,并与感压薄膜平行,固定电极与感压薄膜组成平行板电容器传感组件;第一加热件设置在第二腔内,并面向壳体的进气口。本申请通过在第二腔内设置第一加热件的设计,使得第一加热件能够对进入第二腔内的待测气体进行加热,使得进入第二腔内的待测气体的温度与第二腔内的温度保持一致,减小第二腔内的温度变化,从而减少温度变化对感压薄膜的应力的影响,进而提高电容薄膜真空计的测量精度。
  • 一种消除薄膜应力电容真空计

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