专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种纳米薄膜成形机-CN202320011684.X有效
  • 任斌;王乃雷;梁飞虎 - 江苏籽硕科技有限公司
  • 2023-01-04 - 2023-06-23 - C23C14/35
  • 本实用新型公开了一种纳米薄膜成形机,其包括:底座、箱体和真空泵Ⅰ,所述箱体内顶部固定连接有升降杆,所述升降杆一端固定连接有正极板,所述正极板下方固定连接有真空吸盘,所述真空吸盘下方吸附有镀膜板,所述箱体内侧壁两边固定连接有离子源,所述箱体内底部固定连接有三块磁块,三块所述磁块按照N端、S端和N端朝向依次摆放,所述磁块上方固定连接有水冷板,所述水冷板上方设有负极板,所述负极板上设有靶材,所述水冷板下方设有进水口和出水口,所述箱体外侧固定连接有真空装置。通过上述结构,在镀膜板和靶材之间增加一个电磁场,增加成膜速度,在靶材下方设置冷却装置降温可长时间工作。
  • 一种纳米薄膜成形
  • [发明专利]一种等离子体增强化学气相沉积设备-CN202211577691.2在审
  • 任斌;王乃雷;梁飞虎 - 江苏籽硕科技有限公司
  • 2022-12-09 - 2023-05-16 - C23C16/50
  • 本发明提供一种等离子体增强化学气相沉积设备,涉及太阳能电池镀膜技术领域。该等离子体增强化学气相沉积设备,包括设备主体,所述设备主体的内部设置有沉积室,所述沉积室的顶部固定连接有第一电极板,所述沉积室的底部固定连接有第二电极板,所述第二电极板的顶部放置有托盘;所述托盘的内部设置有滑槽,并且滑槽的内部设置有滑动连接有挡板,所述挡板的内壁上固定连接有横向侧板与纵向侧板。通过设置滑槽、挡板、放置腔、挤压板、滑杆、顶紧弹簧、固定板和阻挡块,当工作人员需要对太阳能电池进行翻面时,工作人员用手下压挡板,使挡板进入滑槽内并且将太阳能电池从放置腔内移出,方便工作人员对太阳能电池进行翻面。
  • 一种等离子体增强化学沉积设备
  • [发明专利]一种化学气相淀积装置及其调节方法-CN202310007797.7在审
  • 任斌;王乃雷;刘军贤 - 江苏籽硕科技有限公司
  • 2023-01-04 - 2023-04-11 - C23C16/515
  • 本发明提供一种化学气相淀积装置及其调节方法,涉及化学气相淀积领域。该基于化学气相淀积装置,包括底座和工作台,所述底座的上方固定连接有工作台,所述工作台的上方中部固定连接有淀积室,所述工作台的上方一端固定连接有第一原料室,所述工作台的上方远离第一原料室的一端固定连接有第二原料室,所述工作台的上方靠近第二原料室的一端固定连接有控制台,所述淀积室的两端中部均固定连接有保温管,两个所述保温管的中部均设置有控制阀。通过在淀积室设置对称的原料室进行原料气供应,加速原料气的扩散效率,提高了原料气的供应均匀度,便于后续激光辅助淀积,提高了加工效率。
  • 一种化学气相淀积装置及其调节方法
  • [发明专利]一种可增加等离子密度的ICP等离子体刻蚀设备-CN202110748459.X在审
  • 任斌;王乃雷 - 江苏籽硕科技有限公司
  • 2021-07-02 - 2021-11-05 - H01J37/32
  • 本发明公开了一种可增加等离子密度的ICP等离子体刻蚀设备,涉及半导体制造技术领域,所述卡块的内壁固定连接有滑块,所述转块的表面开设有螺旋槽,所述滑块与所述螺旋槽滑动连接,所述机体的内壁设置有用于对所述基片进行遮挡的遮挡机构。本发明具备了通过螺旋槽的设置,使基片可以进行旋转,使得离子体可较为均匀的在基片的表面进行轰击,刻蚀效果更佳,同时配合吹风部件和换热部件对氮气散热法没有散发完成的热量,进行再次散热,且通过将挡板先旋转,再进行横移,使得不仅可对基片进行遮挡,同时挡板在运动的过程中,不会占据较多的空间,具备实用性更佳的效果。
  • 一种可增加等离子密度icp等离子体刻蚀设备

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