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[发明专利]圆筒形陶瓷溅射靶及其制造装置与制造方法-CN201580020152.0有效
发明人： 池东求;秋庭里美;武内朋哉 -专利权人：三井金属矿业株式会社
申请日： 2015-08-20 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种圆筒形陶瓷溅射靶及其制造装置和制造方法，所述圆筒形陶瓷溅射靶具备圆筒形基材、圆筒形陶瓷靶材、以及对所述圆筒形基材与圆筒形陶瓷靶材进行接合的焊锡，当将度盘式指示器抵接在所述圆筒形陶瓷靶材的外表面上的距离该圆筒形陶瓷靶材的两端为7mm的内侧的位置处，且以所述圆筒形基材的外周面上的距离所述圆筒形陶瓷靶材的两端分别为15mm的外侧的位置为支点而使所述圆筒形陶瓷溅射靶旋转一周并对所述度盘式指示器的读数进行测定时，所述度盘式指示器的读数的最大值与最小值之差在任意的测定部位处均为1.0mm以下。本发明的圆筒形陶瓷溅射靶直至寿命结束为止均能够通过溅射而形成均匀的薄膜。本发明的圆筒形陶瓷溅射靶的制造装置以及制造方法能够适当地制造出所述圆筒形陶瓷溅射靶。
圆筒陶瓷溅射及其制造装置方法

[发明专利]溅射靶-CN200880001823.9有效
发明人：古贺阳一;池东求 -专利权人：株式会社三井金属韩国
申请日： 2008-08-19 - 公布日： 2009-11-11 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明的目的在于，提供一种在由相互之间厚度不同的分割靶材构成的溅射靶中，能够容易地从各分割靶材的邻接部所形成的间隙中去除粘合材料的溅射靶。本发明的溅射靶是一种通过粘合材料，将由多个分割靶材构成的靶材与背板接合为一体的溅射靶，其特征在于，所述背板被形成为截面呈近似凸状，同时在所述分割靶材中的设置于所述溅射靶端部的端部分割靶材被形成为，截面呈近似L字状，并且所述端部分割靶材之外的分割靶材被形成为平板状。
溅射