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[发明专利]一种实时检测晶圆清洗设备、使用方法及检测方法-CN202310899812.3在审
发明人：许峯嘉;蔡嘉雄;陈大鹏;殷正旭 -专利权人：创微微电子（常州）有限公司
申请日： 2023-07-21 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明属于晶圆清洗技术领域，具体涉及一种实时检测晶圆清洗设备，包括：夹持部；若干转动设置在所述夹持部上方的喷淋臂，所述喷淋臂的端部设置有喷淋嘴；转动设置在所述夹持部上方的救货部；若干第一检测部，所述第一检测部设置在所述喷淋臂上，所述第一检测部适于检测所述喷淋嘴的喷液状态；第二检测部，所述第二检测部设置在所述夹持部的上方，所述第二检测部适于检测夹持部上的晶圆本体的清洗状态；终端控制器，所述终端控制器分别与所述喷淋臂的驱动装置、所述救货部的驱动装置、所述第一检测部和所述第二检测部电性连接，通过终端控制器，能够在发生异常时，控制救货部喷出救货介质来实现晶圆本体的补救。
一种实时检测清洗设备使用方法方法

[实用新型]一种用于晶圆旋转背洗结构及晶圆清洗设备-CN202320265796.8有效
发明人：左国军;邱开宇;陈大鹏;王雨;殷正旭 -专利权人：创微微电子（常州）有限公司
申请日： 2023-02-21 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型属于清洗技术领域，具体涉及一种用于晶圆旋转背洗结构及晶圆清洗设备，包括：支撑部，所述支撑部适于对晶圆进行支撑，并且所述支撑部适于带动支撑的晶圆旋转；背洗部，所述背洗部设置在所述支撑部上，所述背洗部适于在晶圆表面进行清洗时对晶圆的背面进行清洗；阻隔部，所述阻隔部设置在所述支撑部上，所述阻隔部适于在支撑部带动晶圆旋转时阻隔污染；结构紧凑，减少占用空间，并且通过阻隔部中的氮气阻隔层防止结构内部颗粒溢出到清洗区污染晶圆，通过背洗部使得晶圆背面可实现全区域水洗干燥。
一种用于旋转结构清洗设备

[实用新型]一种用于晶圆背洗结构及清洗设备-CN202320265929.1有效
发明人：左国军;邱开宇;陈大鹏;王雨;殷正旭 -专利权人：创微微电子（常州）有限公司
申请日： 2023-02-21 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型属于晶圆清洗技术领域，具体涉及一种用于晶圆背洗结构及清洗设备，包括：壳体、吸附部和背洗部；所述吸附部设置在所述壳体上，所述吸附部适于对晶圆进行吸附；所述背洗部设置在所述壳体内，所述背洗部适于向吸附的晶圆背面喷洒气体和液体；增加喷水和吹氮气，以通过纯水去除残留药液，氮气可以干燥，同时可以阻隔酸性气体进入内部结构，避免晶圆正面清洗时对晶圆的背面造成污染。
一种用于晶圆背洗结构清洗设备

[实用新型]一种可调节压力控制的减震装置及采用该装置的压合机-CN202123072979.8有效
发明人：邱春潮;樊腾飞;殷正旭 -专利权人：温康纳（常州）机械制造有限公司
申请日： 2021-12-08 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： B29C65/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及压合机技术领域，尤其是一种可调节压力控制的减震装置及采用该装置的压合机。一种可调节压力控制的减震装置，包括用于支撑的两组侧板，每一个侧板上固定安装有下压辊固定座，下压辊固定座之间通过轴活动安装有下压辊，下压辊固定座中部的通孔内穿过导杆，导杆的顶端固定有上压辊固定座，上压辊固定座之间通过轴活动安装有上压辊。这种可调节压力控制的减震装置及采用该装置的压合机将上压辊的压力组件有对应的碟簧提供向下的弹力，在接触到板材的瞬间，整个上压辊能够向上移动，有效的缓解板材接触的时候产生的冲击力，使钢性的冲击变成柔性的缓冲弹力，有效的保护了对应的压力组件，延长了使用寿命。
一种调节压力控制减震装置采用压合机