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- [发明专利]片材剥离装置及片材剥离方法-CN202210920486.5在审
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增田诚
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株式会社高鸟
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2022-08-02
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2023-04-04
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H01L21/683
- 本发明提供能够减少剥离所需的成本且能够抑制晶圆等板状部件破损的片材剥离装置及片材剥离方法；片材剥离装置(1)具有保持粘贴有片材(S)的板状部件(W)的保持台(10)、尖端部(21)、能够保持片材(S)的剥离起始端部(S1)的第一片材保持部(30)、以及沿片材(S)的宽度方向设置的第二片材保持部(40、40)；尖端部(21)能够通过水平移动而从水平方向与侧端面(S2)卡合，并能够通过向上方移动而牵拉片材(S)从而形成剥离起始端部(S1)；第一片材保持部(30)能够通过夹持剥离起始端部(S1)并向上方移动而将剥离起始端部(S1)向上方侧拉起，第二片材保持部(40、40)能够沿宽度方向夹持剥离起始端部(S1)的宽度方向两侧，并通过向剥离方向另一端侧移动而将片材(S)剥离。
- 剥离装置方法
- [发明专利]加工液罐、加工装置、线锯以及研磨装置-CN202111137644.1在审
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远藤孝司;村山谅;植村奈保树;安原慎
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株式会社高鸟
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2021-09-27
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2023-01-10
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B28D1/08
- 本发明提供一种能够通过使加工液均匀地分散而提高加工精度和加工效率的加工液罐、加工装置、线锯以及研磨装置；加工液罐(1)具有：筒状的周壁部(2)、形成加工液罐(1)的底面的底部(3)、搅拌轴(11)、使搅拌轴(11)旋转的电机(12)、支撑在搅拌轴(11)的一端侧的搅拌叶片(10)、以及在搅拌叶片(10)的旋转区域的外侧的区域中，以从周壁部(2)的内面突出的方式形成的至少一个挡板(20)；搅拌叶片(10)具有以搅拌轴(11)为基准对称地朝向径向一侧和另一侧延伸而形成的板状部件(13)，挡板(20)的上端侧配置在所述加工液的液面以上的高度，下端侧配置为与所述底面分离；搅拌叶片(10)的总长形成为周壁部的内径的25％～45％的长度；搅拌叶片(10)具有开孔(16)、突出部(15)以及倒角部(17)。
- 加工装置以及研磨
- [发明专利]粘贴装置和粘贴方法-CN202011090182.8在审
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五网信贵
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株式会社高鸟
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2020-10-13
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2021-04-16
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G02F1/13
- 本发明提供的粘贴装置和粘贴方法，即使是具有弯曲面的被粘物也能够无损且高精度地粘贴粘贴部件；粘贴装置(10)将具有弯曲面(11a)的被粘物(11)与粘贴部件(12)相互粘贴；粘贴装置(10)具有按压被粘物(11)或粘贴部件(12)的至少一方的按压部(30)和支撑被粘物(11)或粘贴部件(12)的任意一方的支撑部(20)；支撑部(20)由多个筒状的单元(22a)并排设置而成的单元集合体(22)构成，单元集合体(22)在所述轴线方向的一端侧形成有具有与被粘物(11)的弯曲面对应的弯曲的弯曲部(25)；支撑部(20)沿弯曲部(25)的弯曲在该弯曲部(25)上支撑被粘物(11)或粘贴部件(12)的任意一方，按压部(30)沿弯曲部(25)的弯曲按压另一方。
- 粘贴装置方法
- [发明专利]线锯以及线锯的卷线方法-CN201710893350.9在审
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米田竜也
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株式会社高鸟
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2017-09-27
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2018-04-10
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B28D5/04
- 本发明提供一种线锯以及线锯的卷线方法，即使在工件切断时，线的线径发生了磨损而变细，也可追随于线的线径变化来控制线的卷取间距。线锯包括一对卷轴，进行固定磨粒线的放出及卷取；槽辊；以及导线辊，沿卷轴的轴线方向移动，以规定的间距来引导线，所述线锯是使线单向或往复行走，将工件按压至槽辊间的线以切断工件，其中，所述线锯设有测定部件，设在卷轴、与槽辊间的放出侧及卷取侧的至少一侧，测定线的线径；以及控制部件，根据由测定部件所测定出的线的线径，来算出卷取间距，通过以由控制部件所算出的卷取间距来移动导线辊，由此，将线卷取至成为卷取侧的卷轴。
- 以及方法
- [发明专利]片材剪断装置-CN201410286905.X有效
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赤阪恭良;西川政辉;森冈晃一;堀口茂春
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株式会社高鸟
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2014-06-24
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2017-09-26
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B26D1/06
- 本发明提供一种片材剪断装置，该片材剪断装置消除了剪断刀的无用上升，使剪断效率提高。剪断头由剪断头固定框架、片材按压机构、升降框架、设置于升降框架上的剪断刀往复移动机构、使升降框架在最上升端的第一位置和最下降端的第二位置之间进行升降的剪断刀升降单元构成。片材按压机构设置于与升降框架离开的固定框架上，具备片材按压件升降单元和与片材按压件一体升降的检测板。升降框架具备检测板的检测用传感器。传感器和检测板配置成，检测在第一位置和第二位置之间的刀尖与片材按压件的底面隔开规定间隔所处的第三位置，当升降框架上升至第三位置时，通过传感器的检测而停止升降框架的上升，剪断头能够在剪断图形间移动。
- 剪断装置
- [发明专利]保护胶带的剥离装置-CN201010230381.4有效
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土谷昌孝;原田和哉;本郷达也
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株式会社高鸟
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2010-07-15
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2011-02-09
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H01L21/00
- 一种保护胶带剥离装置包括保持基板(2)的剥离台(10)、辊状剥离胶带(5)的供给机构(11)、胶带卷绕机构(12)、贴附辊(27)、将剥离胶带(5)贴附到保护胶带(4)的剥离前端侧之后切断剥离胶带(5)的贴附后方侧的切刀(32)、保持剥离胶带(5)的切刀台(29)以及在后方保持剥离胶带(5)的剥离胶带保持机构(25)，将剥离胶带(5)贴附到保护胶带(4)的剥离前端侧而剥离该保护胶带(4)，并且利用切刀(32)来切断该剥离胶带(5)的贴附后方侧，将切断后方侧的剥离胶带(5)前端部贴附到保护胶带(4)的剥离后端侧，一边利用剥离胶带(5)来连结保护胶带(4)一边将其剥离。
- 保护胶带剥离装置
- [发明专利]基板传送方法及其装置-CN200610170010.5无效
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妙见治彦;小西善久;堀口茂春
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株式会社高鸟
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2006-12-22
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2007-07-11
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G02F1/1333
- 本发明提供一种基板传送方法，在传送基板时即便是小型基板也不会落下，且传送装置的成本不会增加。另外，对基板的清洗及干燥效果不会变差，装置维护性得以提升，并且对基板进行清洗时，即使提高清洗水压、气压也不会导致基板曲折行进或落下等。在基板(A)的传送路径的上下配置多根轴心和传送路径正交的支撑辊(20)，在各支撑辊(20)与相邻支撑辊(20)之间跨架多条与传送路径平行的循环状的传送圆皮带(21)，并在由传送路径上下的传送圆皮带(21)、(21)夹持基板A的状态下使支撑辊(20)旋转，从而沿着传送路径传送基板(A)。
- 传送方法及其装置
- [发明专利]利用线锯的切割方法及线锯的切割工件支承构件-CN200610160988.3无效
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松田武晴
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株式会社高鸟
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2006-12-11
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2007-06-20
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B26D1/553
- 本发明提供一种利用线锯的切割方法，可以防止在切割时晶片之间相互贴附，而进行精度较好的切割，并且可以防止在切割时晶片发生破裂，而有效地将晶片分片且提高晶片的洗净性。本发明的利用线锯的切割方法，是使卷绕在工件滚筒(10)间的金属线列的金属线(A)高速地往复运动或单向移动，并将工件(B)按压在该金属线列上而切割成多片晶片状。并且，在切割上述工件(B)的金属线列的正下方位置处，配置有以与上述金属线列的金属线相同的间距而设有多个支撑金属线(34)的支承构件(27)。从而，将由金属线(A)从工件(B)上切割出的晶片(b)在分片的状态下，收纳到支承构件(27)的各支撑金属线(34)之间。
- 利用切割方法工件支承构件
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