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- [发明专利]工件直径测量方法和工件圆度测量机-CN202180011436.9有效
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富田贡丞;高梨陵
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株式会社东京精密
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2021-02-10
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2023-10-27
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G01B5/08
- 提供可以在不使用模范件和具有长行程的水平臂的情况下对具有大直径的工件执行直径测量的工件直径测量方法和圆度测量机。该方法包括：第一检测步骤：在探头在该探头的位移方向上从一侧与未被校准的基准器的周向面接触的状态下，在使该基准器与检测器围绕旋转中心相对于彼此旋转的同时检测探头的位置；第二检测步骤：在探头在位移方向上从另一侧与基准器的周向面接触的状态下，在使基准器与检测器围绕旋转中心相对于彼此旋转的同时检测探头的位置；旋转中心计算步骤：基于在第一检测步骤和第二检测步骤中所检测的探头的位置，来计算旋转中心的位置；第三检测步骤：在探头从另一侧与工件接触的状态下，使工件与检测器围绕旋转中心相对于彼此旋转；和直径计算步骤：计算工件的周向面的直径。
- 工件直径测量方法测量
- [发明专利]胶带粘贴系统-CN202180094439.3在审
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木崎清贵;金泽雅喜;青木仁
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株式会社东京精密
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2021-11-12
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2023-10-20
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H01L21/683
- [问题]提供一种胶带粘贴系统，能够自动地实施切割胶带的切换与交换。[解决方案]胶带粘贴系统(1)包括：储存器(5)，该储存器(5)用于储存多个胶带盒(4)，这些胶带盒(4)各自收纳呈辊状卷绕的切割胶带(DT)；粘贴装置(3)，该粘贴装置(3)具有将切割胶带(DT)的引出区域(R)限制到预定轨道的可动导向辊(32a)、(32b)，固定导向辊(33a)、(33b)以及刀板(35)，上述胶带盒(4)能够换装，上述粘贴装置(3)将切割胶带(DT)粘贴在切割支架(DF)以及工件(W)上；以及第一运送机器人(6)，该第一运送机器人(6)在储存器(5)和粘贴装置(3)之间传递胶带盒(4)。
- 胶带粘贴系统
- [发明专利]工件搬运装置-CN202310309912.6在审
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金城裕介
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株式会社东京精密
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2023-03-27
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2023-10-17
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H01L21/677
- 本发明提供即使是具有翘曲的工件也无需与工件的形成器件的面的整体接触而能够可靠地使工件吸附于工作台而进行交接的工件搬运装置。工件搬运装置(10)具备：搬运臂；工件吸附部(54)，其设置于搬运臂；以及橡胶构件(60)，其是设置于搬运臂的环状的橡胶构件(60)且具有锥形面，该锥形面能够与被工件吸附部(54)保持的工件(W)的外缘部的整体抵接，并且趋向工件(W)被工件吸附部(54)保持的一侧而扩径。
- 工件搬运装置
- [发明专利]保持装置以及搬运装置-CN202310317534.6在审
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筱原大也;清水翼
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株式会社东京精密
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2023-03-27
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2023-10-17
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H01L21/683
- 本发明提供在直接搬运方式中即使在保持刚性较低的工件的情况下也能够稳定且可靠地保持工件的保持装置以及搬运装置。保持装置(10)具备垫(12)、垫支承体(14)、以及与垫(12)连通并在垫(12)与工件(100)之间产生负压的吸引路(40)，垫(12)具有相对于垫支承体(14)固定的固定区域(12a)以及未相对于垫支承体(14)固定且能够发生挠性变形的非固定区域(12b)。搬运装置(70)具备多个保持装置(10)，并搬运由多个保持装置(10)保持的工件(100)。
- 保持装置以及搬运
- [发明专利]研磨终点检测装置和CMP装置-CN202310323173.6在审
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藤山秀人;山田创士;中田悠词
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株式会社东京精密
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2023-03-29
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2023-10-17
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B24B37/013
- [课题]本发明提供一种研磨终点检测装置和CMP装置，其将研磨中的工件的膜厚以短时间进行高精度地检测。[解决方案]研磨终点检测装置(10)包括固定侧镜筒(25)、旋转侧镜筒(26)和传感头(22)，固定侧镜筒(25)设置于压板(2)外，经由第1光纤(24)分别与光源(21)及分光装置(23)连接，旋转侧镜筒(26)设置于压板(2)上，与固定侧镜筒(25)之间以无线方式传送光，传感头(22)收容于形成于压板(2)及研磨垫(5)中的观测孔(8)内，并且经由第2光纤(27)与旋转侧镜筒(26)连接，在工件(W)从观测孔(8)上通过时朝向工件(W)照射测定光，接收来自工件(W)的反射光。
- 研磨终点检测装置cmp
- [发明专利]卡盘-CN202310305886.X在审
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元山崇;播本和也
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株式会社东京精密
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2023-03-27
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2023-10-17
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H01L21/687
- 本发明提供一种能够实现保持晶片的保持面的温度均匀化的卡盘。卡盘具备：导入流路(52)，其将从空气导入口(30)导入的空气引导至分散配置于至少3个部位的热交换位置(46、48、50)；以及导出流路(54)，其将被引导至各热交换位置(46、48、50)的空气引导至空气导出口(34)。通过将各热交换位置(46、48、50)处的导入流路(52)的截面积形成为比导出流路(54)的截面积大，由此在各热交换位置(46、48、50)设置热交换促进面(68)。
- 卡盘
- [发明专利]扩张保持环拆卸夹具以及扩张保持环拆卸方法-CN202310313354.0在审
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曾田阳彦;清水翼
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株式会社东京精密
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2023-03-27
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2023-10-17
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B25B11/00
- 本发明提供能够在不损伤扩张保持环的情况下将扩张保持环从框架拆卸的扩张保持环拆卸夹具以及扩张保持环拆卸方法。扩张保持环拆卸夹具具备：基座构件(12)，其具有外嵌保持扩张保持环(100)的环状的保持槽(24)、以及设置于比保持槽(24)靠内侧的位置且对通过扩张保持环(100)而成为扩张状态的切割带(4)进行支承的片材支承面(26)；以及片材按压构件(14)，其具有在与片材支承面(26)对置的位置设置的片材按压面(34)，基座构件(12)在比保持槽(24)靠内侧的位置且比由片材按压面(34)按压切割带(4)的按压位置靠外侧的位置具有用于供刀具(16)避让的环状的避让槽(38)。
- 扩张保持拆卸夹具以及方法
- [发明专利]圆晶加工装置-CN202310215231.3在审
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间濑文雄
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株式会社东京精密
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2023-03-06
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2023-09-29
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B24B41/06
- 提供一种圆晶加工装置，其形成下述的结构：通过抑制对卡盘和卡盘基座进行固定的固定螺钉的热膨胀，能够减少轴向力变化而高精度地进行加工。该圆晶加工装置包括：恒温冷却水源(23)，该恒温冷却水源(23)对卡盘台(12)供给恒温冷却水而将卡盘(15)保持为大致恒温；以及环状的罩(27)，该环状的罩(27)以至少覆盖卡盘(15)的外周侧面整体的方式设置，将从卡盘台(12)的外周侧面排出的恒温冷却水储存在该环状的罩(27)与卡盘台(12)的外周侧面之间，供给至固定螺钉(17)侧。
- 加工装置
- [发明专利]切割胶带的张力异常检测装置和方法-CN202180093102.0在审
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木崎清贵
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株式会社东京精密
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2021-11-12
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2023-09-29
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H01L21/683
- [课题]本发明提供一种切割胶带的张力异常检测装置及方法，其能够定量地判定切割胶带的张力是否适当，从而准确地检测切割胶带的张力异常。[解决方案]张力异常检测装置(4)包括：空气测微计(41)，该空气测微计(41)根据对切割胶带(DT)中的未粘贴有工件(W)的测定点(P)喷射空气时的切割胶带(DT)的位移，测定测定点(P)处的切割胶带(DT)的张力；判定部(42)，该判定部(42)在测定点(P)处的切割胶带(DT)的张力处于预先设定的切割胶带(DT)的张力的适当范围内的场合，判定为切割胶带(DT)的张力适当，在测定点(P)处的切割胶带(DT)的张力不处于适当范围内的场合，判定为切割胶带(DT)的张力异常。
- 切割胶带张力异常检测装置方法
- [发明专利]加工装置-CN202310217520.7在审
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间濑文雄;金泽雅喜
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株式会社东京精密
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2023-03-08
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2023-09-26
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B24B27/00
- 本申请提供一种加工装置，可降低粗磨削的影响而进行精磨削，以高精度加工工件。一种加工装置(1)，其具有：分度工作台(2)，具备用于吸附保持工件(W)的多个卡盘(22)，该分度工作台(2)按照下述顺序输送工件(W)，该顺序为，用于对工件(W)进行粗磨削的粗磨削机构(5)所设置的粗磨削台(S2)、用于对工件(W)进行中磨削的中磨削机构(6)所设置的中磨削台(S3)、用于对工件(W)进行精磨削的精磨削机构(7)所设置的精磨削台(S4)；第一立柱(31)，该第一立柱(31)设置成横跨分度工作台(2)的上部，由粗磨削机构(5)或精磨削机构(7)中的一者所设置；第二立柱(32)，该第二立柱(32)由中间磨削装置(6)所设置，粗磨削机构(5)和精磨削机构(7)中的另一者与该中磨削装置(6)并列设置。
- 加工装置
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