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[发明专利]激光加工装置及激光加工方法-CN201580028164.8有效
发明人：坂本刚志;伊崎泰则;松永麻美子 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2015-03-30 - 公布日： 2019-10-01 - 主分类号： H01L21/301 文献下载
摘要：激光加工装置(300)具备射出激光(L)的激光光源(202)、将激光(L)聚光于加工对象物(1)的聚光光学系统(204)、以及以激光(L)至少被分支为第1加工光以及第2加工光并且第1加工光被聚光于第1聚光点且第2加工光被聚光于第2聚光点的方式对激光(L)进行调制的反射型空间光调制器(203)。若将加工对象物(1)的表面(3)上的第1加工光的半径设为(W1)，将该表面(3)上的第2加工光的半径设为(W2)，将在从与该表面(3)垂直的方向观察的情况下的第1聚光点和第2聚光点的距离设为(D)，则反射型空间光调制器(203)以满足D＞W1+W2的方式调制激光(L)。
激光加工装置方法

[发明专利]激光加工装置及激光加工方法-CN201580028163.3在审
发明人：坂本刚志;伊崎泰则;松永麻美子 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2015-03-30 - 公布日： 2017-02-15 - 主分类号： B23K26/53 文献下载
摘要：激光加工装置(300)具备射出激光(L)的激光光源(202)、将激光(L)聚光于加工对象物(1)的聚光光学系统(204)、对激光(L)进行调制以使激光(L)被分支成至少包含第1加工光及第2加工光的0次光及±n次光(n为自然数)并且第1加工光被聚光于第1聚光点且第2加工光被聚光于第2聚光点的反射型空间光调制器(203)、以及将被聚光于加工对象物(1)的0次光及±n次光中相对于第1加工光及第2加工光而被聚光于外侧的光遮断的光遮断部(220)。
激光加工装置方法