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[发明专利]基板检查装置-CN202180024725.2在审
发明人： 松川俊英;伊砂隆志 -专利权人：日本电产理德股份有限公司
申请日： 2021-03-25 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：基板检查装置包括：旋转平台，具有载置面；旋转平台支撑部；吸附机构，具有抽吸装置以及一端侧连接于抽吸装置且另一端侧位于载置面的抽吸路，通过抽吸装置来对抽吸路内的气体进行抽吸，由此，将电路基板吸附于载置面；流量检测部，对在抽吸路中流至位于旋转平台支撑部内的部分的气体的流量进行检测；流量判定部，判定由流量检测部所检测出的气体的流量是否为规定值以上；非接触检测部，非接触地检测载置面上的电路基板的配置状态；以及检查部，根据流量判定部及非接触检测部得出的检测结果来进行电路基板的检查。
检查装置

[发明专利]晶圆装卸机用配接器-CN202180020741.4在审
发明人： 松川俊英;伊砂隆志 -专利权人：日本电产理德股份有限公司
申请日： 2021-03-11 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明的晶圆装卸机用配接器1是能够固定于晶圆装卸机100的载置台上的晶圆装卸机用配接器。所述晶圆装卸机用配接器1具有能够保持晶圆匣200的保持部10，所述晶圆匣200能够收容多片电路基板。保持部10能够固定于晶圆装卸机100的载置台上。保持部10具有用于将晶圆匣200定位于基准位置X的位置调整机构15。基准位置X是在固定于晶圆装卸机用配接器1上的晶圆匣200中，自晶圆匣200内取出电路基板时的晶圆装卸机用配接器1侧的基准位置。
装卸机用配接器

[发明专利]图像处理装置、图像处理方法、及检查装置-CN202210267219.2在审
发明人： 松川俊英;赤阪健一;中村宏典;辻本正之 -专利权人：日本电产理德股份有限公司
申请日： 2022-03-18 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： G06T5/00 文献下载
摘要：一种图像处理装置、图像处理方法、及检查装置，容易对垫配置经高密度化的检查对象物进行定位。对多个垫沿着X方向相连的垫列在Y方向上并排形成多列的检查对象物设定定位的基准点的图像处理部包括：垫区域提取部，执行从检查对象物的图像中提取包围多个垫的大致矩形形状的垫区域的垫区域提取处理；虚拟直线设定部，执行与垫区域的在X方向上延伸的边平行地设定虚拟的第一直线，并与垫区域的在Y方向上延伸的边平行地设定虚拟的第二直线的虚拟直线设定处理；及基准点设定部，执行将第一直线与第二直线的交点设定为基准点的基准点设定处理。
图像处理装置方法检查

[发明专利]基板检查装置-CN201880081787.5在审
发明人：生野裕仁;松川俊英 -专利权人：日本电产理德股份有限公司
申请日： 2018-11-27 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本发明包括：基板保持构件2，保持作为检查对象的基板10；检查夹具4a、检查夹具4b，具有可动板6a、可动板6b以及支撑所述可动板6a、可动板6b的支撑构件7，所述可动板6a、可动板6b具有与所述基板保持构件2所保持的基板10的检查对象部13D、检查对象部13U接触的接触部63、63；以及升降驱动机构5a、升降驱动机构5b，使所述检查夹具4a、检查夹具4b升降移位，从而使所述可动板6a、可动板6b移动至所述接触部63、63接近所述检查对象部13D、检查对象部13U的检查待机位置，本发明中，在所述支撑构件7上设置有轴支部8以及摆动驱动部，所述轴支部8包括以能够摆动的方式支撑所述可动板6a、可动板6b的支撑轴81，所述摆动驱动部使所述可动板6a、可动板6b以所述支撑轴81为支点进行摆动移位，从而使所述接触部63、63与所述检查对象部13D、检查对象部13U接触。
检查装置

[发明专利]柔性基板检测装置-CN201510116565.0有效
发明人：中川隆;松川俊英;疋田理;戒田理夫 -专利权人：日本电产理德股份有限公司
申请日： 2015-03-17 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本发明提供一种可以对柔性电路基板顺利地进行检测，同时能容易实现简化及轻量化的基板检测装置。对柔性基板进行检测的基板检测装置具有输送路径和检测部机构。在输送路径中，连续地输送由多个单位基板排列配置的柔性基板。检测部机构可使用于检测在输送路径上输送的柔性基板的夹具接近/远离柔性基板。输送路径包含向垂直下方输送柔性基板的纵向输送部分。检测部机构对于在纵向输送部分所输送的所述柔性基板，以垂直柔性基板的方向移动夹具，从而使该夹具接近/远离柔性基板。
柔性检测装置

[发明专利]基板检测夹具设计方法，基板检测夹具及基板检测装置-CN201510190506.8有效
发明人：戒田理夫;松川俊英;藤野真;疋田理 -专利权人：日本电产理德股份有限公司
申请日： 2015-04-21 - 公布日： 2019-07-16 - 主分类号： G01R1/04 文献下载
摘要：本发明提供检测夹具设计方法，通过该方法可以补偿基于基板制造过程中由伸缩而引起的位置偏差。基板检测夹具设计方法是用于设计具有接触端子的基板检测夹具，且接触端子能导通接触检测对象基板的检测点。基板检测夹具设计方法包含第1设计工序、伸缩率获取工序以及第2设计工序。在第1设计工序中，基于作为检测对象的基板的设计数据，编成初步设计基板检测夹具的初步设计数据。在伸缩率获取工序中，基于基板的制造条件，获取所述基板的伸缩率。在第2设计工序中，将初步设计数据以伸缩率缩放，由此获取实际制造基板检测夹具的设计数据。
检测夹具设计方法装置

[发明专利]触控面板检测装置-CN201510028620.0在审
发明人：坂本幸治;松川俊英;岩见功司;藤田茂树;疋田理 -专利权人：日本电产理德股份有限公司
申请日： 2015-01-20 - 公布日： 2015-07-29 - 主分类号： G06F3/041 文献下载
摘要：一种触控面板检测装置，其能容易且灵活地改变模拟手指在触控面板上的接触力而进行检测。触控面板检测装置包含：工件夹具；模拟手指；XY移动机构；记忆部；电动气压调节器；以及面板信号获取部。在工件夹具可以设置检测对象物即触控面板。模拟手指可以接触在工件夹具设置的触控面板。XY移动机构可以使模拟手指相对于触控面板移动。记忆部可变更地存储模拟手指的施加压力设定值。电动气压调节器基于记忆部所存储的设定值，调整使模拟手指接触触控面板的施加压力。面板信号获取部获得触控面板输出的电信号。
面板检测装置

[发明专利]接触装置-CN201410452614.3无效
发明人：中川隆;松川俊英 -专利权人：日本电产理德股份有限公司
申请日： 2014-09-05 - 公布日： 2015-03-25 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：提供了一种能实现可动部件(或设置在可动部件的其他部件)以加压力为零与对象物相接触之状态的接触装置。接触装置所包括的接触头部包括：接触杆、壳体、推力空气路径和抵消空气路径。壳体根据静压空气轴承能支撑接触杆做直线移动，由此接触杆能与对象物相接触。若向推力空气路径供给压缩空气，则使靠近对象物之方向的力作用于接触杆，若向抵消空气路径供给压缩空气，则使相反方向的力作用于接触杆。控制部在接触杆与对象物相接触的状态下，通过控制推力空气路径的压缩空气压力和抵消空气路径的压缩空气压力，使对于对象物的加压力为零。
接触装置

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