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[实用新型]一种低损伤磁控平面阴极-CN202321124799.6有效
发明人：王雨鑫;张奇龙;李伟 -专利权人：江苏利成精密科技有限公司;杭州朗为科技有限公司
申请日： 2023-05-11 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型提供一种低损伤磁控平面阴极，包括基座、平面阴极组件、接地阳极和辅助阳极；所述基座任意角度放置，所述平面阴极组件固定连接在基座顶端相对位置，所述平面阴极组件相对一侧两端分别固定连接有挡板，所述挡板与平面阴极组件固定连接形成工作腔，所述工作腔顶部呈开口设置，本实用新型的两个平面阴极相对布置，基片与靶材垂直，靶材分子自由扩散沉积到基片，能量小，对基片损伤小，两个平面阴极互为闭合磁场，增加离化率,提高膜层附着力，电阻率，接地阳极可以吸收飞向基片的电子，减少电子对于基片的加热作用，辅助阳极接正电，0‑30V可调，基本可以完全吸收飞向基片的电子，消除电子对于基片的加热作用。
一种损伤平面阴极

[实用新型]一种低损伤磁控旋转阴极-CN202321124804.3有效
发明人：王雨鑫;张奇龙;李伟 -专利权人：江苏利成精密科技有限公司;杭州朗为科技有限公司
申请日： 2023-05-11 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型提供一种低损伤磁控旋转阴极；包括底板和阳极框；底板任意位置放置，阳极框固定连接在底板顶端，阳极框内设置有与底板顶面固定连接的水冷阳极板，水冷阳极板上开设有第一通口，第一通口内设置有与底板固定连接的气路板，底板上靠近水冷阳极板一端固定连接有若干第一支撑件，底板上靠近水冷阳极板另一端固定连接有若干第二支撑件；本实用新型通过设置旋转阴极使靶材与基片垂直，从而可以使靶材分子自由沉积到基片上，避免了对基片的损伤靶材与水冷阳极板在电极的不同的作用下会形成一个电回路，使靶材附近的电子被水冷阳极板吸收，从而来降低溅射区域的温度。
一种损伤旋转阴极

[发明专利]一种端头绝缘磁场可调的旋转阴极-CN202110968332.9有效
发明人：张奇龙;李伟 -专利权人： 杭州朗为科技有限公司
申请日： 2021-08-23 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明属于磁控溅射镀膜技术领域，具体的说是一种端头绝缘磁场可调的旋转阴极，包括转轴；所述转轴上固接有从动轮；所述从动轮上啮合有传动皮带；所述传动皮带另一侧啮合有驱动轮；所述驱动轮固接在电机的输出端；所述转轴的一侧固接有磁路壁；通过在磁路壁侧面设置磁场调节机构，旋转机构内的调节螺母，使得螺杆带动磁铁靠近或远离靶材的结构设计,实现了可对磁场的大小进行调节的功能，解决了现有的旋转阴极在使用的过程中，由于磁场的大小无法调节，使得镀膜工艺的局限性较大，更换磁铁的工艺较为繁琐，使得镀膜的效率较低，且可镀膜的范围很小的问题。
一种端头绝缘磁场可调旋转阴极

[实用新型]一种磁钢盒-CN202222322924.6有效
发明人：张奇龙;李伟 -专利权人： 杭州朗为科技有限公司
申请日： 2022-09-01 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： B65D21/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及磁钢技术领域，且公开了一种磁钢盒，包括盒体，所述盒体下端内表面靠近左侧的位置开设和有第一插槽，所述盒体上第一插槽下端内表面活动插设有横板，所述横板上端外表面开设有凹槽，所述盒体下端内表面靠近前端的位置开设有第二插槽，所述盒体上第二插槽下端内表面活动插设有竖板，所述盒体上端外表面靠近左侧的位置开设有固定槽，所述盒体上固定槽内表面固定连接有密封垫，所述盒体上端外表面活动连接有盖板。该磁钢盒，具备根据磁钢大小对自身存放空间进行调节，方便拆装等优点，解决了多块磁钢在同一个空间可能会使得磁钢之间相互碰撞造成损耗，不能在不破坏磁钢盒的情况下将磁钢取出的问题。
一种磁钢

[实用新型]一种镀膜机-CN202222313666.5有效
发明人：张奇龙;李伟 -专利权人： 杭州朗为科技有限公司
申请日： 2022-09-01 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及镀膜技术领域，且公开了一种镀膜机，包括机身，所述机身的前表面活动安装有舱门，所述舱门的前表面固定安装有把手，所述机身的内部设置有旋转机构，所述机身的内部上表面设置有镀膜机构。传统镀膜机是需要在较高真空度下进行的镀膜，从电机带着转盘旋转并带着活动杆围绕蒸发源公转，自转盘对活动杆限位，齿轮在限位转套的齿圈内带着活动杆自转，将挂钩上的物品呈膜均匀，完成了对物品的全面镀膜的目的，通过对需要镀膜的物品进行旋转，来准确把握物品表面镀膜的均匀，并且可对各种形状的物品进行镀膜，避免了因镀膜不均匀影响物品的使用寿命，并且可以有效提升物件的外观美感。
一种镀膜

[实用新型]一种用于连接平面阴极的阳极水冷机构-CN202123156211.9有效
发明人：张奇龙;李伟 -专利权人： 杭州朗为科技有限公司
申请日： 2021-12-15 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于连接平面阴极的阳极水冷机构，涉及磁控溅射技术领域。本实用新型包括冷水箱，所述冷水箱的内部固定连接有多个制冷片，且冷水箱上安装有输送组件，所述输送组件的输水端安装有冷却板，所述冷水箱的内部固定连接有过滤组件，所述冷却板的外侧开设有多个流通槽，所述输送组件包括固定连接在冷水箱顶部的小型水泵，需要对阳极进行降温时，可在输送组件的运转下，使得输送组件的内部构件将冷水箱内部冷水抽入冷却板内，并通过冷却板对阳极进行降温，随着冷水的输送量增大，使得冷却板内部水通过输送组件的内部构件进入冷水箱内，以此实现冷水循环，继而提高对阳极的降温效率。
一种用于连接平面阴极阳极水冷机构

[实用新型]一种具有充气功能的圆形平面阴极-CN202123140517.5有效
发明人：张奇龙;李伟 -专利权人： 杭州朗为科技有限公司
申请日： 2021-12-13 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有充气功能的圆形平面阴极，涉及磁控溅射技术领域。本实用新型包括环形阴极底板，所述环形阴极底板的顶部固定连接有环形阴极主体，所述环形阴极主体的顶部四周均开设有卡接槽，且环形阴极主体的圆弧内侧固定连接有放置板，所述放置板上安装有靶材板，所述环形阴极主体的顶部安装有可拆卸式的固定板，所述固定板的四角均安装有卡接组件，所述环形阴极主体的内部安装有连接板，当对靶材板上的磁场强度进行调节时，可将外接气管与气顶组件连接，通过对气顶组件进行输气，使得气顶组件内部构件对磁板进行顶置，继而调节磁板与靶材板之间的间距，以便于对靶材板上的磁场进行调节，以提高膜层的均匀性，保证了镀膜产品的产品质量。
一种具有充气功能圆形平面阴极

[实用新型]一种可将气体快速混合均匀用多通接头-CN202123087546.X有效
发明人：张奇龙;李伟 -专利权人： 杭州朗为科技有限公司
申请日： 2021-12-09 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： F16L39/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可将气体快速混合均匀用多通接头，涉及多通接头技术领域。本实用新型包括接头主体，所述接头主体的一侧固定连接有连接盒，且接头主体的另一侧固定连接有主接头，所述连接盒的一侧贯通连接有分流接头，所述主接头的外侧固定连接有夹固组件，通过连接盒内部构件对不同的气体进行初步混合，并通过接头主体内部构件对气体进行二次混合，使得该多通接头内部气体充分混合，使得气体成分混合均匀，继而便于气体的混合输送，当主接头与主接气管进行连接时，可对夹固组件进行驱动，使得夹固组件内部构件对气管进行夹固，继而增强主接头与气管的连接强度，以防止气压将主接气管顶松，以便于气体输送。
一种气体快速混合均匀用多通接头

[实用新型]圆形平面阴极挡板-CN202121768836.8有效
发明人：张奇龙;李伟 -专利权人： 杭州朗为科技有限公司
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种圆形平面阴极挡板，其结构包括支撑杆、挡板和连接机构，其特征在于连接机构设置在支撑杆上，连接机构包括了固定连接装置和转动连接装置，挡板通过固定连接装置与支撑杆连接，转动连接装置与磁控阴极相连接。通过固定连接装置多点固定挡板，来防止摩擦力降低后挡板相对支撑杆转动的问题。
圆形平面阴极挡板

[实用新型]圆形阴极防交叉污染结构-CN202120019833.8有效
发明人：张奇龙;李伟 -专利权人： 杭州朗为科技有限公司
申请日： 2021-01-06 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及圆形阴极防交叉污染结构，包括溅射靶，溅射靶的靶头位于溅射靶靶口，靶口外增设一个防护罩筒，防护罩筒的外形呈矩形片蜷曲形成的筒状，其周长大小与溅射靶靶口的周长一致。该防交叉污染结构，圆筒形的防护罩，其内可以阻挡一部分小弧度飞溅的离子，以免飞入相邻的溅射靶靶头上造成污染，其外可以阻挡相邻溅射靶上小弧度飞溅出来的离子，防止溅射到溅射靶靶头上造成污染，同时防护罩上通过卡箍，采用紧固螺钉固定，可以实现自由摘取和更换。
圆形阴极交叉污染结构

[实用新型]一种新型磁钢盒-CN202120019841.2有效
发明人：张奇龙;李伟 -专利权人： 杭州朗为科技有限公司
申请日： 2021-01-06 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种新型磁钢盒，包括磁钢盒本体，所述磁钢盒本体呈长条形，包括磁钢盒矩形底和磁钢盒弧形顶，所述磁钢盒矩形底包括底面、两长侧面和两短侧面，在磁钢盒矩形底的底面内部设置有磁轭，磁轭上面均匀分布三块磁钢，其中两块边磁钢靠近钢铁盒矩形底的两长侧面，一块中间磁钢位于磁钢盒矩形底中磁轭的正中间，所述磁钢盒矩形底和弧形顶组成密封结构。该磁钢盒设计成特定的外形，可直接在外部进行磁性补充调节，方便快捷。
一种新型磁钢

[实用新型]一种新型结构电刷-CN202120019842.7有效
发明人：张奇龙;李伟 -专利权人： 杭州朗为科技有限公司
申请日： 2021-01-06 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： H01R39/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种新型结构电刷，包括电刷和旋转轴，所述电刷通过编制电缆与电极连接，电刷呈环形，电刷与旋转轴的圆形端面接触连接；该结构的电刷，采用旋转轴的圆形端面与电刷的凹陷环形槽接触，接触面积增大，采用铜质电刷，导电性能好，电刷与电极之间设有支撑杆和压缩弹簧，在压缩弹簧的作用力下，保持了电刷与旋转轴之间的良好接触。
一种新型结构电刷

[实用新型]一种磁路高度调节结构-CN202120019852.0有效
发明人：张奇龙;李伟 -专利权人： 杭州朗为科技有限公司
申请日： 2021-01-06 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种磁路高度调节结构，用于调节圆柱旋转磁控阴极的磁轭和磁路水管之间的磁场大小，所述磁路高度调节结构包括内六角螺钉，调整螺母，连接杆，所述调整螺母上下开口并且中空，上开口略大于下开口，下开口垂直贯穿在磁路水管中，连接杆呈“十”字形，上端柱长于下端柱，且上端柱中具有容纳内六角螺钉的螺纹孔，连接杆的下端柱位于磁轭上的圆柱头螺钉孔中，所述内六角螺钉从调整螺母的上开口安装并与连接柱的上端柱的螺纹孔螺纹连接。该磁路高度调节结构在圆柱旋转磁控阴极产品上可等间距地设置多个，可以进行整体和局部磁场的调节，使得产品应用起来方便，增加了产品应用的灵活性。
一种磁路高度调节结构

[实用新型]一种磁铁筛选测量工装-CN202120019853.5有效
发明人：张奇龙;李伟 -专利权人： 杭州朗为科技有限公司
申请日： 2021-01-06 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： G01R33/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种磁铁筛选测量工装，包括工装底座和筛选探头，所述筛选探头装配在探头螺母上，所述探头螺母夹装在探头夹块上，所述工装底座呈台阶式，所述探针夹块通过固定螺母垂直固定在最底层台阶的滑动底座上，工装底座的最高层台阶上设有磁钢置物台，筛选探头位于磁钢置物台的上方。该工装，可以通过固定螺母调节探头夹块的高度，方便检测不同型号的磁钢，工装结构稳定性，提高了检测的准确性并且提高了检测速度。
一种磁铁筛选测量工装

[实用新型]一种高靶材转化率的圆柱旋转磁控溅射阴极-CN201920349227.5有效
发明人：张奇龙;李伟 -专利权人： 杭州朗为科技有限公司
申请日： 2019-03-19 - 公布日： 2020-05-15 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及圆柱旋转磁控溅射阴极，公开了一种高靶材转化率的圆柱旋转磁控溅射阴极，其核心是阴极磁棒，其包括柱形的中空靶材(1)，靶材(1)的内部设有磁路模块，磁路模块包括磁轭(2)和磁钢组(3)，磁钢组(3)由三道呈一定角度的磁钢(4)组成，相邻磁钢(4)极性相反，磁钢组(3)以中心磁钢为几何中心线对称，中间磁钢与两侧磁钢的夹角均为10°‑15°。本实用新型通过对磁钢(4)的位置进行改进，使得中间磁钢与两侧磁钢的夹角缩小，同时调整磁钢的尺寸与牌号，这样磁控溅射阴极产生的等离子体更加集中，溅射方向更加垂直于基片，使得更多喷溅出的靶材可以沉积到基片而不是挡板上，可以有效的提高靶材(1)转化率，节约成本，同时增加溅射速率。
一种高靶材转化圆柱旋转磁控溅射阴极

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