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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]真空镀膜设备的电控柜及真空镀膜系统-CN202320890109.1有效
发明人： 杨诗锋;彭中业;未钊;周婷婷 -专利权人：中山凯旋真空科技股份有限公司
申请日： 2023-04-19 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H02B1/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空镀膜设备的电控柜及真空镀膜系统，真空镀膜设备的面板嵌入无尘室内，真空镀膜设备的其余部分位于无尘室外，包括：第一电控柜，第一电控柜内配置有强电器件，第一电控柜位于无尘室外且与真空镀膜设备的电源相连；第二电控柜，第二电控柜内配置有弱电器件，第二电控柜的正面设置有操作面板，第二电控柜的正面嵌入无尘室内，第二电控柜的边沿与无尘室的墙壁密封连接，第二电控柜连接真空镀膜设备。第一电控柜安装强电器件，第二电控柜安装弱电器件，实现了强弱电的分离，可以节约无尘室的空间，并且维修时产生的杂物和粉尘不会进入无尘室，保证了无尘室的密封性。
真空镀膜设备电控柜系统

[实用新型]多靶切换溅射装置及溅射镀膜系统-CN202320658649.7有效
发明人：彭中业;杨诗锋;陈培绍 -专利权人：中山凯旋真空科技股份有限公司
申请日： 2023-03-29 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多靶切换溅射装置及溅射镀膜系统，包括：多个溅射靶位，多个溅射靶位上皆设置有溅射靶模块，供电单元，供电单元包括一溅射电源模块、汇流排和多个与溅射靶位一一对应的耦合器，溅射电源模块的输出端电性连接汇流排，多个溅射靶模块的靶电极分别通过对应的耦合器电性连接汇流排；控制模块，控制模块的输出端分别电性连接多个耦合器的控制端以用于控制不同溅射靶位的电源切换。本申请与与常规的溅射系统相比，减少了溅射电源的使用量，在满足多层膜系工艺需求的同时，极大的降低了电源的硬件成本和空间占用，同时可实现自动控制，提高了电源利用率。
切换溅射装置镀膜系统

[实用新型]一种镀膜生产线-CN202221515019.6有效
发明人：陈培绍;彭中业;杨诗锋;李坡 -专利权人：中山凯旋真空科技股份有限公司
申请日： 2022-06-16 - 公布日： 2023-02-21 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种镀膜生产线，包括：多节腔室组件，多节腔室组件依次连接；传输组件，与腔室组件一一对应连接；通信组件，通信组件与传输组件电性连接；控制组件，与通信组件电性连接；位置检测组件，与腔室组件一一对应连接，位置检测组件与传输组件一一对应电性连接。通过位置检测组件控制传输组件的启停，并且控制组件设置传输组件的传输速度，实现将传输组件启动和调速分离控制的效果，有利于降低通信组件的通信负担，缩短通信所需时间，传输组件的调速更加快速，同时，位置检测组件与传输组件一一对应并且位于同一腔室组件，位置检测组件能够及时控制传输组件启停，避免出现延迟问题，提高镀膜生产的可靠性和安全性。
一种镀膜生产线

[实用新型]电控柜-CN202121311376.6有效
发明人：吴标平;彭中业;李坡;杨诗锋 -专利权人：中山凯旋真空科技股份有限公司
申请日： 2021-06-11 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： H02B1/30 文献下载
摘要：本实用新型提出一种电控柜，其中包含柜体、安装板、电气元件；安装板设置于柜体内并设置有线槽，线槽包含分别设置于安装板的正面和背面的正面线槽和背面线槽，正面线槽和背面线槽通过开孔连通；电气元件设置于安装板的正面和背面并具有线缆；正面的线缆沿正面线槽布置，经由开孔延伸至背面线槽，并由柜体的背面引出；背面的线缆沿背面线槽布置，并由柜体的背面引出。据此，本实用新型采用上述布线方式，能够使电控柜的正面不被看到引入的线缆，外观规整美观。再者，本实用新型能够省去线缆的固定件，成本大幅降低，缩短安装时间。
电控柜

[实用新型]一种自动化设备-CN202121677136.8有效
发明人： 杨诗锋;彭中业;李日天 -专利权人：中山凯旋真空科技股份有限公司
申请日： 2021-07-22 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型提供一种自动化设备，包括工艺腔、工艺电源柜、真空机组、系统柜、配电柜、操作柜以及桥架。其中，系统柜和工艺电源柜分别设置在真空机组左右两侧，操作柜与工艺电源柜位于真空机组同一侧，而工艺腔和配电柜真空机组的前后两侧。工艺腔、工艺电源柜、真空机组、系统柜、配电柜、以及操作柜之间通过线管连接工作。最后，再将桥架围绕真空机组设置，桥架用于承载线管。通过将系统各部分进行合理的规划，再利用桥架合理地排布及收纳各管路的连接，使得该自动化设备能大大减少占地面积进而便于搬运，且各部分之间的连接简单美观，大大提高设备的安全性能。
一种自动化设备

[外观设计]真空镀膜机-CN202130378581.3有效
发明人： 杨诗锋;王松沛;李坡 -专利权人：中山凯旋真空科技股份有限公司
申请日： 2021-06-18 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： 15-09 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：真空镀膜机。2.本外观设计产品的用途：用于真空镀膜。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。5.本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位，省略仰视图。
真空镀膜

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