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[发明专利]新型压电式MEMS麦克风的结构及装置-CN202110927935.4有效
发明人：臧俊斌;崔丹凤;薛晨阳;张志东;张增星;李鹏璐;范正 -专利权人：中北大学
申请日： 2021-08-13 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H04R17/02 文献下载
摘要：本发明涉及新型压电式MEMS麦克风的结构及装置，主要涉及麦克风领域。本申请涉及的新型压电式MEMS麦克风的结构，该第一电极层、压电结构层和第二电极层可以在声音信号的作用下，进行振动，使得该第一电极层和第二电极层上的电荷量发生改变，即该麦克风结构的输出电信号发生改变，通过对输出电信号进行检测，可以得到准确的声音信号。利用集成在薄膜硅材表面的压电材料进行能量转换。当薄膜受到气流压迫式，薄膜进行形变并带动压电材质产生形变，压电材质产在物理特性改善时产生电信号进行输出。即本申请通过增加边缘与中心孔隙，使得本申请的麦克风检测声音信号的灵敏度得到提高，进而使得该麦克风输出的与声音相关的电压信号更准确稳定。
新型压电 mems 麦克风结构装置

[发明专利]一种蘑菇云MEMS仿生压电矢量水听器-CN202210813261.X在审
发明人：崔丹凤;薛晨阳;臧俊斌;张志东;段潇雅;李鹏璐;范正;巫春生 -专利权人：苏州恒朝科技有限责任公司
申请日： 2022-07-11 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： G01H11/08 文献下载
摘要：本发明属于防生水听器技术领域，具体为一种蘑菇云MEMS仿生压电矢量水听器，解决了背景技术中的技术问题，其包括蘑菇云型仿生纤毛、硅基底器件层、套筒形硅材衬底和四个感应模块，硅基底器件层覆盖至套筒形硅材衬底的上端口，且套筒形硅材衬底和硅基底器件层之间通过埋氧层相连，硅基底器件层中间镂空形成正交十字梁，蘑菇云型仿生纤毛刚性连接至正交十字梁的中心，四个感应模块分别固定至正交十字梁的四根粱臂上，感应模块从上至下依次包括上电极层、压电层和下电极层。蘑菇云型仿生纤毛的摆动会引起该正交方向上十字梁的形变而基本不会造成另一正交方向上梁的形变，可有效降低交叉灵敏度的干扰。
一种蘑菇云 mems 仿生压电矢量水听器

[实用新型]硅基悬臂梁式MEMS压电麦克风的结构及装置-CN202121890231.6有效
发明人：臧俊斌;崔丹凤;薛晨阳;张志东;张增星;李鹏璐;范正 -专利权人：中北大学
申请日： 2021-08-13 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： H04R17/02 文献下载
摘要：本申请涉及硅基悬臂梁式MEMS压电麦克风的结构及装置，具体而言，涉及麦克风装置领域；本申请提供的硅基悬臂梁式MEMS压电麦克风的结构，结构包括：衬底、第一电极层、压电材料层和第二电极层；由于该第一电极层、压电材料层和第二电极层的形状均为“T”形结构，且该“T”形结构的第一电极层的短端与开口空腔结构的开口位置的边缘连接，使得该第一电极层、压电材料层和第二电极层形成了悬臂梁结构，悬臂梁结构可以在声音的振动的作用下，进行振动，进而使得压电材料层上的电荷发生转移，则使得该第一电极层和第二电极层上的电荷量发生改变，即该麦克风结构的输出发生改变，通过对输出电信号进行检测，可以得到更为准确的声音信号。
悬臂梁 mems 压电麦克风结构装置

[发明专利]硅基悬臂梁式MEMS压电麦克风的结构及装置-CN202110927946.2在审
发明人：臧俊斌;崔丹凤;薛晨阳;张志东;张增星;李鹏璐;范正 -专利权人：中北大学
申请日： 2021-08-13 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： H04R17/02 文献下载
摘要：本申请涉及硅基悬臂梁式MEMS压电麦克风的结构及装置，具体而言，涉及麦克风装置领域；本申请提供的硅基悬臂梁式MEMS压电麦克风的结构，结构包括：衬底、第一电极层、压电材料层和第二电极层；由于该第一电极层、压电材料层和第二电极层的形状均为“T”形结构，且该“T”形结构的第一电极层的短端与开口空腔结构的开口位置的边缘连接，使得该第一电极层、压电材料层和第二电极层形成了悬臂梁结构，悬臂梁结构可以在声音的振动的作用下，进行振动，进而使得压电材料层上的电荷发生转移，则使得该第一电极层和第二电极层上的电荷量发生改变，即该麦克风结构的输出发生改变，通过对输出电信号进行检测，可以得到更为准确的声音信号。
悬臂梁 mems 压电麦克风结构装置