[发明专利]硅基悬臂梁式MEMS压电麦克风的结构及装置在审

专利信息
申请号: 202110927946.2 申请日: 2021-08-13
公开(公告)号: CN113507676A 公开(公告)日: 2021-10-15
发明(设计)人: 臧俊斌;崔丹凤;薛晨阳;张志东;张增星;李鹏璐;范正 申请(专利权)人: 中北大学
主分类号: H04R17/02 分类号: H04R17/02;H04R17/10;H04R19/00;H04R19/04
代理公司: 重庆萃智邦成专利代理事务所(普通合伙) 50231 代理人: 许攀
地址: 030051*** 国省代码: 山西;14
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摘要: 本申请涉及硅基悬臂梁式MEMS压电麦克风的结构及装置,具体而言,涉及麦克风装置领域;本申请提供的硅基悬臂梁式MEMS压电麦克风的结构,结构包括:衬底、第一电极层、压电材料层和第二电极层;由于该第一电极层、压电材料层和第二电极层的形状均为“T”形结构,且该“T”形结构的第一电极层的短端与开口空腔结构的开口位置的边缘连接,使得该第一电极层、压电材料层和第二电极层形成了悬臂梁结构,悬臂梁结构可以在声音的振动的作用下,进行振动,进而使得压电材料层上的电荷发生转移,则使得该第一电极层和第二电极层上的电荷量发生改变,即该麦克风结构的输出发生改变,通过对输出电信号进行检测,可以得到更为准确的声音信号。
搜索关键词: 悬臂梁 mems 压电 麦克风 结构 装置
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  • 黄雨佳;袁永帅;邓文俊;周文兵;廖风云;齐心 - 深圳市韶音科技有限公司
  • 2021-11-25 - 2022-07-01 - H04R17/02
  • 本说明书实施例提供了一种振动传感器,包括:声学换能器、振动组件、壳体以及位于声学换能器和振动组件之间的基板,基板包括沿振动组件的振动方向依次设置的基底层和金属层,基底层位于振动组件和所述金属层之间,金属层在垂直于振动组件振动方向的平面上具有未被基底层覆盖的区域,其中,振动组件与基底层连接,壳体与金属层中未被基底层覆盖的区域连接。该振动传感器通过将壳体与基板的金属层连接可以在不增加振动传感器体积的前提下,提高振动传感器整体的结构强度。
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