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[发明专利]验证利用AEI OVL补偿套刻精度是否有效的方法-CN202310835866.3在审
发明人：姜冒泉;金乐群;李玉华;陈建;李锦茹 -专利权人：华虹半导体（无锡）有限公司
申请日： 2023-07-07 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请提供一种验证利用AEI OVL补偿套刻精度是否有效的方法，包括：若显影后套刻标记图形和刻蚀后套刻标记图形存在所述补偿偏差，则套刻偏差；获取特征图形偏差；根据套刻偏差和特征图形偏差，进行点对点建模以得到拟合曲线，并获取拟合曲线的K值和相关系数R2；根据相关系数R2以及K值，判断利用AEI OVL来补偿套刻精度的方式是否有效。本申请通过套刻偏差和特征图形偏差建模得到拟合曲线，并通过拟合曲线的相关系数R2和K值，判断利用AEI OVL来补偿套刻精度的方式是否有效，确保基于AEI OVL量测反馈的准确性和可靠性，从而改善图层最终真实套刻精度。
验证利用 aei ovl 补偿精度是否有效方法

[发明专利]改善套刻精度的方法-CN202310450454.8在审
发明人：姜冒泉;金乐群;李玉华;陈建;李锦茹 -专利权人：华虹半导体（无锡）有限公司
申请日： 2023-04-25 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种改善套刻精度的方法，提供晶圆，在晶圆上形成有前层结构以及位于前层结构上的当层结构，前层结构上形成有前层套刻标记；在前层结构上形成光刻胶层，光刻打开光刻胶层形成刻蚀图案以及当层套刻标记，之后进行显影后检测，根据前层套刻标记和当层套刻标记获取第一误差；以刻蚀图案为掩膜刻蚀当层结构，用以形成刻蚀后图形，之后进行刻蚀后检测，根据刻蚀后图形获取第二误差，第二误差为刻蚀的偏移量；通过第一、二误差获取补偿值，光刻机的套刻精度补正系统利用补偿值修正当前批次或下一批次晶圆的套刻精度。本发明基于刻蚀后量测特征图形关键尺寸的差异建模表征套刻标记，对当层套刻标记反馈进行补偿，改善了图层套刻精度。
改善精度方法

[发明专利]一种电力公司通信柜维修用组合式工具箱结构-CN201911235762.9在审
发明人：吴浩林;申文栋;张艳菲;胡丽娜;袁亚琴;晋晚贵;赵丽君;刘帅;李锦茹;张羽 -专利权人：国网山西省电力公司晋城供电公司
申请日： 2019-12-05 - 公布日： 2020-03-31 - 主分类号： B25H3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种电力公司通信柜维修用组合式工具箱结构，涉及工具箱技术领域，包括收纳盒的放置盒，所述收纳盒的顶部与放置盒的底部通过定位装置活动连接，所述收纳盒的内部开设有收纳腔，所述收纳腔的内壁设置有存放袋，所述放置盒的内部开设有放置腔和驱动腔，该电力公司通信柜维修用组合式工具箱结构，通过设置定位装置可对放置盒和收纳盒进行展开，使得不同类别的工具可分别放置在放置盒和收纳盒的内部，体积较小的工具可直接放置在放置盒的内部，而体积较大的工具可收纳在收纳盒的内部，使得工作人员找寻所需要的工具的耗时得到缩短，从而缩短的抢修的时间，进一步提高了抢修的效率，保证了通信柜的正常使用。
一种电力公司通信维修组合式工具箱结构

[发明专利]一种电力检修维护登高专用电力工具放置装置-CN201811409343.8在审
发明人：董建军;连建红;孙蓉;晋晚贵;原洁;赵丽君;李锦茹 -专利权人：国网山西省电力公司晋城供电公司
申请日： 2018-11-23 - 公布日： 2019-05-07 - 主分类号： B25H3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种电力检修维护登高专用电力工具放置装置，涉及电力检修技术领域，本发明所要解决的问题是提供了一种电力检修维护登高专用电力工具放置装置，具备防止工具掉落避免伤害他人等优点，解决了耽误维修电力和可能对他人造成伤害的问题，采用的方案包括盒体，盒体的内部开设有容纳腔，盒体的内部一侧固定连接有限位框，盒体内部的另一侧固定连接有侧兜。通过设置限位框、螺旋线缆和工具本体，利用螺旋线缆将工具本体连接在一起，在使用时螺旋线缆会延长，并不妨碍工具本体的使用，使用完后将之放入对应的限位框内部；本发明适用于电力检修技术领域。
电力检修电力工具放置装置工具本体盒体线缆登高限位框工具掉落盒体内部容纳腔伤害维护侧兜放入维修

[实用新型]一种U型头拆装工具-CN201720555690.6有效
发明人：晋晚贵;晋一航;殷吉苗;魏晋蒙;刘帅;孙蓉;李飞;郑重;郭锫骐;原洁;赵丽君;李锦茹;汤莹莹 -专利权人：国网山西省电力公司晋城供电公司;国家电网公司
申请日： 2017-05-18 - 公布日： 2017-12-22 - 主分类号： H01R43/20 文献下载
摘要：一种U型头拆装工具，属于U型头拆装设备技术领域，所要解决的技术问题是提供一种操作简单、保持U型头接触良好、周围U型头不易变形的U型头拆装工具，所采用的技术方案包括第一旋转筒、支撑轴和第一橡胶垫，所述第一旋转筒内部设有贯通内螺纹，并且在第一旋转筒外表面设有与U型头螺纹相对应的纵向螺纹，所述支撑轴两端设有外螺纹，并且在支撑轴两端的端面中心开有连接孔；所述第一旋转筒与支撑轴一端螺纹连接，所述第一橡胶垫嵌入支撑轴一端的连接孔中，本实用新型用于U型头拆装工具。
一种拆装工具

[发明专利]一种智能闹钟-CN201410024469.9在审
发明人：崔高智;张丽敏;晋晚贵;李锦茹;马镛湛;赵丽君 -专利权人：国家电网公司;国网山西省电力公司晋城供电公司
申请日： 2014-01-20 - 公布日： 2014-04-23 - 主分类号： G04C23/00 文献下载
摘要：本发明一种智能闹钟，属于智能闹钟的技术领域；解决的技术问题为：提供一种能够使人们在较清醒的状态下才能关闭闹钟的智能闹钟；采用的技术方案为：一种智能闹钟，包括闹钟本体以及设置于闹钟本体内的闹铃控制电路，所述的装置还包括底部设置有吸盘的条形安装板，条形安装板上间隔设有两条轨道，所述闹钟本体的底部设有两个与上述两条轨道相匹配的卡槽，使得闹钟本体可沿两条轨道滑动，所述闹钟本体内还设置有主控芯片和滑动启动装置，所述主控芯片分别与闹铃控制电路和滑动启动装置电连接，滑动启动装置控制闹钟本体在轨道上滑动；适用于生活用品领域。
一种智能闹钟