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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]双扫描式硅片调焦调平测量装置及系统-CN200810040349.2有效
发明人：陈飞彪;李志丹;潘炼东;尹作海 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2008-07-08 - 公布日： 2008-12-24 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种双扫描式硅片调焦调平测量装置及系统，应用于投影光刻机的调平调焦系统中，所述双扫描式硅片调焦调平测量装置由照明单元、投影单元、成像单元及探测单元组成，所述投影单元将狭缝或者狭缝阵列投影在硅片表面，形成测量光斑或者光斑阵列，所述探测单元包括第一、第二探测子单元，以及电信号处理单元，所述成像单元出射的光束分别经由第一和第二探测子单元进入电信号处理单元进行相敏解调。本发明的双扫描式硅片调焦调平测量装置具有较大的有效线性化区域，其光学设计难度小，结构相对紧凑。
扫描硅片调焦测量装置系统

[发明专利]一种用于光刻机调焦系统性能评价的装置及方法-CN200810036207.9有效
发明人：秦新义;李志丹;陈飞彪;金小兵;潘炼东 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2008-04-17 - 公布日： 2008-09-10 - 主分类号： G03F7/207 文献下载
摘要：一种用于光刻机调焦系统性能评价的装置和方法，其特点是：装置的运动系统将粗动系统和精动系统分开设计，在满足水平X向和垂向大行程运动及垂向高精度定位的同时保证了装置拆装灵活性和扩展性，保证控制精度的同时减少控制的复杂程度，实现了垂向大行程高精度的精密运动控制，保证了被评价调焦系统的测量光斑可以在硅片上的任意位置，实现了检测灵活性，对调焦系统性能评价方法和流程简便，可在精动系统一个行程内将调焦的重复性和精度全部验证完毕，节省时间，代码实现简便，同时整套装置亦可用于其他系统垂向性能检测和评价。
一种用于光刻调焦系统性能评价装置方法

[发明专利]一种零位自动可调的调焦调平测量装置及其使用方法-CN200810035900.4有效
发明人：陈飞彪;李志丹;徐兵;田湍;肖可云;潘炼东 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2008-04-10 - 公布日： 2008-09-10 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种零位自动可调的调焦调平测量装置及其使用方法，在调焦调平精测测量装置中增加一组自动可调机构，该可调机构用于对调焦调平测量装置进行零位调整。当该可调机构位于其初始位置时，调焦调平测量处于精测模式，而当该可调机构不位于其初始位置时，调焦调平测量处于粗测模式。
一种零位自动可调调焦测量装置及其使用方法

[发明专利]一种自动调焦调平装置-CN200710171209.4有效
发明人： 李志丹;李尧;陈飞彪;潘炼东;葛贵臣;张冲;肖可云 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2007-11-28 - 公布日： 2008-06-18 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明为一种自动调焦调平装置，应用于光刻机中以测量出待测硅片表面相对于投影物镜焦平面的高度值和倾斜量，从而实现上述硅片的调焦调平。该自动调焦调平装置具有电气相连的光学模块和控制模块，其中该光学模块采用平板玻璃，摆脱了在机械尺寸上的限制，使本发明更容易实现高频振动并易于调节。
一种自动调焦平装

[发明专利]调焦调平光斑水平位置的测量方法-CN200710172260.7有效
发明人：王帆;段立峰;李志丹 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2007-12-13 - 公布日： 2008-05-21 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种调焦调平光斑水平位置的测量方法，应用于投影光刻机的调焦调平系统中，首先利用工件台的内部传感器进行闭环控制，在不同的倾斜目标值进行调焦调平，接着获取各个目标倾斜位置的调焦调平传感器的测量结果，最后利用所述测量结果计算调焦调平系统测量点水平位置，同时测量调焦调平光斑位置，并对由于所述调焦调平光斑位置引起的测量结果误差进行修正，利用本发明的测量方法通过测量调焦调平系统光斑位置与期望旋转中心的差异，并在调焦调平系统的算法中进行校正，提高了调焦调平系统的测量精度。
调焦平光水平位置测量方法

[发明专利]一种调焦调平传感装置的光学系统-CN200610119021.0有效
发明人：关俊;李小平;李志丹;田湍;金小兵 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2006-12-01 - 公布日： 2007-05-30 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种调焦调平传感装置的光学系统，其包括沿光路传播方向依次设置的光源模块、照明模块、投影成像模块、探测成像模块以及探测器模块。本发明采用了反射系统，消除了宽带光的色差影响；采用了独特的阶梯反射镜使每个光斑点的像的中心处在处于理想位置的硅片的上表面上，减小了系统测量误差，提高了测量精度。
一种调焦传感装置光学系统

[发明专利]光电差分测量系统和测量方法-CN200610117401.0有效
发明人：关俊;李小平;李志丹;田湍 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2006-10-20 - 公布日： 2007-05-30 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种光电差分测量系统，包括波段不同的一个窄带光光源和一个宽带光光源，用于耦合光束的耦合系统，第一成像系统，波长分束器，被测的两个表面，波长合束器，第二成像系统，能量分束器，用于位置粗测的位置敏感传感器，放大系统和用于位置精测的位置敏感传感器。本发明实现了两个平面相对位置的高精度和高稳定性测量。
光电测量系统测量方法

[发明专利]一种高活性植物栽培营养基质及制造方法-CN200410042727.2无效
发明人：王春成;曹义明;李志丹 -专利权人：北京市大东流苗圃
申请日： 2004-05-24 - 公布日： 2005-11-30 - 主分类号： C05G1/00 文献下载
摘要：本发明涉及农业技术领域，主要用于植物的育苗和栽培，是一种植物育苗和栽培的全营养基质。该营养基质是采用经高温消毒的泥炭、活性物质、营养物质、蛭石、珍珠岩配制而成的混合营养基质，该基质中活性物质是由多种微生物和植物生长调节剂合并聚合而成。该基质含有植物所需的各种营养元素，而且缓慢释放，易于使用。该基质非常适合智能化温室和日光大棚的工厂化育苗和栽培。
一种活性植物栽培营养基质制造方法

[发明专利]一种调焦调平检测装置-CN200510025462.X有效
发明人：李小平;陈飞彪;李志丹;关俊;杨志勇 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2005-04-27 - 公布日： 2005-10-05 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种应用于投影光刻系统中的调焦调平检测装置，它的主要功能是对被曝光硅片的表面相对于投影物镜之间的距离和倾斜度进行高精度、低成本的检测。主要是在投影物镜和硅片之间放置了一组浮筒装置，该组浮筒装置与投影物镜或投影物镜支承进行刚性联接，该组浮筒装置对硅片表面的位置信息进行测量，测量结果送往调焦调平控制系统，经过信号处理和调焦调平量的计算后，驱动调焦调平执行器对工件台的位置进行调整，完成硅片的调焦调平。该装置简化了传统气压式调焦调平检测装置的控制结构，提高了检测精度，很好地解决了传统装置中的不足。
一种调焦检测装置

[实用新型]学生保健连体课桌椅-CN200420018416.8无效
发明人：马磊;李志丹 -专利权人：马磊
申请日： 2004-02-06 - 公布日： 2005-02-23 - 主分类号： A47B83/02 文献下载
摘要：学生保健连体课桌椅，它属办公用具领域。现有的桌子和椅子腿非常多，导致扫地或擦地时不方便，有的一些高度可调的桌椅都存在使用时不能同时满足对桌子与椅子不同距离的学生的要求。本实用新型的桌子(1)和一组椅子(2)都分别由两根支撑腿支撑，在所述桌子(1)和椅子(2)之间设有连接管(3)，所述椅子(2)与椅面之间的滑道(4)内装有滚珠(5)。本实用新型课桌椅可同时调节高度及前后距离，使用舒适；还可以方便学生前后移动的需要，适于听课与书写的不同姿态；学生在搞卫生时也不必再将椅子搬到桌面，既可避免地面脏物带到桌面，又可减轻学生的劳动负担。
学生保健连体课桌椅

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