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[发明专利]诊断装置以及诊断方法、和半导体制造装置系统以及半导体装置制造系统-CN202280005996.8在审
发明人：山本正明;朝仓凉次;角屋诚浩;川口洋平 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2022-02-24 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：即使在不能正确地提取与各子序列的开始和结束对应的监控信号的上升沿、下降沿的情形中，也能探测装置状态的异常。构成了装置诊断装置，以使得对从传感器得到的第一时间序列信号设定进行掩蔽的时间带，作成将与进行掩蔽的时间带对应的第一时间序列信号掩蔽的数据，使用将第一时间序列信号掩蔽的数据来作成标准化模型，使用标准化模型来对掩蔽了第一时间序列信号的数据进行标准化处理，使用多个数据来作成正常模型，对从传感器得到的第二时间序列信号将掩蔽时间带中的第二时间序列信号掩蔽，使用标准化模型进行标准化处理，根据对第二时间序列信号进行了标准化处理而得到的信号来算出异常值。
诊断装置以及方法半导体制造系统

[发明专利]诊断装置、诊断方法、半导体制造装置系统以及半导体装置制造系统-CN202280005592.9在审
发明人：梅田祥太;角屋诚浩;朝仓凉次 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2022-02-07 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：提供能在等离子处理装置的对象部件的维护需要与否的诊断中进行虚报以及漏报少的高精度的诊断的技术。诊断装置将各等离子处理中的传感器波形数据分离成事前定义的多个传感器波形变化类别的每个类别的分量，按所分离的每个传感器波形分量，基于正常时和诊断时的传感器波形分量、或劣化时和诊断时的传感器波形分量来进行表示部件的劣化状态的劣化度运算，使用诊断时的劣化度和事前设定的阈值来诊断部件的维护需要与否。进而，诊断装置对按每个等离子处理运算出的劣化度的时间序列数据进行滤波处理，对各等离子处理装置，基于使用从部件维护时间点到给定次数处理后的时间点为止的学习区间中的滤波器处理后的多个劣化度运算出的分布来设定劣化诊断中所用的阈值。
诊断装置方法半导体制造系统以及

[发明专利]等离子处理装置以及等离子处理方法-CN202111084850.0在审
发明人：福地功祐;朝仓凉次;江藤宗一郎;冈本翔;臼井建人;中元茂 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2021-09-14 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供等离子处理装置以及等离子处理方法。即使是在半导体晶片表面的微细形状中发生偏差的情况，也能精度良好地检测被处理膜的厚度。在具备检测在真空处理室的内部中被处理的被处理件的被处理膜的状态的处理状态检测组件的等离子处理装置中，具备如下要素而构成处理状态检测组件：检测等离子的发光的发光检测部；求取等离子的发光的微分波形数据的运算部；存储多个微分波形图案数据的数据库部；赋予基于运算部中求得的微分波形数据与存储于数据库部的多个微分波形图案数据的差的权重来算出在被处理件被处理的被处理膜的膜厚的估计值的膜厚算出部；和基于由膜厚算出部算出的被处理膜的膜厚的估计值来判定等离子处理的终点的终点判定部。
等离子处理装置以及方法

[发明专利]真空处理装置和真空处理方法-CN202110688902.9在审
发明人：吉田雄祐;中元茂;福地功祐;朝仓凉次 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2021-06-21 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种真空处理装置，包括：处理单元，包括：设置在真空容器中的处理室；检测器，使用来自晶片的光在处理晶片期间检测晶片上的对象膜的厚度或终点，该检测器通过将预先获得的数据模式与真实数据模式进行比较来检测厚度或终点，预先获得的数据模式指示与膜厚度相关的多个波长的光强度并使用波长作为参数，真实数据模式指示在处理期间在特定时间获得的所述多个波长的光强度，并且数据模式是通过将所述多个波长的光强度的时间序列数据的微分系数值除以指示所述多个波长的光强度值的时间序列数据而获得的。
真空处理装置方法

[发明专利]电池的寿命诊断装置和电池的寿命诊断方法-CN201880024321.1在审
发明人： 朝仓凉次;上城贵嗣;音田浩臣 -专利权人：日立化成株式会社
申请日： 2018-03-20 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： G01R31/367 文献下载
摘要：一种电池的寿命诊断装置，其具有存储部以及诊断电池寿命的处理部，所述存储部存储每个时刻所测定的电池的使用时间、和每个时刻所测定的表示电池劣化的劣化指标的测定值，处理部基于电池的使用时间和劣化指标的测定值来求出所述劣化指标的时间变化量，基于劣化指标的时间变化量分别针对每个电池求出劣化指标的预测函数，基于劣化指标的预测函数来求出劣化指标的预测值，基于劣化指标的预测值来诊断电池的寿命。
劣化电池时间变化量预测函数存储部寿命诊断装置诊断电池劣化电池寿命预测存储

[发明专利]运算装置以及部件安装装置-CN201380023748.7有效
发明人： 朝仓凉次;玉置研二;星野正浩;关口裕人;小山富圣 -专利权人：雅马哈发动机株式会社
申请日： 2013-01-09 - 公布日： 2018-03-30 - 主分类号： H05K13/04 文献下载
摘要：本发明提供一种与部件安装装置有关，能够降低异常发生率的技术。本部件安装装置(100)(运算装置150)进行以下的处理取得或计算表示进行取出并保持的动作时的部件保持构件和部件之间的相对位置关系或距离的状态参数值的处理；计算状态参数的波动的值的处理；在波动的值超过第一阈值的情况下，修正部件保持构件的保持位置、停止时间、动作速度、动作加速度的参数值中的、对波动降低有效并且节拍时间的增加量小的参数的处理。
运算装置部件安装以及程序

[发明专利]运算装置、部件安装装置-CN201210159318.5有效
发明人： 朝仓凉次;立石淳;星野正浩;森谷友二;关口裕人;小山富圣 -专利权人：株式会社日立高新技术仪器
申请日： 2012-05-21 - 公布日： 2012-12-05 - 主分类号： H05K13/04 文献下载
摘要：本发明提供运算装置、部件安装装置。提供一种能够降低异常发生率的技术。本部件安装装置（运算装置）进行以下的处理：取得或计算表示吸附动作时的吸嘴与部件的距离的状态参数值的处理（s1）；计算状态参数的波动值的处理（s2）；在波动值超过了第一阈值的情况下（s3），以包含Z方向的形式将吸嘴的吸附位置的参数值向吸嘴接近部件的位置修正的处理（s7）。另外，本部件安装装置（运算装置）进行延长吸嘴的停止时间（s8）、减慢吸嘴的动作速度（s9）这样的修正。
运算装置部件安装

[发明专利]零部件安装装置及其生产吞吐量下降原因确定方法-CN201110114920.2无效
发明人： 朝仓凉次;玉置研二;星野正浩;森谷友二 -专利权人：株式会社日立高新技术仪器
申请日： 2011-04-29 - 公布日： 2011-11-09 - 主分类号： H05K13/04 文献下载
摘要：本发明提供一种零部件安装装置。在安装装置中，运算装置(150)根据存储在存储部中的发生时刻的信息，来计算发生间隔，根据发生间隔的信息来判断生产吞吐量的下降是否继续，在判断为生产吞吐量的下降继续的情况下，根据测量装置(130)的测量结果来确定生产吞吐量下降的原因，输出生产吞吐量下降的原因或者针对原因的对策。根据本发明，在零部件安装装置的生产吞吐量继续下降的情况下或者在以高概率确定了生产吞吐量下降的原因的的情况下，能够通过指示生产吞吐量下降的原因和对策来维持较高的生产吞吐量。
零部件安装装置及其生产吞吐量下降原因确定方法

[发明专利]具备异常检测装置的部件安装装置-CN201110034955.5无效
发明人： 朝仓凉次;玉置研二;星野正浩;森谷友二 -专利权人：株式会社日立高新技术仪器
申请日： 2011-01-28 - 公布日： 2011-08-03 - 主分类号： H05K13/08 文献下载
摘要：本发明提供在部件安装装置的异常发生时，提示异常的原因的技术。运算装置(150)使用特定至少在异常发生时刻的部件安装装置的部件的安装中失败的次数的装置信息和特定异常的原因，生成将所述装置信息作为输入对于异常的各原因候补输出实数值的函数。新异常发生时，运算装置(150)使用所述新异常发生时刻的所述部件安装装置的部件的安装失败的次数和所述函数，对于异常的各原因候补输出实数值，将实数值最大的原因候补作为异常的原因进行提示。
具备异常检测装置部件安装

[发明专利]运算装置、部件组装装置、程序以及运算方法-CN200910263615.2无效
发明人： 朝仓凉次;石田智利;星野正浩;森谷友二 -专利权人：株式会社日立高新技术仪器
申请日： 2009-12-23 - 公布日： 2010-12-01 - 主分类号： H05K13/04 文献下载
摘要：提供能够确定异常的原因在于吸嘴和供料器的哪一方的运算装置、部件组装装置、程序以及运算方法。运算装置(150)具备存储部以及控制部。所述存储部存储：针对第一部件和第二部件的每个组合，确定将部件安装到基板上时使用的所述第一部件以及所述第二部件的动作次数的装置动作信息；和针对所述第一部件以及所述第二部件的每个组合，确定在将部件安装到基板上时，在所述第一部件以及所述第二部件中发生异常的异常次数的异常履历信息。所述控制部将异常发生率高的第一部件的方差值和异常发生率高的第二部件的方差值进行比较，判断值较小的一方的部件所属的类别成为异常原因的可能性高。
运算装置部件组装程序以及方法

[发明专利]运算装置、部件安装装置、程序及必要性判断方法-CN200910260897.0无效
发明人： 朝仓凉次;石田智利;星野正浩;森谷友二 -专利权人：株式会社日立高新技术仪器
申请日： 2009-12-24 - 公布日： 2010-10-06 - 主分类号： H05K13/02 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种运算装置、部件安装装置、程序以及必要性判断方法，以便可以根据部件安装装置的运行状况判定是否需要维护。控制部(150)的必要性判定部(161)根据过去进行的维护的有效性，计算与动作属性的动作次数相乘的修正值、和用于判定维护的有效性的基准值，当针对每个动作属性计算对一个部件的每个动作属性的动作次数乘以与该动作属性对应的修正值后得到的值，并对该值进行合计后得到的值在计算出的基准值以上时，判断为需要对这一部件进行维护。
运算装置部件安装程序必要性判断方法

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