专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]制造半导体器件的方法和半导体器件-CN201711027361.5有效
  • 吴云骥;曾郁雯 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2017-10-27 - 2020-12-18 - H01L27/11568
  • 非易失性存储器(NVM)单元半导体线,该半导体线包括选择栅极部分和控制栅极部分。NVM单元包括在选择栅极部分处形成的选择晶体管以及在控制栅极部分处形成的控制晶体管。选择晶体管包括设置在选择栅极部分周围的栅极介电层以及设置在栅极介电层上的选择栅电极。控制晶体管包括设置在控制栅极部分周围的堆叠的介电层、设置在堆叠的介电层上的栅极介电层以及设置在栅极介电层上的控制栅电极。堆叠的介电层包括设置在控制栅极部分上的第一氧化硅层、设置在第一氧化硅层上的电荷捕获层以及设置在电荷捕获层上的第二氧化硅层。本发明的实施例还涉及制造半导体器件的方法和半导体器件。
  • 制造半导体器件方法

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