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[发明专利]用于声学换能器的电学调控方法和声学换能器及制造方法-CN202310754113.X在审
发明人：易拥洁;曾怀望 -专利权人：联合微电子中心有限责任公司
申请日： 2023-06-25 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H04R9/06 文献下载
摘要：提供了一种用于声学换能器的电学调控方法、声学换能器及其制造方法。声学换能器包括薄膜结构，薄膜结构包括底电极、设置于底电极上的第一压电层以及设置于第一压电层上的第一电极层，方法包括：在声学换能器作为声学传感器操作时，通过第一中心电极和第一边缘电极中的第一者采集借助于第一压电层的压电效应产生的第一感测电信号，或者在声学换能器作为声学致动器操作时，向第一者施加第一控制电信号，向薄膜结构施加第一作用力；以及向第一中心电极和第一边缘电极中的第二者施加第一调节电信号，向薄膜结构施加第二作用力。
用于声学换能器电学调控方法制造

[发明专利]一种自举开关电路和模数转换器-CN202111039319.1有效
发明人：秦鹏;汪浩鹏;高贤永;罗乐;曾怀望 -专利权人：联合微电子中心有限责任公司
申请日： 2021-09-06 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H03K17/687 文献下载
摘要：本发明提供一种自举开关电路和模数转换器，模数转换器包括模数转换电路和自举开关电路，自举开关电路至少包括控制模块和自举模块；自举模块包括储能支路、第九NMOS管、第十NMOS管和控制单元；控制模块的输入端连接反相时钟信号，控制模块的输出端连接储能支路，储能支路中的储能电容连接第九NMOS管的漏极和第十NMOS管的源极；控制单元的输入端连接时钟信号，控制单元的输出端连接第九NMOS管的栅极和第十NMOS管的栅极；第九NMOS管的源极连接开关电路的控制端，第十NMOS管的漏极连接开关电路的输入端；自举模块对储能电压进行自举抬高开关电路的驱动电压。本发明能够提升自举开关电路的开关速度并提高线性度。
一种开关电路转换器

[发明专利]水听器及其制造方法-CN202011446222.8有效
发明人：张永平;曾怀望 -专利权人：联合微电子中心有限责任公司
申请日： 2020-12-08 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G01H11/08 文献下载
摘要：本公开提供一种水听器及其制造方法。该水声器包括：水声感应薄膜，被配置为感应施加到水声感应薄膜的第一表面上的水声压力；压电薄膜，位于水声感应薄膜的第二表面上，第二表面与第一表面相对；声表面波谐振器，位于压电薄膜的背离水声感应薄膜的表面上；以及正面密封结构，位于压电薄膜的背离水声感应薄膜的表面上，正面密封结构形成容纳声表面波谐振器的空腔并密封声表面波谐振器。
水听器及其制造方法

[发明专利]晶圆表面损伤的检测方法及检测系统-CN202110506336.5在审
发明人：李嗣晗;曾怀望;杨睿峰;焦文龙;王淼 -专利权人：联合微电子中心有限责任公司
申请日： 2021-05-10 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：一种晶圆表面损伤的检测方法及检测系统，包括：提供晶圆，所述晶圆的表面具有金属‑介质层的堆叠结构；测量所述晶圆表面的第一平带电压；自所述晶圆的另一表面，对所述晶圆进行工艺处理；测量所述晶圆表面的第二平带电压；根据所述第一平带电压以及第二平带电压，确定所述金属‑介质层的堆叠结构周围预设范围内的晶圆表面损伤。本发明可以提高损伤检测的效率和准确性。
表面损伤检测方法系统

[发明专利]电化学传感器及其制备方法和分析化学物质的方法-CN202210952211.X在审
发明人：崔进;田旺;罗乐;汪浩鹏;曾怀望 -专利权人：联合微电子中心有限责任公司
申请日： 2022-08-09 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： G01N27/26 文献下载
摘要：本申请提供一种电化学传感器及其制备方法和分析化学物质的方法，其中，电化学传感器包括：多个独立的传感单元；每个传感单元包括：相对设置的第一电极和第二电极，其中，第一电极与第二电极之间填充凝胶网络，凝胶网络被构造为位于能够与被测物接触的位置；每个传感单元的第一电极与第二电极之间的间距，被配置为能够建立被测物的线性浓度梯度场；其中，多个独立的传感单元填充多种凝胶网络。采用本申请，在不同的电极对之间填充不同的凝胶网络，利用凝胶对被测物的扩散系数影响程度不同，可调控电流对电势的变化率极值对应的电势，在一系列凝胶网络中建立目标参数的指纹信息，从而实现不同被测物的识别。
电化学传感器及其制备方法分析化学物质

[发明专利]水听器及其制造方法-CN202110506738.5有效
发明人：焦文龙;曾怀望;李鑫;李嗣晗 -专利权人：联合微电子中心有限责任公司
申请日： 2021-05-10 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： G01V1/18 文献下载
摘要：本公开提供了一种水听器及其制造方法。该水听器包括：薄膜，被配置用于响应于动态声压和静态水压而产生物理形变；压电结构，被配置用于响应于物理形变而生成第一感测信号；以及压阻结构，被配置用于响应于物理形变而生成第二感测信号。
水听器及其制造方法

[发明专利]复合微能源系统及其能量控制方法、装置、存储介质-CN202110230347.5在审
发明人：陈果;张斌;曾怀望;康为;张楚婷;汪浩鹏 -专利权人：联合微电子中心有限责任公司
申请日： 2021-03-02 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： H02J4/00 文献下载
摘要：一种复合微能源系统的能量控制方法及装置、存储介质、复合微能源系统，所述复合微能源系统包括微能源收集模块、储能模块和供电模块，所述方法包括：识别所述微能源收集模块收集的每种能量的特征信息；将所述每种能量的特征信息以及负载所需电功率输入至决策树模型，以得到每种能量的决策标签，所述决策标签用于指示每种能量的走向；根据所述决策标签控制每种能量的走向，以将每种能量的至少一部分传输至所述供电模块和/或储能模块。采用本发明的方案，能够准确地确定复合微能源系统中各种能量的走向，提高能量利用率。
复合能源系统及其能量控制方法装置存储介质

[发明专利]一种基于MOFs器件的集成阵列结构、电路驱动方法及装置-CN202011423751.6在审
发明人：高贤永;曾怀望;汪浩鹏;张斌;田旺;焦文龙;秦鹏;罗乐 -专利权人：联合微电子中心有限责任公司
申请日： 2020-12-08 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： G02F1/163 文献下载
摘要：本申请提供一种基于MOFs器件的集成阵列结构、电路驱动方法及装置，该阵列结构包含：多条第一驱动线和多条第二驱动线；多个MOFs像素单元，所述MOFs像素单元包括MOFs器件和存储电容；所述MOFs器件包括第一电极层、MOFs电致变色层和第二电极层。本申请公开的基于MOFs器件的集成阵列结构将多个MOFs器件集成于一体，且结构设计简单。本申请公开的基于该阵列结构的驱动方法在感知阶段，采用先进行整体电压驱动，再进行逐行扫描电流，能够有效减少感知阶段时间；在驱动变色阶段，采用阵列架构预留的存储电容，能够有效减少驱动变色的时间。
一种基于 mofs 器件集成阵列结构电路驱动方法装置

[发明专利]气体传感器的制备方法以及气体传感器-CN202011371358.7在审
发明人：田旺;曾怀望;汪浩鹏;崔进;高贤永 -专利权人：联合微电子中心有限责任公司
申请日： 2020-11-30 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： G01N27/414 文献下载
摘要：本发明提供一种气体传感器及其制备方法，所述制备方法包括如下步骤：提供一衬底，所述衬底表面具有绝缘层，以及绝缘层表面的源极、栅极和漏极；在栅极表面电镀金属掩膜；在电极表面修饰阻挡层；去除金属掩膜并同时去除金属掩膜表面的阻挡层；在阻挡层未覆盖的区域生长介电层，所述介电层包覆所述栅极；去除阻挡层以暴露出源极和漏极；在源极、漏极以及介电层表面形成导电气敏层。上述结构的导电气敏层完全暴露在外，可以最大程度的与空气接触，提高了导电气敏层的作用面积，有效提升了气体传感器的性能。并且通过上述技术方案所述的方法，解决了上述结构中的技术难题，即如何实现介电层覆盖绝缘层的同时，所述介电层在金属电极上的区域选择性生长的问题。
气体传感器制备方法以及

[发明专利]一种压电式MEMS水听器-CN201911238927.8有效
发明人： 曾怀望;刘恋;寇婕婷 -专利权人：联合微电子中心有限责任公司
申请日： 2019-12-06 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： G01H11/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种压电式MEMS水听器，包括基底、上支撑层、下支撑层和压电层，在基底上连接有下支撑层，在下支撑层和上支撑层包围有压电层，水听器上开设有贯穿压电层和上支撑层的穿孔，穿孔呈阵列分部，且穿孔形状包括但不限于圆形、六角形或方形，穿孔呈环形阵列分布或矩形阵列分布。穿孔的位置根据仿真计算得出。水听器中部包括有内部电极，内部电极包括内部中间电极、内部顶电极和内部底电极。压电层分别为上压电层和下压电层。本发明的优势在于操作简单，便于实现，体积小，成本低，稍加更改器件的结构和工艺步骤即可提高压电MEMS水声水听器信噪比。
一种压电 mems 水听器

[发明专利]一种压电式MEMS声传感器-CN201911117499.3有效
发明人：吴鹏程;曾怀望;张永平;焦文龙 -专利权人：联合微电子中心有限责任公司
申请日： 2019-11-15 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： G01L9/08 文献下载
摘要：本发明提供的一种压电式MEMS声传感器，包括基底、内部电极区及外部电极区，外部电极区位于内部电极区的外围，所述内部电极区与外部电极区均包括由上至下层叠的顶电极、上压电层、中间电极、下压电层和底电极；内部电极区中的顶电极、中间电极和底电极与外部电极区中的顶电极、中间电极和底电极彼此间隔；在基底的顶部设置有下支撑层，内部电极区及外部电极区均位于下支撑层上，在内部电极区及外部电极区的顶面均设置有由硅基材料制成的上支撑层。本发明具有的灵敏度高，耐静水压能力增强：能使MEMS声传感器满足不同耐压及工作水深的应用需求。
一种压电 mems 传感器

[发明专利]一种柔性传感器制造工艺及柔性传感器-CN202010036429.1有效
发明人：焦文龙;王淼;曾怀望;杨睿峰;汪浩鹏;张培健 -专利权人：联合微电子中心有限责任公司
申请日： 2020-01-14 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： H01L21/50 文献下载
摘要：本发明提供了一种柔性传感器制造工艺及柔性传感器，该制造工艺包括：在第一硅晶圆上制作第一柔性衬底层，并在所述第一柔性衬底层上制作传感器单元；在第二硅晶圆的表面通过半导体工艺制作电路单元；将所述第一硅晶圆制作有传感器单元的一侧与所述第二硅晶圆制作有电路单元的一侧面对面键合，使传感器单元与电路单元建立起电连接关系而成为检测单元；对所述第二硅晶圆的背面进行处理以制作成薄硅片，并去除第一硅晶圆，制得具有检测单元的单芯片柔性传感器。本发明提出的柔性传感器制造工艺具有工艺兼容性强、可批量化生产，制作的柔性传感器结构大为简化，集成度高，性能优越，满足柔性运用的可穿戴、医疗、机器人等领域。
一种柔性传感器制造工艺

[发明专利]压力传感器单元以及多维压力传感器及其制造方法-CN202011406316.2有效
发明人：杨睿峰;曾怀望;焦文龙;王淼;李嗣晗 -专利权人：联合微电子中心有限责任公司
申请日： 2020-12-02 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： H01L41/113 文献下载
摘要：公开了一种压力传感器单元以及多维压力传感器及其制造方法。该压力传感器单元包括：底电极；底电极引线，与底电极电连接；压电材料层；顶电极；顶电极引线，与顶电极电连接，其中，底电极、压电材料层和顶电极沿着压电材料层的敏感轴方向顺序堆叠，以用于感测敏感轴方向上的压力，并且其中，底电极引线和顶电极引线之一包括电阻分段和引线分段，电阻分段充当电阻式传感器，用于感测电阻分段的长度方向上的压力。
压力传感器单元以及多维及其制造方法

[发明专利]半导体器件的临时键合与解键合的方法以及半导体器件-CN202011256672.0有效
发明人：王淼;曾怀望;焦文龙;杨睿峰;李嗣晗 -专利权人：联合微电子中心有限责任公司
申请日： 2020-11-11 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：公开了一种半导体器件的临时键合与解键合的方法以及半导体器件。该半导体器件的临时键合与解键合方法包括：在第一晶圆上形成第一金属层，第一晶圆中形成有器件结构并且第一金属层形成在第一晶圆的靠近器件结构的一侧；在第二晶圆上形成对应于第一金属层的第二金属层；将第二金属层键合至第一金属层，以使得第二晶圆键合至第一晶圆；在第一晶圆的远离器件结构的一侧进行背面工艺；通过电化学阳极金属溶解进行解键合，以使得第一晶圆与第二晶圆分离。
半导体器件临时解键合方法以及

[发明专利]气体检测系统和方法-CN202011503691.9有效
发明人：崔进;曾怀望;汪浩鹏;田旺;高贤永 -专利权人：联合微电子中心有限责任公司
申请日： 2020-12-18 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：一种气体检测系统，包括场效应晶体管和检测装置。场效应晶体管包括源电极、漏电极、气体感测层、栅电极和第一介电材料层。源电极和漏电极相隔开。气体感测层包括气体敏感介质，该气体感测层的一部分在源电极和漏电极之间延伸并且与源电极和漏电极电连接。第一介电材料层位于气体感测层和栅电极之间。检测装置包括外壳、绝缘材料层和开口。外壳限定检测通道。场效应晶体管的气体感测层的至少一部分表面暴露在检测通道中以用于与通过检测通道的待检测气体相接触。开口形成在外壳上以使得检测通道通过开口于检测装置外的气体连通。
气体检测系统方法

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